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2. 发明专利

TW201841291A ＦＯＳＢ型出貨用晶圓收容容器之洗淨方法审中-公开
简体标题：ＦＯＳＢ型出货用晶圆收容容器之洗净方法
公开(公告)号：TW201841291A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107101059
申请日：2018-01-11
申请人：日商SUMCO股份有限公司 , SUMCO CORPORATION
发明人：小佐佐寛 , KOSASA, HIROSHI
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/68 , B65D85/86
摘要：提供FOSB型出貨用晶圓收容容器的洗淨方法，其能夠有效地除去固著在蓋部的晶圓接觸部位的矽氧化物。本發明為FOSB型出貨用晶圓收容容器的洗淨方法，該FOSB型出貨用晶圓收容容器至少具備可將複數枚晶圓彼此平行地收容之容器本體、及以自由裝卸的方式嵌合於上述容器本體的開口部以將上述晶圓推壓固定於上述容器本體的蓋部，該方法的特徵在於具有：在容器使用後的不收容晶圓時，將收容晶圓時上述蓋部當中與上述晶圓接觸的部位以微振動電動刷滑動洗淨之程序。
简体摘要：提供FOSB型出货用晶圆收容容器的洗净方法，其能够有效地除去固着在盖部的晶圆接触部位的硅氧化物。本发明为FOSB型出货用晶圆收容容器的洗净方法，该FOSB型出货用晶圆收容容器至少具备可将复数枚晶圆彼此平行地收容之容器本体、及以自由装卸的方式嵌合于上述容器本体的开口部以将上述晶圆推压固定于上述容器本体的盖部，该方法的特征在于具有：在容器使用后的不收容晶圆时，将收容晶圆时上述盖部当中与上述晶圆接触的部位以微振动电动刷滑动洗净之进程。

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