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1. 发明专利

TW590880B 洗淨容器及洗淨容器用之碳化矽燒結體失效
简体标题：洗净容器及洗净容器用之碳化硅烧结体
公开(公告)号：TW590880B
公开(公告)日：2004-06-11
申请号：TW090106094
申请日：2001-03-15
申请人：普利司通股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA BRIDGESTONE
发明人：大月正珠 , 遠藤茂樹 , 村川由佳
IPC分类号： B32B , B08B
CPC分类号： B08B3/12 , Y10T428/1321
摘要：本發明係提供一種製造容易，構造簡單而易於操作，並優於耐久性、機械強度、耐蝕性等，且壽命長之超音波洗淨用之洗淨容器。
本發明之洗淨容器1係具有一可傳導超音波之碳化矽燒結體層3。
又，本發明係提供一種碳化矽燒結體，可適用於半導體製造裝置用零件、電子情報機器用零件、及真空裝置等各種構造用零件，特別是可適用於作為超音波共振板或超音波振動板，其加工容易，且可確保充分之機械強度並可使之薄化。本發明之碳化矽燒結體，其特徵在於：可傳導超音波，且所傳導之超音波之音速為4000m/s~20000m/s。
简体摘要：本发明系提供一种制造容易，构造简单而易于操作，并优于耐久性、机械强度、耐蚀性等，且寿命长之超音波洗净用之洗净容器。本发明之洗净容器1系具有一可传导超音波之碳化硅烧结体层3。又，本发明系提供一种碳化硅烧结体，可适用于半导体制造设备用零件、电子情报机器用零件、及真空设备等各种构造用零件，特别是可适用于作为超音波共振板或超音波振动板，其加工容易，且可确保充分之机械强度并可使之薄化。本发明之碳化硅烧结体，其特征在于：可传导超音波，且所传导之超音波之音速为4000m/s~20000m/s。

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