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    • 3. 发明专利
    • 含酚性羥基之樹脂及抗蝕劑材料
    • 含酚性羟基之树脂及抗蚀剂材料
    • TW201833161A
    • 2018-09-16
    • TW106136496
    • 2017-10-24
    • 日商迪愛生股份有限公司DIC CORPORATION
    • 今田知之IMADA, TOMOYUKI佐藤勇介SATO, YUSUKE
    • C08G8/04G03F7/004G03F7/023H01L21/027
    • 本發明提供一種流動性及耐熱性較高,且用作抗蝕劑材料之情形時之顯影性或耐乾式蝕刻性亦優異的含酚性羥基之樹脂、含有其之感光性組成物、硬化性組成物、及抗蝕劑材料。具體而言,使用作為下述結構式(1)所表示之化合物(A)與醛化合物(B)之反應物即含酚性羥基之樹脂。 [式中,Ar1分別獨立地為可具有取代基之芳基,Ar1中之至少一者於芳香環上具有羥基。R1為氫原子或脂肪族烴基。R2係可具有取代基之脂肪族烴基、烷氧基、鹵素原子中之任一者,n為0或1~4之整數]
    • 本发明提供一种流动性及耐热性较高,且用作抗蚀剂材料之情形时之显影性或耐干式蚀刻性亦优异的含酚性羟基之树脂、含有其之感光性组成物、硬化性组成物、及抗蚀剂材料。具体而言,使用作为下述结构式(1)所表示之化合物(A)与醛化合物(B)之反应物即含酚性羟基之树脂。 [式中,Ar1分别独立地为可具有取代基之芳基,Ar1中之至少一者于芳香环上具有羟基。R1为氢原子或脂肪族烃基。R2系可具有取代基之脂肪族烃基、烷氧基、卤素原子中之任一者,n为0或1~4之整数]
    • 9. 发明专利
    • 含酚性羥基之樹脂及抗蝕劑材料
    • 含酚性羟基之树脂及抗蚀剂材料
    • TW201829513A
    • 2018-08-16
    • TW106136494
    • 2017-10-24
    • 日商迪愛生股份有限公司DIC CORPORATION
    • 今田知之IMADA, TOMOYUKI佐藤勇介SATO, YUSUKE
    • C08G8/10G03F7/004
    • 本發明提供一種流動性及耐熱性較高,且用作抗蝕劑材料之情形時之顯影性或耐乾式蝕刻性亦優異的含酚性羥基之樹脂、含有其之感光性組成物、硬化性組成物、及抗蝕劑材料。具體而言,本發明係關於一種三(羥基芳基)烷烴型化合物(A)與二甲醯基芳烴化合物(B)之反應物即含酚性羥基之樹脂、使用其之感光性組成物、硬化性組成物、及抗蝕劑材料。上述三(羥基芳基)烷烴型化合物(A)較佳為下述結構式(1-1)或(1-2)所表示之化合物。 [式中,R1、R2分別獨立地為脂肪族烴基、含芳香環之烴基、烷氧基、鹵素原子中之任一者。l分別獨立地為0或1~4之整數,m為0或1~4之整數,n為0或1~6之整數。R3為氫原子或烷基]
    • 本发明提供一种流动性及耐热性较高,且用作抗蚀剂材料之情形时之显影性或耐干式蚀刻性亦优异的含酚性羟基之树脂、含有其之感光性组成物、硬化性组成物、及抗蚀剂材料。具体而言,本发明系关于一种三(羟基芳基)烷烃型化合物(A)与二甲酰基芳烃化合物(B)之反应物即含酚性羟基之树脂、使用其之感光性组成物、硬化性组成物、及抗蚀剂材料。上述三(羟基芳基)烷烃型化合物(A)较佳为下述结构式(1-1)或(1-2)所表示之化合物。 [式中,R1、R2分别独立地为脂肪族烃基、含芳香环之烃基、烷氧基、卤素原子中之任一者。l分别独立地为0或1~4之整数,m为0或1~4之整数,n为0或1~6之整数。R3为氢原子或烷基]
    • 10. 发明专利
    • 含酚性羥基之樹脂及抗蝕劑材料
    • 含酚性羟基之树脂及抗蚀剂材料
    • TW201827478A
    • 2018-08-01
    • TW106132112
    • 2017-09-19
    • 日商迪愛生股份有限公司DIC CORPORATION
    • 今田知之IMADA, TOMOYUKI佐藤勇介SATO, YUSUKE
    • C08G8/30G03F7/004G03F7/039
    • 本發明提供一種不僅耐熱性或鹼顯影性優異,形成厚膜時之耐龜裂性亦優異的含酚性羥基之樹脂、含有其之感光性組成物、硬化性組成物、及抗蝕劑材料。本發明係一種含酚性羥基之樹脂,其特徵在於:具有下述結構式(1)或(2)所表示之結構部位(α)、與下述結構式(3)所表示之結構部位(β)作為重複單元,樹脂中所存在之R2、R3、R5中之至少一個為碳原子數8~24之脂肪族烴基。 (式中,R2、R3分別獨立地為脂肪族烴基、含芳香環之烴基、烷氧基、鹵素原子之任一者) (式中,R4為氫原子或碳原子數1~7之脂肪族烴基。R5為氫原子或碳原子數8~24之脂肪族烴基)
    • 本发明提供一种不仅耐热性或碱显影性优异,形成厚膜时之耐龟裂性亦优异的含酚性羟基之树脂、含有其之感光性组成物、硬化性组成物、及抗蚀剂材料。本发明系一种含酚性羟基之树脂,其特征在于:具有下述结构式(1)或(2)所表示之结构部位(α)、与下述结构式(3)所表示之结构部位(β)作为重复单元,树脂中所存在之R2、R3、R5中之至少一个为碳原子数8~24之脂肪族烃基。 (式中,R2、R3分别独立地为脂肪族烃基、含芳香环之烃基、烷氧基、卤素原子之任一者) (式中,R4为氢原子或碳原子数1~7之脂肪族烃基。R5为氢原子或碳原子数8~24之脂肪族烃基)