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1. 发明申请

WO2007049657A1 新規なフルオロアダマンタン誘導体、含フッ素重合体、および製造方法审中-公开
标题翻译：含氟聚合物和生产方法的新型氟化物衍生物
公开(公告)号：WO2007049657A1
公开(公告)日：2007-05-03
申请号：PCT/JP2006/321298
申请日：2006-10-25
申请人：旭硝子株式会社 , 王舒鐘 , 村田浩一 , 大春一也 , 森澤義富 , 横小路修 , 代田直子
发明人：王舒鐘 , 村田浩一 , 大春一也 , 森澤義富 , 横小路修 , 代田直子
IPC分类号： C07C17/363 , C07C23/38 , C07C29/38 , C07C31/44 , C08F18/20
CPC分类号： C07C31/44 , C07C17/361 , C07C23/38 , C07C29/38 , C07C67/14 , C07C69/653 , C07C2603/74 , C08F220/24
摘要： Disclosed are a novel fluoroadamantane derivative, a novel polymerizable fluoroadamantane derivative, a novel fluorine-containing polymer and a production method. Specifically disclosed are a compound (3) shown below, a compound (4) shown below, a polymer obtained by polymerizing the compound (4), and a method for producing the same. In this connection, Qs respectively represent -CHF- or -CF 2 - (six Qs may be the same as or different from one another); Zs respectively represent -H, -F, or -CH 2 OH (three Zs may be the same as or different from one another); W represents -H or a hydrocarbon group having 1-10 carbon atoms; R represents -H, -F, -CH 3 or -CF 3 ; and Js respectively represent -H, -F, -CHWOH or -CHWOCOCR=CH 2 (three Js may be the same as or different from one another).
摘要翻译：公开了一种新的氟金刚烷衍生物，新型聚合性氟金刚烷衍生物，新型含氟聚合物及其制备方法。具体公开的是下述化合物（3），下述化合物（4），聚合化合物（4）得到的聚合物及其制造方法。在这方面，Qs分别表示-CHF-或-CF 2 - （六个Q可以彼此相同或不同）; Zs分别表示-H，-F或-CH 2 OH（三个Z可以彼此相同或不同）; W表示-H或具有1-10个碳原子的烃基; R表示-H，-F，-CH 3或-CF 3 3; 和Js分别表示-H，-F，-CHWOH或-CHWOCOCR = CH 2（三个J可以彼此相同或不同）。

2. 发明申请

WO2007145288A1 含フッ素重合体溶液組成物审中-公开
标题翻译：含氟聚合物溶液组合物
公开(公告)号：WO2007145288A1
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：PCT/JP2007/062031
申请日：2007-06-14
申请人：旭硝子株式会社 , 代田直子 , 王舒鐘 , 横小路修
发明人：代田直子 , 王舒鐘 , 横小路修
IPC分类号： C08L33/16 , C08F20/22
CPC分类号： C09D133/16 , C08F220/22
摘要：　含フッ素重合体溶液組成物を提供する。　側鎖に含フッ素脂環式炭化水素基を有する繰り返し単位（Ａ）を含む含フッ素重合体（Ｆ）と、フッ素系有機溶媒（Ｓ）とを含む含フッ素重合体溶液組成物。たとえば、繰り返し単位（Ａ）は、下式（１）、下式（２）、下式（３）、下式（４）および下式（５）で表される化合物からなる群から選ばれる一種以上の環式飽和炭化水素化合物の水素原子をｎ個除いたｎ価の基（ただし、ｎは１～４の整数を示す。）であって、残余の水素原子の５０％以上がフッ素原子に置換された基（Ｇ）を有する繰り返し単位である。
摘要翻译：公开了含氟聚合物溶液组合物。公开了含有含侧链中具有含氟脂肪族烃基的重复单元（A）的含氟聚合物（F）和含氟有机溶剂（S）的含氟聚合物溶液组合物。例如，重复单元（A）具有通过从一种或多种选自以下的环状饱和烃化合物中除去n个氢原子（条件是n表示1-4的整数）而获得的n价基团（G）由以下所示的式（1），式（2），式（3），式（4）和式（5）表示的化合物组成，并且用氟原子代替不少于50％的剩余氢原子。

3. 发明申请

WO2007122977A1 イマージョンリソグラフィー用レジスト保護膜材料审中-公开
标题翻译：耐蚀保护膜材料的渗透力学研究
公开(公告)号：WO2007122977A1
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：PCT/JP2007/057314
申请日：2007-03-30
申请人：旭硝子株式会社 , 武部洋子 , 王舒鐘 , 横小路修 , 代田直子 , 松川泰久 , 白川大祐
发明人：武部洋子 , 王舒鐘 , 横小路修 , 代田直子 , 松川泰久 , 白川大祐
IPC分类号： G03F7/11 , C08F20/24 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/2041 , C08F214/18 , C08F220/24 , G03F7/11
摘要：　イマージョンリソグラフィー用レジスト保護膜材料を提供する。　含フッ素橋かけ環構造を有する重合性化合物（ｆｍ）の重合により形成された繰り返し単位（ＦＵ）を含む重合体（Ｆ）を含む、アルカリ溶解性のイマージョンリソグラフィー用レジスト保護膜材料。たとえば、繰り返し単位（ＦＵ）は、下記化合物（ｆ１）～（ｆ４）からなる群から選ばれる化合物（ｆ）の重合により形成された繰り返し単位である（ＲＦはＨ、Ｆ、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のフルオロアルキル基を、ＸＦはＦ、ＯＨまたはＣＨ２ＯＨを、示す。）。
摘要翻译：本发明提供了用于浸没式光刻的抗蚀剂保护膜的材料，更具体地说，是用于浸渍光刻的抗蚀剂保护膜的碱溶性材料，其含有包含重复单元（F' / SUP>），其通过具有含氟桥连环结构的聚合性化合物（f

4. 发明申请

WO2007119803A1 イマージョンリソグラフィー用レジスト材料审中-公开
标题翻译：耐蚀性材料
公开(公告)号：WO2007119803A1
公开(公告)日：2007-10-25
申请号：PCT/JP2007/058118
申请日：2007-04-12
申请人：旭硝子株式会社 , 代田直子 , 王舒鐘 , 横小路修 , 武部洋子 , 松川泰久 , 白川大祐
发明人：代田直子 , 王舒鐘 , 横小路修 , 武部洋子 , 松川泰久 , 白川大祐
IPC分类号： C08F20/22 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0046 , C08F220/24 , G03F7/0397 , G03F7/2041
摘要：　イマージョンリソグラフィー用レジスト材料を提供する。　含フッ素橋かけ環構造を有する重合性化合物（ｆｍ）の重合により形成された繰り返し単位（ＦＵ）を含む重合体（Ｆ）を含み、かつ、酸の作用によりアルカリ溶解性の増大する、イマージョンリソグラフィー用レジスト材料。たとえば、重合性化合物（ｆｍ）は、下式（ｆ１）、下式（ｆ２）、下式（ｆ３）および下式（ｆ４）で表される化合物からなる群から選ばれる一種以上の化合物（ｆ）の重合により形成された繰り返し単位である（ＲＦは－Ｈ、－Ｆ、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のフルオロアルキル基を、ＸＦは－Ｆ、－ＯＨまたは－ＣＨ２ＯＨを、示す。）。
摘要翻译：公开了用于浸没式光刻的抗蚀剂材料。抗蚀剂材料包括通过具有含氟桥连环结构并具有重复单元的聚合性化合物（f）的聚合而制备的聚合物（F） >）。抗蚀剂材料可以通过酸的作用增加其碱溶解度。例如，可聚合化合物（f）是选自由式（f1），（f2），（f3）和（f4）表示的化合物中的至少一种化合物（f））[其中R F表示-H，-F，具有1至3个碳原子的烷基或具有1至3个碳原子的氟代烷基; 并且X-F代表-F，-OH或-CH 2 OH。

5. 发明申请

WO2008126475A1 新規な含フッ素化合物、含フッ素重合体、およびその製造方法审中-公开
标题翻译：新颖的含氟化合物，含氟聚合物及其制备方法
公开(公告)号：WO2008126475A1
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：PCT/JP2008/052896
申请日：2008-02-20
申请人：旭硝子株式会社 , 村田浩一 , 代田直子 , 横小路修 , 武部洋子
发明人：村田浩一 , 代田直子 , 横小路修 , 武部洋子
IPC分类号： C08F36/20 , C07C51/09 , C07C51/38 , C07C57/52 , C07C67/04 , C07C67/343 , C07C69/65
CPC分类号： C07C57/32 , C07C69/65 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D307/20 , C08F14/18 , C08F36/20 , C08F214/18 , Y10S430/146 , C08F2/00
摘要：　新規な含フッ素化合物、含フッ素重合体、およびその製造方法を提供する。　式ＣＦ２＝ＣＦＣＦ２Ｃ（Ｘ）（Ｃ（Ｏ）ＯＺ）（ＣＨ２）ｎＣＲ＝ＣＨＲで表される化合物（ただし、Ｘは水素原子、シアノ基または式－Ｃ（Ｏ）ＯＺで表される基を、Ｚは水素原子または炭素数１～２０の１価有機基を、ｎは０、１または２を、Ｒは水素原子または炭素数１～２０の１価有機基を示す。）、その製造方法、および該化合物を重合させて得られた含フッ素重合体。
摘要翻译：公开了新的含氟化合物，含氟聚合物和含氟化合物的制造方法。具体公开的是由下式表示的化合物：CF 2 R 2 = CFCF 2 C（X）（C（O）OZ）（CH 2）2 >其中CR = CHR（其中X表示氢原子，氰基或表示为-C（O）OZ的基团; Z表示氢原子或具有1-20个碳原子的一价有机基团碳原子; n表示0,1或2; R表示氢原子或具有1-20个碳原子的一价有机基团）。还公开了制备这种化合物的方法和通过聚合这种化合物而获得的含氟聚合物。

6. 发明申请

WO2008120743A1 レジスト組成物、レジスト保護膜組成物およびレジストパターンの形成方法审中-公开
标题翻译：耐蚀组合物，耐蚀保护膜组合物和形成耐蚀图案的方法
公开(公告)号：WO2008120743A1
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：PCT/JP2008/056170
申请日：2008-03-28
申请人：旭硝子株式会社 , 代田直子 , 武部洋子 , 村田浩一 , 横小路修
发明人：代田直子 , 武部洋子 , 村田浩一 , 横小路修
IPC分类号： C08F36/20 , G03F7/039 , G03F7/11 , G03F7/38
CPC分类号： C08F36/20 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0395 , G03F7/0397
摘要：　レジスト組成物を提供する。　式ＣＦ２＝ＣＦＣＦ２Ｃ（ＸＡ）（Ｃ（Ｏ）ＯＺＡ）（ＣＨ２）ｎａＣＲＡ＝ＣＨＲＡで表される化合物の重合により形成された繰り返し単位（Ａ）を有する重合体（ＰＡ）を含むレジスト組成物（ただし、ＸＡは水素原子、シアノ基または式－Ｃ（Ｏ）ＯＺＡで表される基を示し、ＺＡは水素原子または炭素数１～２０の１価有機基を示し、ｎａは０、１または２を示し、ＲＡは水素原子または炭素数１～２０の１価有機基であって、２個のＲＡは同一であってもよく異なっていてもよい。）。
摘要翻译：公开了抗蚀剂组合物。具体公开的是含有具有重复单元（A）的聚合物（PA）的抗蚀剂组合物，该重复单元通过聚合由下式表示的化合物形成：CF 2 2 = CFCF 2 C（X ^{A ）（C（O）OZ ^{A ）（CH _{2 ）_{NA CR ^{A = CHR ^{A 。（式中，X A表示氢原子，氰基或下式表示的基团：-C（O）OZ A; Z < A 表示氢原子或具有1-20个碳原子的一价有机基团; n a表示0,1或2; R A表示氢原子或具有1个碳原子的一价有机基团 -20个碳原子，两个R a可以彼此相同或不同。）}}}}}}

7. 发明申请

WO2008032716A1 リソグラフィー用レジスト材料およびレジストパターンの形成方法审中-公开
标题翻译：用于形成电阻图案的电阻材料和方法
公开(公告)号：WO2008032716A1
公开(公告)日：2008-03-20
申请号：PCT/JP2007/067680
申请日：2007-09-11
申请人：旭硝子株式会社 , 武部洋子 , 代田直子 , 横小路修
发明人：武部洋子 , 代田直子 , 横小路修
IPC分类号： G03F7/039 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0397 , G03F7/0046 , G03F7/11 , G03F7/2041
摘要：　リソグラフィー用レジスト材料およびレジストパターンの形成方法の提供。　下記化合物（ａ）の重合により形成された繰り返し単位（Ａ）を含む重合体を含むリソグラフィー用レジスト材料。ただし、Ｗは重合性の１価有機基を、ＴはＨ、Ｆ、炭素数１～６のアルキル基または炭素数１～６のフルオロアルキル基を、Ｑは式中の炭素原子と共同して含フッ素単環式炭化水素基を形成する炭素数３～１１のフルオロアルキレン基を、示す。ＴまたはＱ中の炭素原子－炭素原子間には、－Ｏ－、－Ｃ（Ｏ）－または－Ｃ（Ｏ）Ｏ－が挿入されていてもよい。
摘要翻译：公开了用于光刻的抗蚀剂材料。还公开了形成抗蚀剂图案的方法。用于光刻的抗蚀剂材料包括具有通过化合物（a）的聚合形成的重复单元（A）的聚合物[在该式中，W表示可聚合的一价有机基团; T表示H，F，碳原子数1〜6的烷基或碳原子数1〜6的氟烷基。 Q表示碳原子数3〜11的氟代亚烷基，与式（1）中的碳原子一起形成氟化单环烃基，条件是-O - ， - C（O） - 或-C（O） O-可以插入在T或Q中的（碳原子） - （碳原子）键之间。（a）

8. 发明申请

WO2008007594A1 高度にフッ素化されたノルボルナン構造を有する含フッ素化合物、含フッ素重合体、および製造方法审中-公开
标题翻译：具有高荧光的NORBORNANE结构的含氟化合物，含氟聚合物及其生产方法
公开(公告)号：WO2008007594A1
公开(公告)日：2008-01-17
申请号：PCT/JP2007/063401
申请日：2007-07-04
申请人：旭硝子株式会社 , 松川泰久 , 白川大祐 , 室谷英介 , 代田直子 , 武部洋子
发明人：松川泰久 , 白川大祐 , 室谷英介 , 代田直子 , 武部洋子
IPC分类号： C07C49/467 , C07C67/14 , C07C69/653 , C08F20/22
CPC分类号： C07C49/477 , C07C29/143 , C07C29/147 , C07C31/44 , C07C35/52 , C07C45/54 , C07C61/40 , C07C67/14 , C07C69/653 , C07C69/753 , C07C2602/42 , C08F220/24
摘要：　高度にフッ素化されたノルボルナン構造を有する新規な重合性の含フッ素化合物および該化合物から得られる重合体を提供する。また、これらの製造方法および該製造に有用な新規な中間体を提供する。　化合物（１１）、化合物（１２）等の新規な化合物（１）、およびその重合体。該化合物（１）の製造中間体等として有用である化合物（２１）（２２）等の化合物（２）、および化合物（３１）（３２Ｍ）等の化合物（３）およびこれらの製造方法。ただし、ＺＡ～ＺＥは－ＣＨ（－ＯＣ（Ｏ）Ｃ（ＣＨ３）＝ＣＨ２）－、－ＣＦ２－等を、ＷＡとＷＢはＦ等を、ＹＡ～ＹＥは－ＣＨ（－ＯＨ）－、－ＣＦ（－ＣＨ２ＯＨ）等を、ＸＡ～ＸＥは－Ｃ（Ｏ）－、－ＣＦ２－等を、示す。
摘要翻译：公开了具有高氟化降冰片烷结构的新型可聚合的含氟化合物和由这种化合物获得的聚合物。还公开了它们的生产方法和用于生产的新型中间体。具体公开了化合物（11）和化合物（12）等新化合物（1）和化合物（1）的聚合物。还具体公开了化合物（2），例如化合物（21）和（22）以及化合物（3），例如化合物（31）和（32M），其可用作化合物（1）的生产中间体及其制备方法。在这方面，Z“A”分别表示-CH - （ - OC（O）C（CH 3 CH 3）= CH _{2个） - ， - CF 2 - 等; W＆lt; SUP＆gt;和W＆lt; B＆gt;分别代表F等; Y分别表示-CH（-OH） - ， - CF（-CH 2 OH）等; 而X-A-X-E分别表示-C（O） - ， - CF 2 - 等。}

9. 发明申请

WO2005054336A1 ペリクルおよび新規な含フッ素重合体审中-公开
标题翻译：油脂和新型氟化聚合物
公开(公告)号：WO2005054336A1
公开(公告)日：2005-06-16
申请号：PCT/JP2004/017965
申请日：2004-12-02
申请人：旭硝子株式会社 , 松倉郁生 , 山本弘賢 , 石橋雄一郎 , 岡田伸治 , 代田直子
发明人：松倉郁生 , 山本弘賢 , 石橋雄一郎 , 岡田伸治 , 代田直子
IPC分类号： C08G67/00
CPC分类号： G03F1/62 , C08G65/007 , C08G65/226 , G03F7/0046 , Y10T428/24331 , Y10T428/3154
摘要： A useful fluorinated polymer as a material for pellicle or the like, which exhibits high durability and transparency to short-wavelength light (ArF excimer laser of 193 nm oscillation wavelength or F2 excimer laser of 157 nm oscillation wavelength). There is provided a pellicle wherein the polymer (I) for use in pellicle film and/or adhesive therefor consists of one essentially having the following unit (1). The unit (1) is one wherein a fluorinated chain constituting a polymer main chain consists of carbon atoms and ether oxygen atoms, and wherein at least one of the main chain constituting carbon atoms is one constituting a cyclic group while at least one of the main chain constituting ether oxygen atoms is one not constituting a cyclic group. For example, the unit (1) is one of the following formula (A1): (A1) (wherein n is 1 or 2; R is -F or -CF3; and R is -F or a C1-C5 perfluoroalkyl).
摘要翻译：对于短波长光（193nm振荡波长的ArF准分子激光或157nm振荡波长的F2准分子激光）表现出高耐久性和透明性的用于防护薄膜等的材料的有用氟化聚合物。提供防护薄膜组件，其中用于防护薄膜和/或粘合剂的聚合物（I）由基本上具有以下单元（1）的聚合物（I）组成。单元（1）是其中构成聚合物主链的氟化链由碳原子和醚氧原子构成的单元（1），其中构成碳原子的主链中的至少一个是构成环状基团的主链，而主要的至少一个构成醚氧原子的链是不构成环状基团的链。例如，单元（1）是下式（A1）之一：（A1）（其中n为1或2; R F1为-F或-CF 3;且R F 2为-F或a C1-C5全氟烷基）。

10. 发明申请

WO2009011427A1 蛍光発光性官能基を有する化合物およびその重合体の製造方法审中-公开
标题翻译：具有荧光功能组的化合物及其制备聚合物的方法
公开(公告)号：WO2009011427A1
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/JP2008/063044
申请日：2008-07-18
申请人：旭硝子株式会社 , 星野泰輝 , 代田直子 , 浅川昭彦
发明人：星野泰輝 , 代田直子 , 浅川昭彦
IPC分类号： C07D311/16 , C08F20/36
CPC分类号： C07D311/16 , C08F220/36
摘要：　重合性官能基と蛍光発光性を有する官能基を含む化合物を、ＤＣＣ（脱水縮合剤）を用いずに簡便かつ効率良く製造できる方法を提供する。　７－（ジエチルアミノ）クマリン－３－カルボン酸からヒドロキシ基を除いた残基を有する酸無水物と、メタクリル酸２－ヒドロキシエチルとを反応させる工程、または７－（ジエチルアミノ）クマリン－３－カルボン酸のヒドロキシ基がハロゲン原子によって置換された酸ハロゲン化物と、メタクリル酸２－ヒドロキシエチルとを反応させる工程を経て、７－（ジエチルアミノ）クマリン－３－カルボン酸２－（メタクリロイルオキシ）エチルを製造する。
摘要翻译：公开了通过简单的方法在不使用DCC（脱水缩合剂）的情况下高效率地制备具有聚合性官能团和荧光官能团的化合物的方法。具体地，通过以下步骤制备7-（二乙基氨基）香豆素-3-羧酸2-（甲基丙烯酰氧基）乙基，其中将具有通过从7-（二乙基氨基）香豆素-3-羧酸除去羟基得到的残基的酸酐与甲基丙烯酸2-羟基乙基酯反应，或其中通过将7-（二乙基氨基）香豆素-3-羧酸的羟基用卤素原子取代的酰卤与甲基丙烯酸2-羟乙基反应的步骤。

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