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    • 5. 发明专利
    • バックグラインドテープ
    • 背面研磨带
    • JP2016225389A
    • 2016-12-28
    • JP2015108280
    • 2015-05-28
    • 日東電工株式会社
    • 亀井 勝利戸田 喬之水野 浩二
    • C09J7/02C09J201/00H01L21/304
    • 【課題】凹凸面(例えば、半導体ウエハの回路面)に貼着した場合に、凹凸形状が粘着剤層に残らないバックグラインドテープを提供すること。 【解決手段】本発明のバックグラインドテープは、基材と、該基材の片側に配置された粘着剤層とを備え、該粘着剤層の応力緩和量が、12kPa以下である。1つの実施形態においては、上記粘着剤層の23℃における貯蔵弾性率が、0.1MPa以下である。1つの実施形態においては、上記粘着剤層の23℃における損失正接(tanδ)が、0.15以上である。 【選択図】図1
    • 凹凸的表面(例如,晶片的半导体电路的表面)时粘附到,凹凸,以提供背面研磨带不会残留在粘合层上。 本发明的背面研磨带包括基材和布置在所述基板的一面上的粘合层,所述压敏粘合剂层的应力松弛是不超过12千帕。 在一个实施例中,在压敏粘合剂层的23℃下的储能弹性模量为0.1MPa或更小。 在一个实施例中,在压敏粘合剂层的23℃(的tanδ)的损耗角正切为0.15以上。 点域1