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1. 发明专利

TWI397148B 軌跡微影工具中之晶圓置中情形的偵測方法與系統失效
简体标题：轨迹微影工具中之晶圆置中情形的侦测方法与系统
公开(公告)号：TWI397148B
公开(公告)日：2013-05-21
申请号：TW097100858
申请日：2008-01-09
申请人：數獨股份有限公司 , SOKUDO CO., LTD.
发明人：哈拉德赫前 , HERCHEN, HARALD , 潘莉莉 , PANG, LILY , 波拉斯艾莉卡 , PORRAS, ERICA
IPC分类号： H01L21/68 , G01B11/24
CPC分类号： G01D5/342

2. 发明专利

TWI439694B 量測流速及流量之方法及系統有权
简体标题：量测流速及流量之方法及系统
公开(公告)号：TWI439694B
公开(公告)日：2014-06-01
申请号：TW096115187
申请日：2007-04-27
申请人：數獨股份有限公司 , SOKUDO CO., LTD.
发明人：赫前哈拉德 , HERCHEN, HARALD , 波拉斯艾莉卡 , PORRAS, ERICA , 石川哲也 , ISHIKAWA, TETSUYA
IPC分类号： G01P5/00 , G01F1/86 , H01L21/02
CPC分类号： G01F1/7086 , B05B12/082 , H01L21/6715 , H01L21/67225

3. 发明专利

TWI424541B 溫度變更系統有权
简体标题：温度变更系统
公开(公告)号：TWI424541B
公开(公告)日：2014-01-21
申请号：TW100125191
申请日：2011-07-15
申请人：迅動股份有限公司 , SOKUDO CO., LTD.
发明人：霍夫斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON , 賀誠哈拉德 , HERCHEN, HARALD , 賓森杰D , PINSON, JAY D.
IPC分类号： H01L23/34

4. 发明专利

TW201304087A 溫度變更系統审中-公开
简体标题：温度变更系统
公开(公告)号：TW201304087A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：TW100125191
申请日：2011-07-15
申请人：迅動股份有限公司 , SOKUDO CO., LTD.
发明人：霍夫斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON , 賀誠哈拉德 , HERCHEN, HARALD , 賓森杰D , PINSON, JAY D.
IPC分类号： H01L23/34
摘要：本發明係提供一種可縮短烤板部之溫度變更所需時間之溫度變更系統。本發明之高速溫度變更(RTC)系統具備烤板部205，該烤板部205具備：熱擴散部222、連結於熱擴散部222之加熱器基台226、及連結於加熱器基台226之加熱器層224。又，高速溫度變更系統包含配置於靠近烤板部205之被動冷卻機構。被動冷卻機構可移動成與加熱器層224物理性接觸。被動冷卻機構具備冷卻板240、及連結於冷卻板240之熱墊210。再者，高速溫度變更系統具備配置於靠近被動冷卻機構之主動冷卻機構。被動冷卻機構可移動成與主動冷卻機構物理性接觸。
简体摘要：本发明系提供一种可缩短烤板部之温度变更所需时间之温度变更系统。本发明之高速温度变更(RTC)系统具备烤板部205，该烤板部205具备：热扩散部222、链接于热扩散部222之加热器基台226、及链接于加热器基台226之加热器层224。又，高速温度变更系统包含配置于靠近烤板部205之被动冷却机构。被动冷却机构可移动成与加热器层224物理性接触。被动冷却机构具备冷却板240、及链接于冷却板240之热垫210。再者，高速温度变更系统具备配置于靠近被动冷却机构之主动冷却机构。被动冷却机构可移动成与主动冷却机构物理性接触。

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