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1. 发明专利

TWI353453B 探針卡之平行度調整機構 MECHANISM FOR ADJUSTING THE PARALLELNESS OF A PROBE CARD 有权
简体标题：探针卡之平行度调整机构 MECHANISM FOR ADJUSTING THE PARALLELNESS OF A PROBE CARD
公开(公告)号：TWI353453B
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：TW096127945
申请日：2007-07-31
申请人：日本發條股份有限公司
发明人：山田佳男 , 中山浩志 , 長屋光浩 , 井沼毅 , 赤尾崇
IPC分类号： G01R , H01L
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R1/07307
摘要：本發明主要的目的係在提供一種探針卡之平行度調整機構，其係即使失去探針卡的安裝基準面與作為檢查對象之晶圓的表面之平行度，亦可使該探針卡所保持之探針一致地與晶圓接觸。為達到此目的，及為了調整保持電性連接作為檢查對象之晶圓31與產生檢查用信號之電路構造之間的複數個探針1之探針卡101相對於晶圓31之平行度，而設置調整螺絲22，該調整螺絲係形成對安裝探針卡101之探針設備201的安裝基準面S1變更探針卡101的傾斜度之傾斜度變更手段的至少一部分。
简体摘要：本发明主要的目的系在提供一种探针卡之平行度调整机构，其系即使失去探针卡的安装基准面与作为检查对象之晶圆的表面之平行度，亦可使该探针卡所保持之探针一致地与晶圆接触。为达到此目的，及为了调整保持电性连接作为检查对象之晶圆31与产生检查用信号之电路构造之间的复数个探针1之探针卡101相对于晶圆31之平行度，而设置调整螺丝22，该调整螺丝系形成对安装探针卡101之探针设备201的安装基准面S1变更探针卡101的倾斜度之倾斜度变更手段的至少一部分。

2. 发明专利

TWI394953B 探針卡有权
简体标题：探针卡
公开(公告)号：TWI394953B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：TW097127267
申请日：2008-07-18
申请人：日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
发明人：山田佳男 , YAMADA, YOSHIO , 中山浩志 , NAKAYAMA, HIROSHI , 井沼毅 , INUMA, TSUYOSHI , 赤尾崇 , AKAO, TAKASHI
IPC分类号： G01R1/067 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R1/06722 , G01R1/07371

3. 发明专利

TWI680302B 探針單元有权
简体标题：探针单元
公开(公告)号：TWI680302B
公开(公告)日：2019-12-21
申请号：TW107124290
申请日：2018-07-13
申请人：日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
发明人：広中浩平 , HIRONAKA, KOHEI , 井沼毅 , INUMA, TSUYOSHI , 高橋秀志 , TAKAHASHI, SHUJI
IPC分类号： G01R1/073 , H01L21/66

4. 发明专利

TW202022388A 探針單元审中-公开
简体标题：探针单元
公开(公告)号：TW202022388A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108143143
申请日：2019-11-27
申请人：日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
发明人：井沼毅 , INUMA, TSUYOSHI , 相馬一也 , SOMA, KAZUYA
IPC分类号： G01R1/067
摘要：一種調整接觸探針整體特性阻抗的探針單元，具備：複數個第1接觸探針，與接觸對象的電極分別接觸；第2接觸探針，與基準電位連接；信號用管，設置在第1接觸探針周圍；基準電位構件，在其與信號用管之間形成空氣層；探針保持具，具有板狀第1及第2構件，保持第1及第2接觸探針、信號用管及基準電位構件各一端部；第1配線部，至少設置於第1構件表面且與第2接觸探針電連接；第2配線部，至少設置於第2構件表面且與第2接觸探針電連接；第1導電單元，將第1配線部表面與背面電連接；以及第2導電單元，將第2配線部表面與背面電連接。
简体摘要：一种调整接触探针整体特性阻抗的探针单元，具备：复数个第1接触探针，与接触对象的电极分别接触；第2接触探针，与基准电位连接；信号用管，设置在第1接触探针周围；基准电位构件，在其与信号用管之间形成空气层；探针保持具，具有板状第1及第2构件，保持第1及第2接触探针、信号用管及基准电位构件各一端部；第1配线部，至少设置于第1构件表面且与第2接触探针电连接；第2配线部，至少设置于第2构件表面且与第2接触探针电连接；第1导电单元，将第1配线部表面与背面电连接；以及第2导电单元，将第2配线部表面与背面电连接。

5. 发明专利

TWI668459B 導電性接觸子單元有权
简体标题：导电性接触子单元
公开(公告)号：TWI668459B
公开(公告)日：2019-08-11
申请号：TW107120526
申请日：2018-06-14
申请人：日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
发明人：広中浩平 , HIRONAKA, KOHEI , 井沼毅 , INUMA, TSUYOSHI
IPC分类号： G01R31/28 , G01R31/16

6. 发明专利

TWI383154B 探針卡有权
简体标题：探针卡
公开(公告)号：TWI383154B
公开(公告)日：2013-01-21
申请号：TW097108991
申请日：2008-03-14
申请人：日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
发明人：山田佳男 , YAMADA, YOSHIO , 中山浩志 , NAKAYAMA, HIROSHI , 長屋光浩 , NAGAYA, MITSUHIRO , 井沼毅 , INUMA, TSUYOSHI , 赤尾崇 , AKAO, TAKASHI
IPC分类号： G01R1/073 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2889 , G01R1/06722 , G01R1/07314 , G01R1/07371

7. 发明专利

TWI334487B 探針卡 PROBE CARD 有权
简体标题：探针卡 PROBE CARD
公开(公告)号：TWI334487B
公开(公告)日：2010-12-11
申请号：TW096120475
申请日：2007-06-07
申请人：日本發條股份有限公司
发明人：佐佐木俊輔 , 井沼毅 , 山田佳男 , 長屋光浩 , 赤尾崇 , 中山浩志
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R31/2889 , G01R1/06722 , G01R1/07378
摘要：本發明提供可容易地以低成本實現空間轉換件之剛性提升的探針卡。為了達成該目的而具備：平板狀之配線基板11，係具有對應產生檢查用信號之電路構造的配線圖案；中介件13，係積層在配線基板11，而中繼配線基板11之配線；空間轉換件14，係積層在中介件13並由接著劑19固定，而轉換由中介件13所中繼之配線的間隔，並使該配線露出至對向於中介件13之側的相反側之表面；以及探針頭15，係積層於空間轉換件14，且收容保持複數個探針。
简体摘要：本发明提供可容易地以低成本实现空间转换件之刚性提升的探针卡。为了达成该目的而具备：平板状之配线基板11，系具有对应产生检查用信号之电路构造的配线图案；中介件13，系积层在配线基板11，而中继配线基板11之配线；空间转换件14，系积层在中介件13并由接着剂19固定，而转换由中介件13所中继之配线的间隔，并使该配线露出至对向于中介件13之侧的相反侧之表面；以及探针头15，系积层于空间转换件14，且收容保持复数个探针。

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