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    • 4. 发明专利
    • 使用垂直通道電晶體之半導體記憶裝置
    • 使用垂直信道晶体管之半导体记忆设备
    • TW578299B
    • 2004-03-01
    • TW091114522
    • 2002-07-01
    • 日立製作所股份有限公司 HITACHI, LTD.
    • 高浦則克松岡秀行 MATSUOKA, HIDEYUKI竹村理一郎 TAKEMURA, RIICHIRO奧山 幸祐茂庭昌弘 MONIWA, MASAHIRO西田 彰男舟山幸太關口 知紀
    • H01L
    • H01L27/11H01L27/0688H01L27/1104
    • 本發明提供一種半導體記憶裝置,其包括複數個字元線、複數個位元線以及複數個靜態記憶體細胞,每一靜態記憶體細胞皆具有一第一、第二、第三、第四、第五和第六電晶體。同時,該第一、第二、第三及第四電晶體的每一通道皆係垂直於該半導體記憶裝置之一基板形成的。形成一源極或汲極的該第五與第六電晶體之每一半導體區域,與該基板形成一PN連接。依據本發明的另一項觀點,本發明的SRAM裝置具有複數個SRAM細胞,其中至少有一SRAM細胞為一垂直SRAM細胞,其至少包括四個垂直於一基板的電晶體,且每一垂直電晶體皆包含一源極、一汲極和介於其間對準一對準線的一通道,其係以一大於零度的角度穿透進入該基板表面中。
    • 本发明提供一种半导体记忆设备,其包括复数个字符线、复数个比特线以及复数个静态内存细胞,每一静态内存细胞皆具有一第一、第二、第三、第四、第五和第六晶体管。同时,该第一、第二、第三及第四晶体管的每一信道皆系垂直于该半导体记忆设备之一基板形成的。形成一源极或汲极的该第五与第六晶体管之每一半导体区域,与该基板形成一PN连接。依据本发明的另一项观点,本发明的SRAM设备具有复数个SRAM细胞,其中至少有一SRAM细胞为一垂直SRAM细胞,其至少包括四个垂直于一基板的晶体管,且每一垂直晶体管皆包含一源极、一汲极和介于其间对准一对准线的一信道,其系以一大于零度的角度穿透进入该基板表面中。