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    • 9. 发明专利
    • 配線基板的製造方法
    • 配线基板的制造方法
    • TW201822607A
    • 2018-06-16
    • TW106139672
    • 2017-11-16
    • 新光電氣工業股份有限公司SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
    • 小林和弘KOBAYASHI, KAZUHIRO唐澤裕介KARASAWA, YUSUKE
    • H05K3/46H05K3/06
    • 一種配線基板的製造方法,具有:準備在支撐基板上依次層疊第1金屬層和上表面為粗糙表面或由顆粒構成的第2金屬層並可相對於該第1金屬層選擇性蝕刻該第2金屬層的支撐體的步驟;在該第2金屬層的上表面上選擇性形成第3金屬層的步驟;藉由蝕刻液對該第3金屬層進行粗糙化並同時對未被該第3金屬層覆蓋的該第2金屬層進行溶解,形成在該第2金屬層上層疊了該第3金屬層的第1配線層的步驟;在該第1金屬層上形成覆蓋該第1配線層的絕緣層的步驟;以及去除該支撐基板再藉由蝕刻去除該第1金屬層的步驟。
    • 一种配线基板的制造方法,具有:准备在支撑基板上依次层叠第1金属层和上表面为粗糙表面或由颗粒构成的第2金属层并可相对于该第1金属层选择性蚀刻该第2金属层的支撑体的步骤;在该第2金属层的上表面上选择性形成第3金属层的步骤;借由蚀刻液对该第3金属层进行粗糙化并同时对未被该第3金属层覆盖的该第2金属层进行溶解,形成在该第2金属层上层叠了该第3金属层的第1配线层的步骤;在该第1金属层上形成覆盖该第1配线层的绝缘层的步骤;以及去除该支撑基板再借由蚀刻去除该第1金属层的步骤。