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1. 发明专利

TW201403648A 用於產生帶電粒子束之電漿源裝置及方法审中-公开
简体标题：用于产生带电粒子束之等离子源设备及方法
公开(公告)号：TW201403648A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：TW102118012
申请日：2013-05-22
申请人：威爾德協會 , THE WELDING INSTITUTE
发明人：雷普頓科林 , RIBTON, COLIN , 桑德森艾倫 , SANDERSON, ALLAN
IPC分类号： H01J27/16 , H01J37/08 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/077 , H01J27/18 , H01J37/3002 , H01J2237/061 , H01J2237/063 , H01J2237/0817 , H01J2237/083 , H01J2237/31 , H01J2237/3104
摘要：揭示一種用於產生帶電粒子束之電漿源裝置。該裝置包括：電漿腔，設置有用於氣體進入的入口以及用於自該電漿腔提取帶電粒子的開孔；用於在該電漿腔中產生電漿之射頻(RF)電漿產生單元，該射頻電漿產生單元包括第一和第二共振電路，各該第一和第二共振電路被調頻以在實質相同的共振頻率共振，該第一共振電路包括第一天線和適用於驅動該第一共振電路實質在其共振頻率之第一RF電源，且該第二共振電路包括第二天線，從而於使用時藉由該第一共振電路由於共振耦合而在該第二天線中感應出RF訊號，該第二共振電路組構成施加該感應RF訊號至該電漿腔以於其中產生電漿；以及用於自該電漿提取帶電粒子並加速該帶電粒子以形成一束之粒子加速單元，該粒子加速單元包括組構成在該電漿腔與加速電極之間施加電位之第二電源，該電漿腔與該加速電極之間的區域構成加速管。該第二電源適用於輸出相對於該第一RF電源所輸出的電壓為高的電壓。
简体摘要：揭示一种用于产生带电粒子束之等离子源设备。该设备包括：等离子腔，设置有用于气体进入的入口以及用于自该等离子腔提取带电粒子的开孔；用于在该等离子腔中产生等离子之射频(RF)等离子产生单元，该射频等离子产生单元包括第一和第二共振电路，各该第一和第二共振电路被调频以在实质相同的共振频率共振，该第一共振电路包括第一天线和适用于驱动该第一共振电路实质在其共振频率之第一RF电源，且该第二共振电路包括第二天线，从而于使用时借由该第一共振电路由于共振耦合而在该第二天线中感应出RF信号，该第二共振电路组构成施加该感应RF信号至该等离子腔以于其中产生等离子；以及用于自该等离子提取带电粒子并加速该带电粒子以形成一束之粒子加速单元，该粒子加速单元包括组构成在该等离子腔与加速电极之间施加电位之第二电源，该等离子腔与该加速电极之间的区域构成加速管。该第二电源适用于输出相对于该第一RF电源所输出的电压为高的电压。

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