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    • 6. 发明专利
    • センサ素子
    • JP2018189571A
    • 2018-11-29
    • JP2017093728
    • 2017-05-10
    • 日本碍子株式会社
    • 氏原 浩佑早瀬 徹森本 健司
    • H05B3/10C04B35/486G01N27/416
    • 【課題】Ptの拡散と、固体電解質層と絶縁層との熱膨張係数差に起因するクラックとを抑制したセンサ素子を提供する。 【解決手段】平板状センサ素子101のヒータ部70が、Ptを含むヒータエレメント72と、素子の基体部を構成する固体電解質4,6と異なる熱膨張係数を有する絶縁材料を90〜99.9wt%の重量比で含んでなる絶縁層74と、ヒータ電極71とを有し、ヒータ電極を除く部分が基体部に埋設されてなり、ヒータエレメントは厚みが10〜50μmであって絶縁層に覆われており、絶縁層は気孔率が4%以下であって厚みが50〜150μmであり、絶縁層と、素子長手方向における先端部との距離、素子厚み方向におけるヒータ電極が備わる主面との距離、素子幅方向における素子側面との距離がそれぞれ0.25〜0.75mm、0.20〜0.60mm、0.20〜0.60mmであり、素子の全長が80.0mm以下であるようにした。 【選択図】図1