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1. 发明专利

TWI607102B 用於蒸發介電材料之電漿輔助沉積裝置、沉積設備、以及其操作方法有权
简体标题：用于蒸发介电材料之等离子辅助沉积设备、沉积设备、以及其操作方法
公开(公告)号：TWI607102B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW102146965
申请日：2013-12-18
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：凱樂史帝芬 , KELLER, STEFAN , 班傑史帝芬 , BANGERT, STEFAN , 郭炳松 , KWAK, BYUNG-SUNG LEO
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/08
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/0676 , C23C14/246 , C23C14/30 , C23C14/32 , C23C14/50 , H01J37/32091 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01M4/0428 , H01M4/1391 , H01M10/052 , H01M10/0562

2. 发明专利

TW201425611A 蒸發器、沉積裝置、沉積設備、及其操作方法审中-公开
简体标题：蒸发器、沉积设备、沉积设备、及其操作方法
公开(公告)号：TW201425611A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW102145895
申请日：2013-12-12
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：凱樂史帝芬 , KELLER, STEFAN , 修柏勒尤伊 , SCHUESSLER, UWE , 戴蓋斯康博瓊斯密爾 , DIEGUEZ-CAMPO, JOSE MANUEL , 班傑史帝芬 , BANGERT, STEFAN , 關邦善里歐 , KWAK BYUNG-SUNG LEO
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C16/4485 , C23C14/246 , C23C16/06 , C23C16/45519 , C23C16/45561 , C23C16/45565 , C23C16/4557 , C23C16/52
摘要：茲描述沉積裝置，用以蒸發包括鹼金屬或鹼土金屬的材料及沉積材料至基板上。裝置包含配置以液化材料的第一腔室、流體連通第一腔室且位於第一腔室下游的閥，其中閥配置以控制液化材料通過閥的流率、流體連通閥且位於閥下游的蒸發區，其中蒸發區配置以蒸發液化材料、及一或更多出口，用以將蒸發材料導向基板。
简体摘要：兹描述沉积设备，用以蒸发包括碱金属或碱土金属的材料及沉积材料至基板上。设备包含配置以液化材料的第一腔室、流体连通第一腔室且位于第一腔室下游的阀，其中阀配置以控制液化材料通过阀的流率、流体连通阀且位于阀下游的蒸发区，其中蒸发区配置以蒸发液化材料、及一或更多出口，用以将蒸发材料导向基板。

3. 发明专利

TWI580480B 用於使用熱線系統塗佈基板之裝置與方法有权
简体标题：用于使用热线系统涂布基板之设备与方法
公开(公告)号：TWI580480B
公开(公告)日：2017-05-01
申请号：TW101107055
申请日：2012-03-02
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：班傑史帝芬 , BANGERT, STEFAN , 古爾瓦納 , GUHR, WERNER , 凱樂史帝芬 , KELLER, STEFAN , 康寧麥可 , KOENIG, MICHAEL
IPC分类号： B05C5/02 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/448 , C23C16/44

4. 发明专利

TWI609979B 蒸發器、沉積裝置、沉積設備、及其操作方法有权
简体标题：蒸发器、沉积设备、沉积设备、及其操作方法
公开(公告)号：TWI609979B
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW102145895
申请日：2013-12-12
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：凱樂史帝芬 , KELLER, STEFAN , 修柏勒尤伊 , SCHUESSLER, UWE , 戴蓋斯康博瓊斯密爾 , DIEGUEZ-CAMPO, JOSE MANUEL , 班傑史帝芬 , BANGERT, STEFAN , 關邦善里歐 , KWAK BYUNG-SUNG LEO
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C16/4485 , C23C14/246 , C23C16/06 , C23C16/45519 , C23C16/45561 , C23C16/45565 , C23C16/4557 , C23C16/52

5. 发明专利

TWI488992B 用於強化熱絲化學氣相沉積製程中的鉭燈絲壽命的方法有权
简体标题：用于强化热丝化学气相沉积制程中的钽灯丝寿命的方法
公开(公告)号：TWI488992B
公开(公告)日：2015-06-21
申请号：TW100136766
申请日：2011-10-11
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：塔庫爾畢平 , THAKUR, BIPIN , 庫茲喬伊格里非斯 , CRUZ, JOE GRIFFITH , 凱樂史帝芬 , KELLER, STEFAN , 古加爾維卡斯 , GUJAR, VIKAS , 帕蒂爾拉文卓拉加努 , PATIL, RAVINDRA JANU
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/24 , C23C16/4488 , C23C16/52

6. 发明专利

TW201432072A 用於蒸發介電材料之電漿輔助沉積裝置、沉積設備、以及其操作方法审中-公开
简体标题：用于蒸发介电材料之等离子辅助沉积设备、沉积设备、以及其操作方法
公开(公告)号：TW201432072A
公开(公告)日：2014-08-16
申请号：TW102146965
申请日：2013-12-18
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：凱樂史帝芬 , KELLER, STEFAN , 班傑史帝芬 , BANGERT, STEFAN , 郭炳松 , KWAK, BYUNG-SUNG LEO
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/08
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/0676 , C23C14/246 , C23C14/30 , C23C14/32 , C23C14/50 , H01J37/32091 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01M4/0428 , H01M4/1391 , H01M10/052 , H01M10/0562
摘要：茲描述用於蒸發介電材料至基板上的沉積裝置。沉積裝置包括蒸汽分配噴淋頭、托座，用以提供介電材料至蒸汽分配噴淋頭中，其中托座具有進料單元，用以饋送介電材料至蒸汽分配噴淋頭、配置以熔化及蒸發蒸汽分配噴淋頭中的介電材料或使蒸汽分配噴淋頭中的介電材料昇華的能源，其中蒸汽分配噴淋頭具有一或更多出口，用以將蒸發的介電材料導向基板，及特別地，能源發射電子或光子，其中電子或光子熔化及蒸發介電材料或使介電材料昇華。裝置進一步包括電漿源，電漿源配置以在蒸汽分配噴淋頭與基板之間提供電漿。
简体摘要：兹描述用于蒸发介电材料至基板上的沉积设备。沉积设备包括蒸汽分配喷淋头、托座，用以提供介电材料至蒸汽分配喷淋头中，其中托座具有进料单元，用以馈送介电材料至蒸汽分配喷淋头、配置以熔化及蒸发蒸汽分配喷淋头中的介电材料或使蒸汽分配喷淋头中的介电材料升华的能源，其中蒸汽分配喷淋头具有一或更多出口，用以将蒸发的介电材料导向基板，及特别地，能源发射电子或光子，其中电子或光子熔化及蒸发介电材料或使介电材料升华。设备进一步包括等离子源，等离子源配置以在蒸汽分配喷淋头与基板之间提供等离子。

7. 发明专利

TW201229296A 用於強化熱絲化學氣相沉積製程中的鉭燈絲壽命的方法 METHODS FOR ENHANCING TANTALUM FILAMENT LIFE IN HOT WIRE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESSES 审中-公开
简体标题：用于强化热丝化学气相沉积制程中的钽灯丝寿命的方法 METHODS FOR ENHANCING TANTALUM FILAMENT LIFE IN HOT WIRE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESSES
公开(公告)号：TW201229296A
公开(公告)日：2012-07-16
申请号：TW100136766
申请日：2011-10-11
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：塔庫爾畢平 , 庫茲喬伊格里非斯 , 凱樂史帝芬 , 古加爾維卡斯 , 帕蒂爾拉文卓拉加努
IPC分类号： C23C
CPC分类号： C23C16/24 , C23C16/4488 , C23C16/52
摘要：茲提供利用熱絲化學氣相沉積(HWCVD)製程沉積膜的方法。在一些實施例中，操作HWCVD工具的方法包括提供氫氣(H2)至燈絲，歷經第一時段，燈絲置於HWCVD工具的處理腔室中；以及經過第一時段後，使電流流過燈絲，以將燈絲溫度提高至第一溫度。
简体摘要：兹提供利用热丝化学气相沉积(HWCVD)制程沉积膜的方法。在一些实施例中，操作HWCVD工具的方法包括提供氢气(H2)至灯丝，历经第一时段，灯丝置于HWCVD工具的处理腔室中；以及经过第一时段后，使电流流过灯丝，以将灯丝温度提高至第一温度。

8. 发明专利

TW201244834A 用於使用熱線系統塗佈基板之裝置與方法 APPARATUS AND METHOD FOR COATING A SUBSTRATE USING A HOT WIRE SYSTEM 审中-公开
简体标题：用于使用热线系统涂布基板之设备与方法 APPARATUS AND METHOD FOR COATING A SUBSTRATE USING A HOT WIRE SYSTEM
公开(公告)号：TW201244834A
公开(公告)日：2012-11-16
申请号：TW101107055
申请日：2012-03-02
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：班傑史帝芬 , 古爾瓦納 , 凱樂史帝芬 , 康寧麥可
IPC分类号： B05C , H01L
CPC分类号： C23C16/448 , C23C16/44
摘要：本發明提供一種塗佈裝置(10)，該塗佈裝置包括：(i)真空腔室(16)，該真空腔室用於使用經由金屬線(14)加熱之塗佈材料塗佈基板(12)；及(ii)致動器系統(18)，該致動器系統包括機動驅動裝置(20)。致動器系統經設置以用於在塗佈期間張緊金屬線(14)。此外，提供一種製造塗佈基板(12)之方法，該方法包括以下步驟：(i)由包括機動驅動裝置之致動器系統(18)張緊金屬線(14)；及(ii)使用塗佈材料(28)塗佈基板(12)，該塗佈之步驟在真空條件下執行。塗佈之步驟包括以下步驟：在塗佈材料沉積於基板(12)上之前，加熱金屬線(14)之至少一部分(14b)至用於引起塗佈材料之溫度升高的操作溫度。
简体摘要：本发明提供一种涂布设备(10)，该涂布设备包括：(i)真空腔室(16)，该真空腔室用于使用经由金属线(14)加热之涂布材料涂布基板(12)；及(ii)致动器系统(18)，该致动器系统包括机动驱动设备(20)。致动器系统经设置以用于在涂布期间张紧金属线(14)。此外，提供一种制造涂布基板(12)之方法，该方法包括以下步骤：(i)由包括机动驱动设备之致动器系统(18)张紧金属线(14)；及(ii)使用涂布材料(28)涂布基板(12)，该涂布之步骤在真空条件下运行。涂布之步骤包括以下步骤：在涂布材料沉积于基板(12)上之前，加热金属线(14)之至少一部分(14b)至用于引起涂布材料之温度升高的操作温度。

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