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1. 发明专利

TW201832822A 用以控制於一基板配發的液體之溫度的使用點混合系統及方法审中-公开
简体标题：用以控制于一基板配发的液体之温度的使用点混合系统及方法
公开(公告)号：TW201832822A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106143444
申请日：2017-12-12
申请人：奧地利商蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：薩勾茲菲利浦 , ZAGORZ, PHILIPP
IPC分类号： B01F15/00 , B01F3/08 , B05C11/08 , B08B11/02 , B08B3/04 , B08B3/08 , H01L21/02 , H01L21/66 , H01L21/67 , H01L21/687
摘要：提供用以處理基板的一種液體配發系統，該液體配發系統包含流量控制器、壓力調節器、混合節點、液體混合器、溫度感測器、N個配發器、及系統控制器。該流量控制器接收並控制第一液體之流率。該壓力調節器接收並控制第二液體之壓力。該混合節點將該流量控制器及該壓力調節器所輸出的該第一與該第二液體混合以提供一第一混合物。該液體混合器將該第一混合物與第三液體混合以提供第二混合物。該溫度感測器測量該第二混合物之溫度。該N個配發器將該第二混合物配發於基板。該系統控制器藉由基於該測量溫度且獨立於該第二液體之流率的測量結果調整流率而將該測量溫度控制為在第一與第二溫度之間。
简体摘要：提供用以处理基板的一种液体配发系统，该液体配发系统包含流量控制器、压力调节器、混合节点、液体混合器、温度传感器、N个配发器、及系统控制器。该流量控制器接收并控制第一液体之流率。该压力调节器接收并控制第二液体之压力。该混合节点将该流量控制器及该压力调节器所输出的该第一与该第二液体混合以提供一第一混合物。该液体混合器将该第一混合物与第三液体混合以提供第二混合物。该温度传感器测量该第二混合物之温度。该N个配发器将该第二混合物配发于基板。该系统控制器借由基于该测量温度且独立于该第二液体之流率的测量结果调整流率而将该测量温度控制为在第一与第二温度之间。

2. 发明专利

TW201404475A 晶圓狀物件之液體處理用方法及設備审中-公开
简体标题：晶圆状对象之液体处理用方法及设备
公开(公告)号：TW201404475A
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW102113178
申请日：2013-04-12
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：薩勾茲菲利浦 , ZAGORZ, PHILIPP , 甘斯特麥可 , GANSTER, MICHAEL , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS
IPC分类号： B05C11/10
CPC分类号： B01F15/0429 , B01F15/0022 , G05D11/135 , H01L21/6715 , Y10T137/87917
摘要：一種提供處理晶圓狀物件之處理液體的線路內混合系統。此系統包含用以調節第一液體流之流動的第一流量調節器、用以調節具有一化學成分之第二液體流之流動的第二流量調節器、用以提供第一和第二液體流之混合物的折射率測量值的折射率測量計、用以提供第一和第二液體流之混合物的合併流量測量值之合併式流量計、以及自動控制器。自動控制器係用以根據折射率測量值以及合併流量測量值操作第一和第二流量調節器。
简体摘要：一种提供处理晶圆状对象之处理液体的线路内混合系统。此系统包含用以调节第一液体流之流动的第一流量调节器、用以调节具有一化学成分之第二液体流之流动的第二流量调节器、用以提供第一和第二液体流之混合物的折射率测量值的折射率测量计、用以提供第一和第二液体流之混合物的合并流量测量值之合并式流量计、以及自动控制器。自动控制器系用以根据折射率测量值以及合并流量测量值操作第一和第二流量调节器。

3. 发明专利

TW201405689A 晶圓狀物件之液體處理用設備及方法审中-公开
简体标题：晶圆状对象之液体处理用设备及方法
公开(公告)号：TW201405689A
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW102111462
申请日：2013-03-29
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：甘斯特麥可 , GANSTER, MICHAEL , 薩勾茲菲利浦 , ZAGORZ, PHILIPP , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67017 , H01L21/67051
摘要：一種晶圓狀物件之液體處理用設備及方法，包括：一處理單元，其包括用以以預定之方向握持晶圓狀物件之夾盤；以及液體再生系統，容納回收自處理單元的使用過之處理液體。液體再生系統供給處理液體至處理單元中之分配器。新處理液體供應部供給新處理液體至液體再生系統並且在繞過液體再生系統的同時供給新處理液體至處理單元中之分配器。
简体摘要：一种晶圆状对象之液体处理用设备及方法，包括：一处理单元，其包括用以以预定之方向握持晶圆状对象之夹盘；以及液体再生系统，容纳回收自处理单元的使用过之处理液体。液体再生系统供给处理液体至处理单元中之分配器。新处理液体供应部供给新处理液体至液体再生系统并且在绕过液体再生系统的同时供给新处理液体至处理单元中之分配器。

4. 发明专利

TWI598154B 晶圓狀物件之液體處理用方法及設備有权
简体标题：晶圆状对象之液体处理用方法及设备
公开(公告)号：TWI598154B
公开(公告)日：2017-09-11
申请号：TW102113178
申请日：2013-04-12
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：薩勾茲菲利浦 , ZAGORZ, PHILIPP , 甘斯特麥可 , GANSTER, MICHAEL , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS
IPC分类号： B05C11/10
CPC分类号： B01F15/0429 , B01F15/0022 , G05D11/135 , H01L21/6715 , Y10T137/87917

5. 发明专利

TWI590358B 晶圓狀物件之液體處理用設備及方法有权
简体标题：晶圆状对象之液体处理用设备及方法
公开(公告)号：TWI590358B
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW102111462
申请日：2013-03-29
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：甘斯特麥可 , GANSTER, MICHAEL , 薩勾茲菲利浦 , ZAGORZ, PHILIPP , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67017 , H01L21/67051

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