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    • 4. 发明申请
    • 含フッ素共重合体とその製造方法およびそれを含むレジスト組成物
    • 含氟聚合物,其制造方法和含有该共聚物的耐腐蚀组合物
    • WO2005108446A1
    • 2005-11-17
    • PCT/JP2005/008361
    • 2005-05-06
    • 旭硝子株式会社江田 昌隆武部 洋子横小路 修
    • 江田 昌隆武部 洋子横小路 修
    • C08F236/20
    • G03F7/0397C08F214/18C08F236/20
    • Disclosed is a fluorine-containing copolymer having a unit derived from a monomer unit formed by ring-forming polymerization of a fluorine-containing diene represented by the formula (1) below, and a unit derived from a monomer unit formed by ring-forming polymerization of a functional group-containing fluorine-containing diene having a specific structure or a monomer unit formed by polymerization of an acrylic monomer having a specific structure. Also disclosed are a method for producing such a fluorine-containing copolymer and a resist composition containing such a fluorine-containing polymer. CF2=CFCH2CH(C(CF3)2(OR ))CH2CR =CHR (1) In the formula (1), R and R independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having not more than 12 carbon atoms; R represents a hydrogen atom, an alkyl group having not more than 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having not more than 15 carbon atoms or CH2R (wherein R represents an alkoxycarbonyl group having not more than 15 carbon atoms); and a part of or all of the hydrogen atoms in the alkyl group, alkoxycarbonyl group or R constituting R may be substituted with fluorine atoms and the alkyl group, alkoxycarbonyl group or R constituting R may have an ether oxygen atom.
    • 公开了具有衍生自由下述式(1)表示的含氟二烯的成环聚合形成的单体单元的单元和由形成环状聚合形成的单体单元的单元的含氟共聚物 的具有特定结构的含官能团的含氟二烯或通过具有特定结构的丙烯酸类单体的聚合形成的单体单元。 还公开了制备这种含氟共聚物的方法和含有这种含氟聚合物的抗蚀剂组合物。 CF 2 = CFCH 2 CH(C(CF 3)2(OR 3))CH 2 CR 1 = CHR 2(1)在式(1)中,R 1和R 2独立地表示氢原子或 不大于12个碳原子的烷基; R 3表示氢原子,碳原子数不超过20的烷基,碳原子数15以下的烷氧基羰基或CH 2 R 4(式中,R 4表示不大于15的烷氧基羰基 碳原子); 烷基中的一部分或全部氢原子,烷氧基羰基或构成R 3的R 4可以被氟原子取代,烷基,烷氧基羰基或构成R 3的R 4, 可以具有醚氧原子。
    • 6. 发明申请
    • 含フッ素共重合体とその製造方法およびそれを含むレジスト組成物
    • 荧光聚合物,其制造方法和含有它们的抗蚀剂组合物
    • WO2005019284A1
    • 2005-03-03
    • PCT/JP2004/011937
    • 2004-08-19
    • 旭硝子株式会社武部 洋子江田 昌隆横小路 修
    • 武部 洋子江田 昌隆横小路 修
    • C08F236/20
    • C08F236/20G03F7/0046G03F7/0395G03F7/0397
    •  官能基を有し、幅広い波長領域で高い透明性を有する含フッ素ポリマーおよび該含フッ素ポリマーからなるレジスト用組成物を与える。  下記式(1)で表される含フッ素ジエンが環化重合したモノマー単位に由来する単位、および他の環化重合したモノマー単位に由来する単位またはアクリル系単量体が重合したモノマー単位に由来する単位を有する含フッ素共重合体およびこれらをベースポリマーとするレジスト組成物。  CF 2 =CFCH 2 CH(CH 2 C(CF 3 ) 2 (OR 1 ))CH 2 CH=CH 2  (1)  ただし、R 1 は水素原子、エーテル性酸素原子を有してもよい炭素数20以下のアルキル基、炭素数6以下のアルコキシカルボニル基またはCH 2 R 2 (R 2 は炭素数6以下のアルコキシカルボニル基)である。
    • 具有官能团且在宽波长范围内高度透明的含氟聚合物; 和含有该含氟聚合物的抗蚀剂组合物。 含氟共聚物包括:由下式(1)表示的氟化二烯衍生的单体并通过单体的环化聚合形成的单元; 和衍生自其它单体并由其环化聚合形成的单元或衍生自丙烯酸单体的单元并通过其聚合形成的单元。 抗蚀剂组合物含有作为基础聚合物的含氟共聚物。 CF 2 = CFCH 2 CH(CH 2 C(CF 3)2(OR 1))CH 2 CH = CH 2(1)式中,R 1是氢,任选地具有醚性氧,C 6或低级烷氧基羰基或CH 2 R 2>(其中R 2为C6或低级烷氧基羰基)。