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1. 发明专利

TWI583535B 圖案形成裝置及圖案形成方法有权
简体标题：图案形成设备及图案形成方法
公开(公告)号：TWI583535B
公开(公告)日：2017-05-21
申请号：TW103105515
申请日：2014-02-19
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：正司和大 , SHOJI, KAZUHIRO , 川越理史 , KAWAGOE, MASAFUMI , 上野博之 , UENO, HIROYUKI , 芝藤彌生 , SHIBAFUJI, YAYOI , 增市幹雄 , MASUICHI, MIKIO , 上野美佳 , UENO, MIYOSHI
IPC分类号： B29C59/04

2. 发明专利

TWI585028B 剝離裝置及剝離方法有权
简体标题：剥离设备及剥离方法
公开(公告)号：TWI585028B
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：TW102145975
申请日：2013-12-12
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：川越理史 , KAWAGOE, MASAFUMI , 正司和大 , SHOJI, KAZUHIRO , 芝藤彌生 , SHIBAFUJI, YAYOI , 增市幹雄 , MASUICHI, MIKIO , 上野博之 , UENO, HIROYUKI , 上野美佳 , UENO, MIYOSHI , 谷口和隆 , TANIGUCHI, KAZUTAKA
IPC分类号： B65H41/00
CPC分类号： B32B43/006 , Y10T156/11 , Y10T156/1978

3. 发明专利

TWI528105B 剝離裝置及剝離方法有权
简体标题：剥离设备及剥离方法
公开(公告)号：TWI528105B
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW104102401
申请日：2015-01-23
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：上野博之 , UENO, HIROYUKI , 川越理史 , KAWAGOE, MASAFUMI , 柳田隆明 , YANAGIDA, TAKAAKI , 正司和大 , SHOJI, KAZUHIRO , 增市幹雄 , MASUICHI, MIKIO
IPC分类号： G03F7/00 , H01L21/683 , B32B38/10

4. 发明专利

TW201535043A 剝離裝置及剝離方法审中-公开
简体标题：剥离设备及剥离方法
公开(公告)号：TW201535043A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：TW104102401
申请日：2015-01-23
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：上野博之 , UENO, HIROYUKI , 川越理史 , KAWAGOE, MASAFUMI , 柳田隆明 , YANAGIDA, TAKAAKI , 正司和大 , SHOJI, KAZUHIRO , 增市幹雄 , MASUICHI, MIKIO
IPC分类号： G03F7/00 , H01L21/683 , B32B38/10
摘要：本發明之剝離方法係使彼此密接之2片板狀體良好且穩定地剝離而離開。本發明之剝離方法包括如下步驟：藉由上游側吸附部使第2板狀體之被吸附部位自第1板狀體剝離而向剝離推進方向推進第2板狀體之剝離；使下游側吸附部於剝離推進方向上之被吸附部位之下游側，向第2板狀體中之藉由上游側剝離器件而剝離之剝離部位之反密接面移動；於剝離部位向反密接面移動中，監控下游側吸附部相對於第2板狀體之反密接面之相對位置；基於與相對位置相關之位置資訊，調整開始利用下游側吸附部進行之第2板狀體之吸附之時序；及與利用下游側吸附部進行之第2板狀體之吸附開始同時或於吸附開始後，按照藉由下游側吸附部吸附剝離部位之反密接面之狀態使下游側吸附部自保持器件離開而向剝離推進方向推進第2板狀體之剝離。
简体摘要：本发明之剥离方法系使彼此密接之2片板状体良好且稳定地剥离而离开。本发明之剥离方法包括如下步骤：借由上游侧吸附部使第2板状体之被吸附部位自第1板状体剥离而向剥离推进方向推进第2板状体之剥离；使下游侧吸附部于剥离推进方向上之被吸附部位之下游侧，向第2板状体中之借由上游侧剥离器件而剥离之剥离部位之反密接面移动；于剥离部位向反密接面移动中，监控下游侧吸附部相对于第2板状体之反密接面之相对位置；基于与相对位置相关之位置信息，调整开始利用下游侧吸附部进行之第2板状体之吸附之时序；及与利用下游侧吸附部进行之第2板状体之吸附开始同时或于吸附开始后，按照借由下游侧吸附部吸附剥离部位之反密接面之状态使下游侧吸附部自保持器件离开而向剥离推进方向推进第2板状体之剥离。

5. 发明专利

TWI551462B 圖案形成裝置及圖案形成方法有权
简体标题：图案形成设备及图案形成方法
公开(公告)号：TWI551462B
公开(公告)日：2016-10-01
申请号：TW103102526
申请日：2014-01-23
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：川越理史 , KAWAGOE, MASAFUMI , 增市幹雄 , MASUICHI, MIKIO , 上野博之 , UENO, HIROYUKI , 正司和大 , SHOJI, KAZUHIRO , 芝藤彌生 , SHIBAFUJI, YAYOI , 上野美佳 , UENO, MIYOSHI
IPC分类号： B41F16/00
CPC分类号： B29C59/02 , B29C59/026 , B41F17/14

6. 发明专利

TWI494714B 圖案形成裝置及圖案形成方法、以及對準裝置及對準方法有权
简体标题：图案形成设备及图案形成方法、以及对准设备及对准方法
公开(公告)号：TWI494714B
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW103106157
申请日：2014-02-25
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：川越理史 , KAWAGOE, MASAFUMI , 増市幹雄 , MASUICHI, MIKIO , 上野博之 , UENO, HIROYUKI , 上野美佳 , UENO, MIYOSHI , 谷口和 , TANIGUTI, KAZUTAKA , 正司和大 , SHOJI, KAZUHIRO , 芝藤弥生 , SHIBAFUJI, YAYOI , 田中哲夫 , TANAKA, TETSUO , 陶山武史 , SUYAMA, TAKESHI
IPC分类号： G03F9/00 , G03F7/00

7. 发明专利

TWI556979B 轉印裝置及轉印方法有权
简体标题：转印设备及转印方法
公开(公告)号：TWI556979B
公开(公告)日：2016-11-11
申请号：TW103107279
申请日：2014-03-04
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：芝藤彌生 , SHIBAFUJI, YAYOI , 川越理史 , KAWAGOE, MASAFUMI , 增市幹雄 , MASUICHI, MIKIO , 上野博之 , UENO, HIROYUKI , 正司和大 , SHOJI, KAZUHIRO , 上野美佳 , UENO, MIYOSHI
IPC分类号： B41F16/00 , G03F7/16
CPC分类号： B32B37/0053 , B32B37/025 , B32B38/1858 , B41F16/0053 , B41F16/006 , B41F16/008 , Y10T156/1705

8. 发明专利

TWI545027B 板狀被搬送物的傳送方法、傳送裝置及圖案形成裝置有权
简体标题：板状被搬送物的发送方法、发送设备及图案形成设备
公开(公告)号：TWI545027B
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：TW103108862
申请日：2014-03-13
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：上野博之 , UENO, HIROYUKI , 増市幹雄 , MASUICHI, MIKIO , 川越理史 , KAWAGOE, MASAFUMI , 芝藤弥生 , SHIBAFUJI, YAYOI , 正司和大 , SHOJI, KAZUHIRO , 上野美佳 , UENO, MIYOSHI
IPC分类号： B41M1/02

9. 发明专利

TWI624377B 剝離裝置有权
简体标题：剥离设备
公开(公告)号：TWI624377B
公开(公告)日：2018-05-21
申请号：TW105109522
申请日：2016-03-25
申请人：思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：上野美佳 , UENO, MIYOSHI , 芝藤弥生 , SHIBAFUJI, YAYOI , 柳田隆明 , YANAGIDA, TAKAAKI , 正司和大 , SHOJI, KAZUHIRO
IPC分类号： B32B38/10 , H01L21/68

10. 发明专利

TW201811571A 剝離裝置及剝離方法审中-公开
简体标题：剥离设备及剥离方法
公开(公告)号：TW201811571A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106114596
申请日：2017-05-03
申请人：斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：梶野一樹 , KAJINO, ITSUKI , 上野美佳 , UENO, MIYOSHI , 増市幹雄 , MASUICHI, MIKIO , 上野博之 , UENO, HIROYUKI , 正司和大 , SHOJI, KAZUHIRO
IPC分类号： B32B38/10 , G02F1/1333
CPC分类号： B05C11/00 , B05C1/025 , B05D1/28 , B41F16/00 , B41F16/0073 , H01L21/00 , H01L21/67092 , H01L21/6838
摘要：本發明之剝離裝置具備：保持部，其保持第1板狀體；複數個吸附部，其於剝離行進方向排列，吸附第2板狀體之另一主面；及剝離控制部，其藉由使各吸附部於與保持部分隔之分隔方向移動，而使吸附部所吸附之第2板狀體之被吸附部位自第1板狀體剝離，且以複數個吸附部之排列順序進行部分剝離而使第2板狀體之剝離行進；剝離控制部具有：第1可動體，其設置為可於分隔方向移動；第1移動部，其使第1可動體於分隔方向移動；及複數個第1卡合構件，其依每一吸附部而設置，藉由安裝在吸附部且卡合於在分隔方向移動之第1可動體而伴隨著第1可動體之移動，使吸附部於分隔方向移動；複數個第1卡合構件各自卡合於第1可動體之時序與排列順序相同。
简体摘要：本发明之剥离设备具备：保持部，其保持第1板状体；复数个吸附部，其于剥离行进方向排列，吸附第2板状体之另一主面；及剥离控制部，其借由使各吸附部于与保持部分隔之分隔方向移动，而使吸附部所吸附之第2板状体之被吸附部位自第1板状体剥离，且以复数个吸附部之排列顺序进行部分剥离而使第2板状体之剥离行进；剥离控制部具有：第1可动体，其设置为可于分隔方向移动；第1移动部，其使第1可动体于分隔方向移动；及复数个第1卡合构件，其依每一吸附部而设置，借由安装在吸附部且卡合于在分隔方向移动之第1可动体而伴随着第1可动体之移动，使吸附部于分隔方向移动；复数个第1卡合构件各自卡合于第1可动体之时序与排列顺序相同。

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