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1. 发明专利

TW201911398A 切膜裝置及其切膜方法审中-公开
简体标题：切膜设备及其切膜方法
公开(公告)号：TW201911398A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW106126931
申请日：2017-08-09
申请人：志聖工業股份有限公司 , C SUN MFG. LTD.
发明人：曾永村 , TSENG, YUNG-TSUN , 陳明宗 , CHEN, MING-TSUNG , 楊佳裕 , YANG, CHIA-YU
IPC分类号： H01L21/302 , B26D1/03
摘要：一種切膜裝置，用以裁切適於貼覆於一晶圓的一薄膜，其中晶圓具有一外緣以及位於外緣的一凹槽。切膜裝置包含一承載座、一運動模組、一凹槽切刀以及一外緣切刀。運動模組設置於承載座。凹槽切刀設置於運動模組，使得運動模組可帶動凹槽切刀相對承載座移動而接近或遠離薄膜。凹槽切刀可切割薄膜而於薄膜形成一破孔。外緣切刀設置於運動模組，使得運動模組可帶動外緣切刀相對凹槽切刀移動而接近或遠離薄膜。運動模組還可帶動外緣切刀相對承載座旋轉以裁切薄膜。
简体摘要：一种切膜设备，用以裁切适于贴覆于一晶圆的一薄膜，其中晶圆具有一外缘以及位于外缘的一凹槽。切膜设备包含一承载座、一运动模块、一凹槽切刀以及一外缘切刀。运动模块设置于承载座。凹槽切刀设置于运动模块，使得运动模块可带动凹槽切刀相对承载座移动而接近或远离薄膜。凹槽切刀可切割薄膜而于薄膜形成一破孔。外缘切刀设置于运动模块，使得运动模块可带动外缘切刀相对凹槽切刀移动而接近或远离薄膜。运动模块还可带动外缘切刀相对承载座旋转以裁切薄膜。

2. 发明专利

TWI329569B 壓合機之壓合結構及其製程有权
简体标题：压合机之压合结构及其制程
公开(公告)号：TWI329569B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：TW096134807
申请日：2007-09-19
申请人：志聖工業股份有限公司
发明人：楊佳裕 , 廖仁瑞 , 陳明宗
IPC分类号： B32B
摘要：本發明旨在揭示一種壓合機之壓合結構及其製程，其主要係包括一吸附滾輪與一工作承台，而該吸附滾輪與工作承台係設置於一壓合機設備內，該壓合機設備並設有一清潔單元、一帶膜單元與一靜電消除單元；該清潔單元係可滾動而沾附去除工作承台與吸附滾輪上之粉塵；該帶膜單元則用以方便去除膠膜；該靜電消除單元係用以導去靜電以減少靜電造成之影響；該吸附滾輪係包括有軸部以及作動面，該吸附滾輪並可控制氣壓而令作動面產生吸附與釋放作用；該工作承台係設置於相鄰吸附滾輪作動面處，藉此，利用吸附滾輪與工作承台承置面趨近或趨遠，並配合吸附滾輪作動面之吸附與釋放效果，而可達到滾動壓合之效果。
简体摘要：本发明旨在揭示一种压合机之压合结构及其制程，其主要系包括一吸附滚轮与一工作承台，而该吸附滚轮与工作承台系设置于一压合机设备内，该压合机设备并设有一清洁单元、一带膜单元与一静电消除单元；该清洁单元系可滚动而沾附去除工作承台与吸附滚轮上之粉尘；该带膜单元则用以方便去除胶膜；该静电消除单元系用以导去静电以减少静电造成之影响；该吸附滚轮系包括有轴部以及作动面，该吸附滚轮并可控制气压而令作动面产生吸附与释放作用；该工作承台系设置于相邻吸附滚轮作动面处，借此，利用吸附滚轮与工作承台承置面趋近或趋远，并配合吸附滚轮作动面之吸附与释放效果，而可达到滚动压合之效果。

3. 发明专利

TWI322255B 壓膜設備之冷卻裝置失效
简体标题：压膜设备之冷却设备
公开(公告)号：TWI322255B
公开(公告)日：2010-03-21
申请号：TW095149103
申请日：2006-12-27
申请人：志聖工業股份有限公司
发明人：鍾承翰 , 楊佳裕 , 陳明宗 , 曾文進
IPC分类号： F25D , B30B
摘要：本發明旨在揭示一種壓膜設備之冷卻裝置，其主要係包括一水冷裝置、一鼓風裝置、以及至少一進氣口、出氣口，其中該水冷裝置係具有一進水口與一出水口，水冷裝置係可供氣流通過，而降低氣流之溫度；該鼓風裝置係與水冷裝置連通，鼓風裝置係可吸引氣流由進氣口經過水冷裝置，再透過過濾裝置後向出氣口排出，該排氣口則可透過一氣管與一集風罩對壓膜設備之真空壓膜機或預貼機等，需冷卻之處做冷卻吹拂，如此，藉由導入水流步驟、氣流降溫步驟、空氣過濾步驟、冷卻吹拂步驟等流程，令低溫水流導入進水口，令水冷裝置降低氣流溫度，再過濾雜質最後由出氣口排出，提供低溫氣流以達降溫之效。【創作特點】本發明之主要目的係在於提供一種壓膜設備之冷卻裝置，其可改善習用在壓膜過程中膜體容易沾附基材，造成壓膜時之氣泡、膜皺，品質不良等缺失。
為達成前述之發明目的，本發明其本體主要係包括一水冷裝置、一鼓風裝置、以及至少一進氣口、出氣口，其中該水冷裝置係具有一進水口與一出水口，水冷裝置係可供氣流通過，而降低氣流之溫度；該鼓風裝置係與水冷裝置連通，鼓風裝置係可吸引氣流由進氣口經過水冷裝置，再透過過濾裝置後向出氣口排出，該排氣口則可透過一氣管與一集風罩對預貼機或真空壓膜機等需冷卻之處做冷卻吹拂，如此，藉由導入水流步驟、氣流降溫步驟、空氣過濾步驟、冷卻吹拂步驟等流程，令低溫水流導入進水口，令水冷裝置降低氣流溫度，再過濾雜質最後由出氣口排出，提供低溫氣流以達降溫之效。
本發明可提供預貼機或真空壓膜機一有效之冷卻效果，特別是可針對預貼機具有熱源之貼膜座等處做冷卻吹拂之動作，令膜體與基材在預貼過程中至壓膜完成之前不易相互沾附，而可減少壓膜時之失敗或不良率，因此本發明實是一種相當具有實用性及進步性之發明，值得產業界來推廣，並公諸於社會大眾。
简体摘要：本发明旨在揭示一种压膜设备之冷却设备，其主要系包括一水冷设备、一鼓风设备、以及至少一进气口、出气口，其中该水冷设备系具有一进水口与一出水口，水冷设备系可供气流通过，而降低气流之温度；该鼓风设备系与水冷设备连通，鼓风设备系可吸引气流由进气口经过水冷设备，再透过过滤设备后向出气口排出，该排气口则可透过一气管与一集风罩对压膜设备之真空压膜机或预贴机等，需冷却之处做冷却吹拂，如此，借由导入水流步骤、气流降温步骤、空气过滤步骤、冷却吹拂步骤等流程，令低温水流导入进水口，令水冷设备降低气流温度，再过滤杂质最后由出气口排出，提供低温气流以达降温之效。【创作特点】本发明之主要目的系在于提供一种压膜设备之冷却设备，其可改善习用在压膜过程中膜体容易沾附基材，造成压膜时之气泡、膜皱，品质不良等缺失。为达成前述之发明目的，本发明其本体主要系包括一水冷设备、一鼓风设备、以及至少一进气口、出气口，其中该水冷设备系具有一进水口与一出水口，水冷设备系可供气流通过，而降低气流之温度；该鼓风设备系与水冷设备连通，鼓风设备系可吸引气流由进气口经过水冷设备，再透过过滤设备后向出气口排出，该排气口则可透过一气管与一集风罩对预贴机或真空压膜机等需冷却之处做冷却吹拂，如此，借由导入水流步骤、气流降温步骤、空气过滤步骤、冷却吹拂步骤等流程，令低温水流导入进水口，令水冷设备降低气流温度，再过滤杂质最后由出气口排出，提供低温气流以达降温之效。本发明可提供预贴机或真空压膜机一有效之冷却效果，特别是可针对预贴机具有热源之贴膜座等处做冷却吹拂之动作，令膜体与基材在预贴过程中至压膜完成之前不易相互沾附，而可减少压膜时之失败或不良率，因此本发明实是一种相当具有实用性及进步性之发明，值得产业界来推广，并公诸于社会大众。

4. 实用新型

TWM284181U 基板壓膜機之結構失效
简体标题：基板压膜机之结构
公开(公告)号：TWM284181U
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：TW094204550
申请日：2005-03-24
申请人：志聖工業股份有限公司
发明人：楊佳裕
IPC分类号： H05K
摘要：本創作基板壓膜機之結構，係包含一機架，機架兩側機板橫向樞接上下相對之兩滾輪，於機架頂部橫跨捲軸供捲繞膜料，捲軸下方與兩滾輪前方設若干導向輪供膜料繞過，而最後一導向輪之角度設計可使膜料與一基板經由滾輪之壓合，能貼固於其表面上，一導出機構設於該兩滾輪之後方適當角度，可將貼覆有膜料之基板輸出，可防止該基板變形及有使膜料平貼於基板表面者。
简体摘要：本创作基板压膜机之结构，系包含一机架，机架两侧机板横向枢接上下相对之两滚轮，于机架顶部横跨卷轴供卷绕膜料，卷轴下方与两滚轮前方设若干导向轮供膜料绕过，而最后一导向轮之角度设计可使膜料与一基板经由滚轮之压合，能贴固于其表面上，一导出机构设于该两滚轮之后方适当角度，可将贴覆有膜料之基板输出，可防止该基板变形及有使膜料平贴于基板表面者。

5. 发明专利

TW202017732A 晶圓貼膜機、拉膜裝置及晶圓貼膜方法审中-公开
简体标题：晶圆贴膜机、拉膜设备及晶圆贴膜方法
公开(公告)号：TW202017732A
公开(公告)日：2020-05-16
申请号：TW107139430
申请日：2018-11-07
申请人：志聖工業股份有限公司 , C SUN MFG. LTD.
发明人：陳明宗 , CHEN, MING-TSUNG , 曾永村 , TSENG, YUNG-TSUN , 楊佳裕 , YANG, CHIA-YU , 賴家偉 , LAI, CHIA WEI
IPC分类号： B29C65/18 , B32B37/10 , B32B38/18
摘要：一種晶圓貼膜機，包含膜輸送裝置、貼膜裝置以及拉膜裝置。膜輸送裝置包含二膜輸送輪。二膜輸送輪之間具有貼膜工作區，且膜輸送裝置用以使薄膜於貼膜工作區沿輸送方向自其中一膜輸送輪移動至另一膜輸送輪。貼膜裝置設置於貼膜工作區，且貼膜裝置用以將薄膜貼附於晶圓。拉膜裝置設置於貼膜工作區。拉膜裝置可沿拉膜方向拉動薄膜，且拉膜方向實質上正交於該輸送方向。
简体摘要：一种晶圆贴膜机，包含膜输送设备、贴膜设备以及拉膜设备。膜输送设备包含二膜输送轮。二膜输送轮之间具有贴膜工作区，且膜输送设备用以使薄膜于贴膜工作区沿输送方向自其中一膜输送轮移动至另一膜输送轮。贴膜设备设置于贴膜工作区，且贴膜设备用以将薄膜贴附于晶圆。拉膜设备设置于贴膜工作区。拉膜设备可沿拉膜方向拉动薄膜，且拉膜方向实质上正交于该输送方向。

6. 发明专利

TWI681500B 晶圓加工機台及其加工方法有权
简体标题：晶圆加工机台及其加工方法
公开(公告)号：TWI681500B
公开(公告)日：2020-01-01
申请号：TW107137891
申请日：2018-10-26
申请人：志聖工業股份有限公司 , C SUN MFG. LTD.
发明人：陳明宗 , CHEN, MING-ZONG , 曾永村 , ZENG, YONG-CUN , 楊佳裕 , YANG, JIA-YU , 洪建民 , HONG, JIAN-MIN
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/68

7. 发明专利

TWI318087B 預貼機之夾持機構有权
简体标题：预贴机之夹持机构
公开(公告)号：TWI318087B
公开(公告)日：2009-12-01
申请号：TW095135044
申请日：2006-09-22
申请人：志聖工業股份有限公司
发明人：楊佳裕 , 曾永村
IPC分类号： H05K
摘要：本發明主要係有關一種預貼機之夾持機構，主要於一預貼機本體之薄膜傳動裝置適當處設有一貼膜座、一切刀座、一整平吸盤，復於貼膜座前端設一板體運輸用之輸送裝置，後端中央則設有一夾持機構，藉設置在中央之夾持機構以夾持通過貼膜座而貼附有薄膜之板體前緣，以利薄膜的完整貼附於板體表面而不致浪費板體，同時亦克服板體與薄膜貼合過程產生之氣泡不良率者。【創作特點】本發明主要係針對習知預貼機兩側夾具夾持印刷電路板兩側邊設計，容易形成銅材浪費及板體與薄膜間產生氣泡缺失加以改良。
本發明克服上述預貼機設計缺失之技術手段，主要於預貼機本體設有一薄膜傳動裝置，薄膜傳動裝置預設處並設有一貼膜座、一切刀座、一整平吸盤，且貼膜座前端設有一板體運輸用輸送裝置，復於貼膜座後端中央設有一夾持機構，利用該中央設置之夾持機構以夾持通過貼膜座而貼附有薄膜之板體前緣，即為一可克服習知預貼機板體貼膜之缺失之發明。
简体摘要：本发明主要系有关一种预贴机之夹持机构，主要于一预贴机本体之薄膜传动设备适当处设有一贴膜座、一切刀座、一整平吸盘，复于贴膜座前端设一板体运输用之输送设备，后端中央则设有一夹持机构，藉设置在中央之夹持机构以夹持通过贴膜座而贴附有薄膜之板体前缘，以利薄膜的完整贴附于板体表面而不致浪费板体，同时亦克服板体与薄膜贴合过程产生之气泡不良率者。【创作特点】本发明主要系针对习知预贴机两侧夹具夹持印刷电路板两侧边设计，容易形成铜材浪费及板体与薄膜间产生气泡缺失加以改良。本发明克服上述预贴机设计缺失之技术手段，主要于预贴机本体设有一薄膜传动设备，薄膜传动设备默认处并设有一贴膜座、一切刀座、一整平吸盘，且贴膜座前端设有一板体运输用输送设备，复于贴膜座后端中央设有一夹持机构，利用该中央设置之夹持机构以夹持通过贴膜座而贴附有薄膜之板体前缘，即为一可克服习知预贴机板体贴膜之缺失之发明。

8. 发明专利

TW200900340A 製程設備剝膜機構失效
简体标题：制程设备剥膜机构
公开(公告)号：TW200900340A
公开(公告)日：2009-01-01
申请号：TW096122401
申请日：2007-06-22
申请人：志聖工業股份有限公司
发明人：楊佳裕 , 曾永村
IPC分类号： B65H
摘要：本發明旨在揭示一種製程設備剝膜機構,其該剝膜機構係包括一動力部與一剝膜部;該動力部係包括第一驅動件與第二驅動件,該第一驅動件與第二驅動係與剝膜部連接,且該第一驅動件可提供該剝膜部第一軸向之驅動力,而該第二驅動件則可提供剝膜部第二軸向之驅動力;該剝膜部係具有一剝膜頭與一供剝膜頭組設之剝膜座,該剝膜頭係樞設於剝膜座上,並可做適度之旋動,且該剝膜頭係可透過剝膜座受第一驅動件之帶動,以及直接受第二驅動件之帶動,而得到第一軸向與第二軸向之驅動力,藉由第一軸向與第二軸向之驅動力搭配,據以驅使剝膜頭達到滾壓剝膜之效。
简体摘要：本发明旨在揭示一种制程设备剥膜机构,其该剥膜机构系包括一动力部与一剥膜部;该动力部系包括第一驱动件与第二驱动件,该第一驱动件与第二驱动系与剥膜部连接,且该第一驱动件可提供该剥膜部第一轴向之驱动力,而该第二驱动件则可提供剥膜部第二轴向之驱动力;该剥膜部系具有一剥膜头与一供剥膜头组设之剥膜座,该剥膜头系枢设于剥膜座上,并可做适度之旋动,且该剥膜头系可透过剥膜座受第一驱动件之带动,以及直接受第二驱动件之带动,而得到第一轴向与第二轴向之驱动力,借由第一轴向与第二轴向之驱动力搭配,据以驱使剥膜头达到滚压剥膜之效。

9. 实用新型

TWM280076U 壓膜機之半自動裁切裝置失效
简体标题：压膜机之半自动裁切设备
公开(公告)号：TWM280076U
公开(公告)日：2005-11-01
申请号：TW094204551
申请日：2005-03-24
申请人：志聖工業股份有限公司
发明人：楊佳裕
IPC分类号： H05K , B26D
摘要：本創作係一種壓膜機之半自動裁切裝置，係為貼覆有膜料之基板作後續之裁切工作，其包括有上下一對壓輪，可將該基板導入於一裁切機構內，該裁切機構包含一位於該基板上方之切膜組，及位於該基板下方之一刀座，切膜組之切膜刀可向下而將基板裁斷，且於該裁切機構前後各設一組上下相對之滾輪，藉由該兩滾輪可模擬人手將具有撓曲性之基板撐拉，使該基板平直，俾利於該切膜刀向下裁斷，可得精確之尺寸。
简体摘要：本创作系一种压膜机之半自动裁切设备，系为贴覆有膜料之基板作后续之裁切工作，其包括有上下一对压轮，可将该基板导入于一裁切机构内，该裁切机构包含一位于该基板上方之切膜组，及位于该基板下方之一刀座，切膜组之切膜刀可向下而将基板裁断，且于该裁切机构前后各设一组上下相对之滚轮，借由该两滚轮可仿真人手将具有挠曲性之基板撑拉，使该基板平直，俾利于该切膜刀向下裁断，可得精确之尺寸。

10. 实用新型

TWM274321U 壓模機之出料角度調整結構失效
简体标题：压模机之出料角度调整结构
公开(公告)号：TWM274321U
公开(公告)日：2005-09-01
申请号：TW094205552
申请日：2005-04-11
申请人：志聖工業股份有限公司
发明人：楊佳裕
IPC分类号： B65B
摘要：本創作壓模機之出料角度調整結構，係包括左右各一機壁，於兩機壁後方設一對弧形之導引件，該導引件設有弧形槽軌，一基板輸出輪組位於該兩機壁內側間，其前端係樞接在該兩機壁上，後方橫設一導桿，該導桿之兩端各穿接於該槽軌內，使基板輸出輪組前端可以旋轉，而其後方可沿該導引件之槽軌作上下旋擺，令貼有膜料之基板可依預定的角度輸出。
简体摘要：本创作压模机之出料角度调整结构，系包括左右各一机壁，于两机壁后方设一对弧形之导引件，该导引件设有弧形槽轨，一基板输出轮组位于该两机壁内侧间，其前端系枢接在该两机壁上，后方横设一导杆，该导杆之两端各穿接于该槽轨内，使基板输出轮组前端可以旋转，而其后方可沿该导引件之槽轨作上下旋摆，令贴有膜料之基板可依预定的角度输出。

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