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1. 发明专利

TW201833388A 蒸鍍用遮罩、其設置方法及製造方法审中-公开
简体标题：蒸镀用遮罩、其设置方法及制造方法
公开(公告)号：TW201833388A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106145884
申请日：2017-12-27
申请人：日商麥克賽爾控股股份有限公司 , MAXELL HOLDINGS, LTD.
发明人：小林良弘 , KOBAYASHI, YOSHIHIRO , 田丸裕仁 , TAMARU, HIROHITO , 上原基志 , UEHARA, MOTOSHI , 石川樹一郎 , ISHIKAWA, KIICHIRO
IPC分类号： C25D1/00 , C23C14/24 , H05B33/10
摘要： [課題] 　　提供一種蒸鍍遮罩，以框體的補強框部作成不易發生保持框部與遮罩主體的變形，抑制遮罩主體的從正確位置的偏移，使蒸鍍相關的精度提升。　　[解決手段] 　　對於就在框體(3)的內側的遮罩主體(2)進行保持的保持框部(4)，配設從外側將其補強的補強框部(5)，透過提高對於遮罩主體(2)的應力的框體(3)的剛性，抑制遮罩主體(2)各部分的從本來應有位置的偏移的狀態下，固定設置於蒸鍍裝置，可確保遮罩與被蒸鍍基板的整合狀態，可精度佳地進行蒸鍍於被蒸鍍基板的適切的位置。
简体摘要： [课题] 　　提供一种蒸镀遮罩，以框体的补强框部作成不易发生保持框部与遮罩主体的变形，抑制遮罩主体的从正确位置的偏移，使蒸镀相关的精度提升。　　[解决手段] 　　对于就在框体(3)的内侧的遮罩主体(2)进行保持的保持框部(4)，配设从外侧将其补强的补强框部(5)，透过提高对于遮罩主体(2)的应力的框体(3)的刚性，抑制遮罩主体(2)各部分的从本来应有位置的偏移的状态下，固定设置于蒸镀设备，可确保遮罩与被蒸镀基板的集成状态，可精度佳地进行蒸镀于被蒸镀基板的适切的位置。

2. 发明专利

TWI699445B 蒸鍍罩及其製造方法有权
简体标题：蒸镀罩及其制造方法
公开(公告)号：TWI699445B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：TW105126978
申请日：2016-08-24
申请人：日商麥克賽爾控股股份有限公司 , MAXELL HOLDINGS, LTD.
发明人：田丸裕仁 , TAMARU, HIROHITO , 小林良弘 , KOBAYASHI, YOSHIHIRO , 石川樹一朗 , ISHIKAWA, KICHIRO
IPC分类号： C23C14/56 , B29C65/70

3. 发明专利

TW201911622A 蒸鍍罩审中-公开
简体标题：蒸镀罩
公开(公告)号：TW201911622A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107123244
申请日：2018-07-05
申请人：日商麥克賽爾控股股份有限公司 , MAXELL HOLDINGS, LTD.
发明人：石川樹一郎 , ISHIKAWA, KIICHIRO , 田丸裕仁 , TAMARU, HIROHITO , 小林良弘 , KOBAYASHI, YOSHIHIRO
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24
摘要：本發明提供一種蒸鍍罩，其將框體的基於截面形狀的強度的設定最佳化，利用框體適當抑制罩主體的變形，防止罩主體從正確的位置的偏移，且提高蒸鍍的精度。將框體3的內框部的最小寬度部的截面形狀形成為其寬度與厚度的關係適當者，可靠地賦予最小寬度部的彎曲剛性，因此，賦予相對於來自罩主體2側的力的所需充分的強度，與相比該最小寬度部寬度寬且強度高的框體3的其他部分，一同作為框體3整體而抑制罩主體2各部之從本應存在的位置的偏移，可確保蒸鍍步驟中罩與被蒸鍍基板的整合狀態，可在被蒸鍍基板的適當的位置精度良好地進行蒸鍍。
简体摘要：本发明提供一种蒸镀罩，其将框体的基于截面形状的强度的设置最优化，利用框体适当抑制罩主体的变形，防止罩主体从正确的位置的偏移，且提高蒸镀的精度。将框体3的内框部的最小宽度部的截面形状形成为其宽度与厚度的关系适当者，可靠地赋予最小宽度部的弯曲刚性，因此，赋予相对于来自罩主体2侧的力的所需充分的强度，与相比该最小宽度部宽度宽且强度高的框体3的其他部分，一同作为框体3整体而抑制罩主体2各部之从本应存在的位置的偏移，可确保蒸镀步骤中罩与被蒸镀基板的集成状态，可在被蒸镀基板的适当的位置精度良好地进行蒸镀。

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