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1. 发明专利

TWI629568B 照明裝置及包含該照明裝置的曝光裝置有权
简体标题：照明设备及包含该照明设备的曝光设备
公开(公告)号：TWI629568B
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：TW103125455
申请日：2014-07-25
申请人：日商奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：藤森昭芳 , FUJIMORI, AKIYOSHI , 本多友彥 , HONDA, TOMOHIKO
IPC分类号： G03F7/20 , H05B41/38

2. 发明专利

TWI622082B 準分子燈及其製造方法有权
简体标题：准分子灯及其制造方法
公开(公告)号：TWI622082B
公开(公告)日：2018-04-21
申请号：TW103130344
申请日：2014-09-03
申请人：日商奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：矢島英樹 , YAJIMA, HIDEKI , 小林剛 , KOBAYASHI, GO , 芹澤和泉 , SERIZAWA, IZUMI , 本多友彥 , HONDA, TOMOHIKO
IPC分类号： H01J65/00
CPC分类号： H01J9/247 , H01J61/32 , H01J65/046

3. 发明专利

TWI609247B 光源裝置及包括光源裝置的曝光裝置有权
简体标题：光源设备及包括光源设备的曝光设备
公开(公告)号：TWI609247B
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：TW103112802
申请日：2014-04-08
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：金井信夫 , KANAI, NOBUO , 本多友彥 , HONDA, TOMOHIKO , 藤原和正 , FUJIHARA, KAZUMASA
IPC分类号： G03F7/20 , H01J61/20
CPC分类号： H05B41/24 , G03F7/70016 , G03F7/70291 , H01J61/025 , H01J61/0732 , H01J61/86

4. 发明专利

TW201514632A 照明裝置及包含該照明裝置的曝光裝置审中-公开
简体标题：照明设备及包含该照明设备的曝光设备
公开(公告)号：TW201514632A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：TW103125455
申请日：2014-07-25
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：藤森昭芳 , FUJIMORI, AKIYOSHI , 本多友彥 , HONDA, TOMOHIKO
IPC分类号： G03F7/20 , H05B41/38
CPC分类号： G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/08 , G01J1/16 , G03F7/70016 , G03F7/7005 , G03F7/7085 , H05B37/0245
摘要：本發明的目的是適當地檢測光源發出的照明光的照度/強度。將以基本頻率F重疊了因各燈管而異的特定頻率f1~f4的交流電力，做為供給至各放電燈管的交流電力，使各放電燈管的照明光週期地變動。照度感測器40檢測出各放電燈管的有震盪的照明光重疊而成的合成照明光的照度。照度量測部45根據彼此不同的特定頻率f1~f4，以同步檢測的方式檢測出不含震盪成分的各放電燈管的照度。
简体摘要：本发明的目的是适当地检测光源发出的照明光的照度/强度。将以基本频率F重叠了因各灯管而异的特定频率f1~f4的交流电力，做为供给至各放电灯管的交流电力，使各放电灯管的照明光周期地变动。照度传感器40检测出各放电灯管的有震荡的照明光重叠而成的合成照明光的照度。照度量测部45根据彼此不同的特定频率f1~f4，以同步检测的方式检测出不含震荡成分的各放电灯管的照度。

5. 发明专利

TW201611661A 具備訊號發送機之放電燈管及其光源裝置审中-公开
简体标题：具备信号发送机之放电灯管及其光源设备
公开(公告)号：TW201611661A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：TW104116003
申请日：2015-05-20
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：藤森昭芳 , FUJIMORI, AKIYOSHI , 本多友彥 , HONDA, TOMOHIKO , 篠木晟 , SHINOGI, AKIRA
IPC分类号： H05B37/02
CPC分类号： Y02B20/42
摘要：嚴密地管理點燈放電燈管的燈管資訊而能夠適當地點燈。在配備於燈管1的燈管供電線5，以包圍燈管供電線5的方式設置發送機6。發送機6利用燈管供電線5流通的電流而運作。發送機6使對應燈管型式及累積點燈時間等資訊的信號重疊於點燈電流而傳送至光源裝置，光源裝置7參照此信號，進行是否繼續點燈及燈管的點燈電力調整。藉由使用點燈電流傳送燈管資訊，能夠確實地管理燈管資訊及能夠經常地安全點燈。
简体摘要：严密地管理点灯放电灯管的灯管信息而能够适当地点灯。在配备于灯管1的灯管供电线5，以包围灯管供电线5的方式设置发送机6。发送机6利用灯管供电线5流通的电流而运作。发送机6使对应灯管型式及累积点灯时间等信息的信号重叠于点灯电流而发送至光源设备，光源设备7参照此信号，进行是否继续点灯及灯管的点灯电力调整。借由使用点灯电流发送灯管信息，能够确实地管理灯管信息及能够经常地安全点灯。

6. 发明专利

TW201515057A 準分子燈及其製造方法审中-公开
简体标题：准分子灯及其制造方法
公开(公告)号：TW201515057A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：TW103130344
申请日：2014-09-03
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：矢島英樹 , YAJIMA, HIDEKI , 小林剛 , KOBAYASHI, GO , 芹澤和泉 , SERIZAWA, IZUMI , 本多友彥 , HONDA, TOMOHIKO
IPC分类号： H01J65/00
CPC分类号： H01J9/247 , H01J61/32 , H01J65/046
摘要：獲致小型準分子燈及其製造方法，該準分子燈包括：發光管，其具備有底筒狀的內管、及在與該內管之間形成密閉的放電空間之外管，其由將放電氣體封入上述放電空間內的介電質構成；外側電極，其配置於該發光管的外管的外周面側；以及內側電極，其插入配置於該內管內；在該準分子燈中，不會因為內側電極和內管的熱膨脹係數的差而造成內管破損，且能夠有效率地放射紫外線。一種準分子燈，其在該內管的內周面和內側電極的外周面之間，當該介電質屏障放電造成該內側電極熱膨脹時，抑制該內側電極對內管施以應力，並參酌該放電空間的大小及該放電電壓的大小，形成確保在該放電空間中的介電質屏障放電或容量結合型高頻放電的剖面積之緩衝空間。
简体摘要：获致小型准分子灯及其制造方法，该准分子灯包括：发光管，其具备有底筒状的内管、及在与该内管之间形成密闭的放电空间之外管，其由将放电气体封入上述放电空间内的介电质构成；外侧电极，其配置于该发光管的外管的外周面侧；以及内侧电极，其插入配置于该内管内；在该准分子灯中，不会因为内侧电极和内管的热膨胀系数的差而造成内管破损，且能够有效率地放射紫外线。一种准分子灯，其在该内管的内周面和内侧电极的外周面之间，当该介电质屏障放电造成该内侧电极热膨胀时，抑制该内侧电极对内管施以应力，并参酌该放电空间的大小及该放电电压的大小，形成确保在该放电空间中的介电质屏障放电或容量结合型高频放电的剖面积之缓冲空间。

7. 发明专利

TW201510668A 光源裝置及包括光源裝置的曝光裝置审中-公开
简体标题：光源设备及包括光源设备的曝光设备
公开(公告)号：TW201510668A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：TW103112802
申请日：2014-04-08
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：金井信夫 , KANAI, NOBUO , 本多友彥 , HONDA, TOMOHIKO , 藤原和正 , FUJIHARA, KAZUMASA
IPC分类号： G03F7/20 , H01J61/20
CPC分类号： H05B41/24 , G03F7/70016 , G03F7/70291 , H01J61/025 , H01J61/0732 , H01J61/86
摘要：本發明的放電燈管的特徵是，具備沿著水平方向配置的放電燈管22及反射面為旋轉拋物面的反射鏡21的光源裝置20中，放電燈管22配置於反射鏡21的中心部，且燈管中心軸E從反射鏡中心軸T沿著鉛直方向離開距離d平行配置。
简体摘要：本发明的放电灯管的特征是，具备沿着水平方向配置的放电灯管22及反射面为旋转抛物面的反射镜21的光源设备20中，放电灯管22配置于反射镜21的中心部，且灯管中心轴E从反射镜中心轴T沿着铅直方向离开距离d平行配置。

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