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    • 6. 发明专利
    • 樹脂組合物、及硬化膜之製造方法
    • 树脂组合物、及硬化膜之制造方法
    • TW202003637A
    • 2020-01-16
    • TW108116134
    • 2019-05-10
    • 日商旭化成股份有限公司ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA
    • 小倉知士OGURA, TOMOHITO松本涼香MATSUMOTO, SUZUKA中村光孝NAKAMURA, MITSUTAKA
    • C08G73/10C08G73/22C08K5/42C08J5/18
    • 本發明提供一種形成於固化步驟後與銅接著、且於研磨後不會與露出之銅面產生階差之硬化膜的樹脂組合物、及使用該樹脂組合物之硬化膜之製造方法、以及半導體裝置。 本發明之樹脂組合物包含(A)於側鏈中具有作為酸性官能基或鹼性官能基之取代體之中性官能基且為選自由作為聚醯胺酸及/或聚醯胺酸酯之聚醯亞胺前驅物、作為聚羥基醯胺之聚㗁唑前驅物、聚胺基醯胺、聚醯胺、聚醯胺醯亞胺、聚醯亞胺、聚苯并㗁唑、聚苯并咪唑及聚苯并噻唑所組成之群中之至少1種的樹脂:100質量份、以及(B)具有芳香族磺酸酯結構之化合物:1~50質量份。
    • 本发明提供一种形成于固化步骤后与铜接着、且于研磨后不会与露出之铜面产生阶差之硬化膜的树脂组合物、及使用该树脂组合物之硬化膜之制造方法、以及半导体设备。 本发明之树脂组合物包含(A)于侧链中具有作为酸性官能基或碱性官能基之取代体之中性官能基且为选自由作为聚酰胺酸及/或聚酰胺酸酯之聚酰亚胺前驱物、作为聚羟基酰胺之聚㗁唑前驱物、聚胺基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并㗁唑、聚苯并咪唑及聚苯并噻唑所组成之群中之至少1种的树脂:100质量份、以及(B)具有芳香族磺酸酯结构之化合物:1~50质量份。