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1. 发明专利

TWI686352B 多結晶矽破碎物、多結晶矽破碎物的製造方法及多結晶矽塊破碎裝置有权
简体标题：多结晶硅破碎物、多结晶硅破碎物的制造方法及多结晶硅块破碎设备
公开(公告)号：TWI686352B
公开(公告)日：2020-03-01
申请号：TW104133472
申请日：2015-10-13
申请人：日商德山股份有限公司 , TOKUYAMA CORPORATION
发明人：川口一博 , KAWAGUCHI, KAZUHIRO , 藤井正美 , FUJII, MASAMI , 內田翔 , UCHIDA, SHO , 近藤学 , KONDO, MANABU , 三戶美文 , MITO, YOSHIFUMI , 義松信昭 , YOSHIMATSU, NOBUAKI
IPC分类号： C01B33/02 , C30B29/06 , C30B35/00 , C30B33/00 , B02C1/02 , B02C2/02 , B02C4/02 , B02C23/08

2. 发明专利

TW201406654A 多結晶矽之製造方法审中-公开
简体标题：多结晶硅之制造方法
公开(公告)号：TW201406654A
公开(公告)日：2014-02-16
申请号：TW102123929
申请日：2013-07-04
申请人：德山股份有限公司 , TOKUYAMA CORPORATION
发明人：崎田学 , SAKIDA, MANABU , 若松智 , WAKAMATSU, SATORU , 義松信昭 , YOSHIMATSU, NOBUAKI
IPC分类号： C01B33/035 , C30B29/06
CPC分类号： C01B33/03 , C01B33/035 , F22B1/18 , Y02P20/124
摘要：本發明的目的是從多結晶矽的析出步驟產生的高溫的排放氣體有效率地回收熱能。另一目的是減低管路、裝置等中的矽微粉、聚合物等的附著殘留、提升未反應原料氣體等的回收效率、降低清洗頻率而可長時間的連續運轉，謀求製造效率的提升。本發明多結晶矽之製造方法的特徵在於包含：析出步驟，藉由含氯矽烷類的原料氣體使多結晶矽析出；及熱回收步驟，將來自析出步驟的排放氣體供應至具有排氣管的鍋爐型熱回收裝置；上述鍋爐型熱回收裝置的排氣管中的氣體溫度為200℃以上，同時將鍋爐型熱回收裝置內的排氣管出口中的排放氣體流速調整為10m/秒以上。
简体摘要：本发明的目的是从多结晶硅的析出步骤产生的高温的排放气体有效率地回收热能。另一目的是减低管路、设备等中的硅微粉、聚合物等的附着残留、提升未反应原料气体等的回收效率、降低清洗频率而可长时间的连续运转，谋求制造效率的提升。本发明多结晶硅之制造方法的特征在于包含：析出步骤，借由含氯硅烷类的原料气体使多结晶硅析出；及热回收步骤，将来自析出步骤的排放气体供应至具有排气管的锅炉型热回收设备；上述锅炉型热回收设备的排气管中的气体温度为200℃以上，同时将锅炉型热回收设备内的排气管出口中的排放气体流速调整为10m/秒以上。

3. 发明专利

TWI653097B 清淨化多結晶矽塊破碎物之製造裝置以及利用該製造裝置製造清淨化多結晶矽塊破碎物之方法有权
简体标题：清净化多结晶硅块破碎物之制造设备以及利用该制造设备制造清净化多结晶硅块破碎物之方法
公开(公告)号：TWI653097B
公开(公告)日：2019-03-11
申请号：TW104104952
申请日：2015-02-13
申请人：德山股份有限公司 , TOKUYAMA CORPORATION
发明人：西村茂樹 , NISHIMURA, SHIGEKI , 藤井正美 , FUJII, MASAMI , 川口一博 , KAWAGUCHI, KAZUHIRO , 義松信昭 , YOSHIMATSU, NOBUAKI , 浅野哲郎 , ASANO, TETSUROU
IPC分类号： B07B1/42 , B07B1/55 , B07B13/04 , C01B33/02

4. 发明专利

TW201623145A 多結晶矽破碎物、多結晶矽破碎物的製造方法及多結晶矽塊破碎裝置审中-公开
简体标题：多结晶硅破碎物、多结晶硅破碎物的制造方法及多结晶硅块破碎设备
公开(公告)号：TW201623145A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104133472
申请日：2015-10-13
申请人：德山股份有限公司 , TOKUYAMA CORPORATION
发明人：川口一博 , KAWAGUCHI, KAZUHIRO , 藤井正美 , FUJII, MASAMI , 內田翔 , UCHIDA, SHO , 近藤学 , KONDO, MANABU , 三戶美文 , MITO, YOSHIFUMI , 義松信昭 , YOSHIMATSU, NOBUAKI
IPC分类号： C01B33/02 , C30B29/06 , C30B35/00 , C30B33/00 , B02C1/02 , B02C2/02 , B02C4/02 , B02C23/08
CPC分类号： B02C1/04 , B02C23/10 , B02C23/30 , C01B33/02 , C01P2004/60 , C01P2006/80 , C30B15/02
摘要：本發明提供一種多結晶矽破碎物，能夠對製造單結晶矽晶棒時的操作性、生產性有所助益。多結晶矽破碎物是由打碎多結晶矽塊而得，其中粒子尺寸500~1000μm的多結晶矽粉的含有比例是0.1~40ppmw。
简体摘要：本发明提供一种多结晶硅破碎物，能够对制造单结晶硅晶棒时的操作性、生产性有所助益。多结晶硅破碎物是由打碎多结晶硅块而得，其中粒子尺寸500~1000μm的多结晶硅粉的含有比例是0.1~40ppmw。

5. 发明专利

TW201536435A 清淨化多結晶矽塊破碎物之製造裝置以及利用該製造裝置製造清淨化多結晶矽塊破碎物之方法审中-公开
简体标题：清净化多结晶硅块破碎物之制造设备以及利用该制造设备制造清净化多结晶硅块破碎物之方法
公开(公告)号：TW201536435A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW104104952
申请日：2015-02-13
申请人：德山股份有限公司 , TOKUYAMA CORPORATION
发明人：西村茂樹 , NISHIMURA, SHIGEKI , 藤井正美 , FUJII, MASAMI , 川口一博 , KAWAGUCHI, KAZUHIRO , 義松信昭 , YOSHIMATSU, NOBUAKI , 浅野哲郎 , ASANO, TETSUROU
IPC分类号： B07B1/42 , B07B1/55 , B07B13/04 , C01B33/02
CPC分类号： B08B5/023 , B07B4/08 , C01B33/02 , H01T19/00
摘要：本發明提供一種製造裝置，能夠藉由吹出的氣流更有效率地除去多結晶矽塊破碎後混入其中的金屬微粉或矽微粉等。這種清淨化多結晶矽塊破碎物的製造裝置包括：輸送帶，最好是網狀，用以搬運多結晶矽塊破碎物；吹飛用氣流噴射器，設置於該輸送帶的移動面的上方，吹掉伴隨該多結晶矽塊破碎物的微粉；以及飛躍防止用網，設置於該網狀輸送帶的該移動面以及位於該移動面的上方的該吹飛用氣流噴射器之間，防止該多結晶矽塊破碎物過度彈跳。
简体摘要：本发明提供一种制造设备，能够借由吹出的气流更有效率地除去多结晶硅块破碎后混入其中的金属微粉或硅微粉等。这种清净化多结晶硅块破碎物的制造设备包括：输送带，最好是网状，用以搬运多结晶硅块破碎物；吹飞用气流喷射器，设置于该输送带的移动面的上方，吹掉伴随该多结晶硅块破碎物的微粉；以及飞跃防止用网，设置于该网状输送带的该移动面以及位于该移动面的上方的该吹飞用气流喷射器之间，防止该多结晶硅块破碎物过度弹跳。

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