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1. 发明专利

TW201804083A 用於降低負載鎖定件內的壓力的方法及相關的幫浦單元审中-公开
简体标题：用于降低负载锁定件内的压力的方法及相关的帮浦单元
公开(公告)号：TW201804083A
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106120787
申请日：2017-06-21
申请人：普發真空公司 , PFEIFFER VACUUM
发明人：曼德拉艾立克 , MANDALLAZ, ERIC , 聖提克里斯多福 , SANTI, CHRISTOPHE
IPC分类号： F04B49/06 , F04B37/14
CPC分类号： F04C25/02 , F04C18/126 , F04C28/02 , F04C28/08 , F04C2220/30 , F04C2270/205
摘要：本發明係關於一種用一幫浦單元(1)來降低在大氣壓力之用於一基板的負載鎖定件內的壓力的方法，該幫浦單元具有一粗真空幫浦(2)及一高真空幫浦(3)其被配置在該粗真空幫浦(2)在被抽泵的氣體的流動方向的上游，其特徵在於在壓力下降期間且在該負載鎖定件內的壓力達到一預定的低壓力門檻值之前，該高真空幫浦(3)的轉速係如該高真空幫浦(3)的一操作參數的函數般地被控制以提高該高真空幫浦產生的流率(SoR)，使得該高真空幫浦所產生的流率(SoR)落在一範圍內，該範圍的上限制是該粗真空幫浦產生的流率(So1)的6倍且下限值是該粗真空幫浦產生的流率(So1)的1.3倍。本發明亦關於一用來實施該降低壓力的方法的幫浦單元。
简体摘要：本发明系关于一种用一帮浦单元(1)来降低在大气压力之用于一基板的负载锁定件内的压力的方法，该帮浦单元具有一粗真空帮浦(2)及一高真空帮浦(3)其被配置在该粗真空帮浦(2)在被抽泵的气体的流动方向的上游，其特征在于在压力下降期间且在该负载锁定件内的压力达到一预定的低压力门槛值之前，该高真空帮浦(3)的转速系如该高真空帮浦(3)的一操作参数的函数般地被控制以提高该高真空帮浦产生的流率(SoR)，使得该高真空帮浦所产生的流率(SoR)落在一范围内，该范围的上限制是该粗真空帮浦产生的流率(So1)的6倍且下限值是该粗真空帮浦产生的流率(So1)的1.3倍。本发明亦关于一用来实施该降低压力的方法的帮浦单元。

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