专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201343532A 流體輸送系統及方法审中-公开
简体标题：流体输送系统及方法
公开(公告)号：TW201343532A
公开(公告)日：2013-11-01
申请号：TW102106429
申请日：2013-02-23
申请人：尖端科技材料股份有限公司 , ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人：霍吉斯喬丹 , HODGES, JORDAN , 奇茲姆理察D , CHISM, RICHARD D. , 麥克非隆米切爾W , MCFERON, MITCHELL W. , 瓦瑞唐諾D , WARE, DONALD D. , 湯姆蓋倫M , TOM, GLENN M.
IPC分类号： B67C3/06 , B67C3/12
CPC分类号： F17C9/00 , B67D7/00 , B67D7/02 , B67D7/025 , B67D7/0272 , B67D7/0283 , F17C7/00
摘要：本發明提供一種經調適用於流體之真空及壓力循環之流體供應系統，該流體供應系統包括轉移容器，該轉移容器經調適以將在真空下自大容量金屬罐吸入之流體供應給製程金屬罐，其中流體自轉移容器至製程金屬罐之輸送係使用正壓力完成。本發明亦揭示輸送流體之方法，該方法包括以下步驟：在真空下自大容量金屬罐吸入流體，且將轉移容器加壓以實現分配流體至製程金屬罐中，以便輸送至使用位置。
简体摘要：本发明提供一种经调适用于流体之真空及压力循环之流体供应系统，该流体供应系统包括转移容器，该转移容器经调适以将在真空下自大容量金属罐吸入之流体供应给制程金属罐，其中流体自转移容器至制程金属罐之输送系使用正压力完成。本发明亦揭示输送流体之方法，该方法包括以下步骤：在真空下自大容量金属罐吸入流体，且将转移容器加压以实现分配流体至制程金属罐中，以便输送至使用位置。

2. 发明专利

TW201310553A 具有清洗能力之可再填充之安瓿审中-公开
公开(公告)号：TW201310553A
公开(公告)日：2013-03-01
申请号：TW101118989
申请日：2012-05-28
申请人：尖端科技材料股份有限公司 , ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人：奇茲姆理察D , CHISM, RICHARD D. , 克里爾安迪 , KRELL, ANDY
IPC分类号： H01L21/54
CPC分类号： F17C13/04 , C23C14/48 , C23C16/44 , C23C16/4408 , C23C16/4482 , C23C16/45561 , F17C2205/0335 , F17D1/04 , G03F7/70 , H01L21/67017 , Y10T137/0318 , Y10T137/877
摘要：一種流體輸送系統，用以於清洗期間隔離安瓿及/或操作系統管道，該系統包含：將加壓氣體源連接至可再填充之安瓿之入口控制閥，將該可再填充之安瓿連接至使用位置之出口控制閥，將操作系統管道連接至該可再填充之安瓿之處理控制閥，處理隔離閥，及配置在該處理隔離閥與該處理控制閥之間之清洗供應閥(例如三向清洗供應閥)。也揭示了一種用於清洗流體輸送系統的方法，該方法包含以下步驟：關閉處理隔離閥，連接操作系統管道至可再填充之安瓿，經由清洗供應閥(例如三向清洗供應閥)供應清洗氣體，及使耦接至該操作系統管道的處理控制閥循環開啟與關閉至少一次。同時也說明了一種用於再填充安瓿與清洗流體輸送系統的分流閥箱。
简体摘要：一种流体输送系统，用以于清洗期间隔离安瓿及/或操作系统管道，该系统包含：将加压气体源连接至可再填充之安瓿之入口控制阀，将该可再填充之安瓿连接至使用位置之出口控制阀，将操作系统管道连接至该可再填充之安瓿之处理控制阀，处理隔离阀，及配置在该处理隔离阀与该处理控制阀之间之清洗供应阀(例如三向清洗供应阀)。也揭示了一种用于清洗流体输送系统的方法，该方法包含以下步骤：关闭处理隔离阀，连接操作系统管道至可再填充之安瓿，经由清洗供应阀(例如三向清洗供应阀)供应清洗气体，及使耦接至该操作系统管道的处理控制阀循环打开与关闭至少一次。同时也说明了一种用于再填充安瓿与清洗流体输送系统的分流阀箱。

3. 发明专利

TW201122466A 流體監控裝置 FLUID MONITORING APPARATUS 审中-公开
简体标题：流体监控设备 FLUID MONITORING APPARATUS
公开(公告)号：TW201122466A
公开(公告)日：2011-07-01
申请号：TW099121077
申请日：2010-06-28
申请人：尖端科技材料股份有限公司
发明人：包姆湯瑪斯H , 陳英欣貝瑞 , 奇茲姆理察D
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01D11/245
摘要：一流體監控裝置，其包含一容納一電路之電路外殼，該電路用以處理流體感測訊號及回應地傳送一輸出；以及一感測器裝配件，其適於機械性(mechanical)及電性耦接至該電路外殼。該感測器包括至少一感測組件，其經排置以回應於在所監控之該流體中感興趣之一流體種類，以產生一輸出。該裝置包含下列(A)－(C)中之至少一者：(A)一印刷電路板，其適於與該電路外殼銜接(engage)，並機械性耦接至該感測器裝配件；(B)該感測器裝配件包括一基座，以及透過一押入式耦接元件而可移除地連接至該基座之一感測元件；(C)該感測器裝配件包括一基座及連接至該基座之一感測絲(sensing filament)，以及一護絲(filament guard)其保護性地環繞該感測絲。
简体摘要：一流体监控设备，其包含一容纳一电路之电路外壳，该电路用以处理流体传感信号及回应地发送一输出；以及一传感器装配件，其适于机械性(mechanical)及电性耦接至该电路外壳。该传感器包括至少一传感组件，其经排置以回应于在所监控之该流体中感兴趣之一流体种类，以产生一输出。该设备包含下列(A)－(C)中之至少一者：(A)一印刷电路板，其适于与该电路外壳衔接(engage)，并机械性耦接至该传感器装配件；(B)该传感器装配件包括一基座，以及透过一押入式耦接组件而可移除地连接至该基座之一传感组件；(C)该传感器装配件包括一基座及连接至该基座之一传感丝(sensing filament)，以及一护丝(filament guard)其保护性地环绕该传感丝。

4. 发明专利

TW201200459A 具有氣體移除及感測能力之液體分配系統 LIQUID DISPENSING SYSTEMS WITH GAS REMOVAL AND SENSING CAPABILITIES 审中-公开
简体标题：具有气体移除及传感能力之液体分配系统 LIQUID DISPENSING SYSTEMS WITH GAS REMOVAL AND SENSING CAPABILITIES
公开(公告)号：TW201200459A
公开(公告)日：2012-01-01
申请号：TW100100540
申请日：2011-01-06
申请人：尖端科技材料股份有限公司
发明人：湯姆蓋倫M , 曼寧約瑟夫 , 庫茨馬修 , 柯藍艾美 , 瓦瑞唐諾D , 奇茲姆理察D
IPC分类号： B67D
CPC分类号： B67D7/0261 , C02F1/001 , C02F1/20 , C02F2209/40 , F17C1/00 , F17C2201/0104 , F17C2201/0157 , F17C2201/054 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2203/0604 , F17C2203/0617 , F17C2203/0624 , F17C2203/0629 , F17C2203/0636 , F17C2203/066 , F17C2203/0685 , F17C2205/0142 , F17C2205/0165 , F17C2205/0169 , F17C2205/0323 , F17C2205/0326 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2205/0373 , F17C2205/0382 , F17C2205/0385 , F17C2205/0391 , F17C2209/219 , F17C2209/221 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/043 , F17C2223/047 , F17C2227/0135 , F17C2227/0157 , F17C2227/0192 , F17C2227/0304 , F17C2227/0379 , F17C2227/041 , F17C2250/032 , F17C2250/0408 , F17C2250/043 , F17C2250/0439 , F17C2250/0443 , F17C2250/0452 , F17C2250/0478 , F17C2250/0491 , F17C2250/0495 , F17C2250/072 , F17C2260/016 , F17C2260/024 , F17C2265/012 , F17C2265/017 , F17C2265/022 , F17C2270/05 , F17C2270/0518 , Y10T137/2708
摘要：一種用於壓力分配封裝之分配組件，其包括連接器，其具有單獨且不同之液體及氣體抽取導管，並具有加壓氣體導管。襯裡固定裝置配接器可包括縱向孔，其接收界定液體抽取導管之連接器的探針部分，且襯裡裝置可包括能移除氣體之側向孔。將連接器插入至分配組件中可同步在以下各者之間建立流體連接：(a)氣體抽取導管與分配容積；(b)液體抽取導管與分配容積；以及(c)加壓氣體導管與壓力分配器皿內之待加壓空間。可藉由比較第一溫度感測元件與第二溫度感測元件之輸出來感測流體迴路內流體之存在或流動流體之相變，其中一感測元件包括加熱器，以在感測元件暴露於氣體而非暴露於液體時增加感測元件之溫度。用於流體分配之系統及方法包括：第一壓力分配設備及感測元件，該感測元件經配置以感測關於所分配流體接近氣體飽和之狀態，且回應所感測之狀態開始第二壓力分配設備之分配，以整合供應至使用點的壓力分配流體流。
简体摘要：一种用于压力分配封装之分配组件，其包括连接器，其具有单独且不同之液体及气体抽取导管，并具有加压气体导管。衬里固定设备配接器可包括纵向孔，其接收界定液体抽取导管之连接器的探针部分，且衬里设备可包括能移除气体之侧向孔。将连接器插入至分配组件中可同步在以下各者之间创建流体连接：(a)气体抽取导管与分配容积；(b)液体抽取导管与分配容积；以及(c)加压气体导管与压力分配器皿内之待加压空间。可借由比较第一温度传感组件与第二温度传感组件之输出来传感流体回路内流体之存在或流动流体之相变，其中一传感组件包括加热器，以在传感组件暴露于气体而非暴露于液体时增加传感组件之温度。用于流体分配之系统及方法包括：第一压力分配设备及传感组件，该传感组件经配置以传感关于所分配流体接近气体饱和之状态，且回应所传感之状态开始第二压力分配设备之分配，以集成供应至使用点的压力分配流体流。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式