专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201529444A 晶圓裝載皿及用於處理半導體晶圓之設備审中-公开
简体标题：晶圆装载皿及用于处理半导体晶圆之设备
公开(公告)号：TW201529444A
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW103144504
申请日：2014-12-19
申请人：山特森光伏AG , CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人：里查安德利斯 , REICHART, ANDREAS , 凱勒安德利斯 , KELLER, ANDREAS
IPC分类号： B65D85/90
CPC分类号： H01L21/67316 , H01L21/67109 , H01L21/67313
摘要：本發明提供一種用於收納晶圓特別是晶圓裝載皿。晶圓裝載皿包括：由石英製成之至少兩個細長收納元件，每一收納元件具有多個平行收納槽，收納槽橫切於收納元件之縱向延伸而延伸；以及兩個端板，收納元件配置並附接於兩個端板之間，使得收納元件之收納槽對準。為增加穩定性，晶圓裝載皿包括多個附接零件，收納元件經由附接零件附接至端板，其中每一附接零件的圓周為包括收納槽的收納元件之收納區段之圓周的至少1.5倍大，且其中每一附接零件經焊接或接合至以下各物中之至少一者：端板及收納元件。在可與以上實施例組合之另外實施例中，收納元件各自具有鄰近於端板之至少一個鬆弛槽、較佳具有至少兩個鬆弛槽，所述鬆弛槽具有小於收納槽之深度的深度。當提供至少兩個鬆弛槽時，鬆弛槽之深度隨距端板之距離增加而增加。
简体摘要：本发明提供一种用于收纳晶圆特别是晶圆装载皿。晶圆装载皿包括：由石英制成之至少两个细长收纳组件，每一收纳组件具有多个平行收纳槽，收纳槽横切于收纳组件之纵向延伸而延伸；以及两个端板，收纳组件配置并附接于两个端板之间，使得收纳组件之收纳槽对准。为增加稳定性，晶圆装载皿包括多个附接零件，收纳组件经由附接零件附接至端板，其中每一附接零件的圆周为包括收纳槽的收纳组件之收纳区段之圆周的至少1.5倍大，且其中每一附接零件经焊接或接合至以下各物中之至少一者：端板及收纳组件。在可与以上实施例组合之另外实施例中，收纳组件各自具有邻近于端板之至少一个松弛槽、较佳具有至少两个松弛槽，所述松弛槽具有小于收纳槽之深度的深度。当提供至少两个松弛槽时，松弛槽之深度随距端板之距离增加而增加。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式