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1. 发明专利

TW200903186A 繪圖裝置审中-公开
简体标题：绘图设备
公开(公告)号：TW200903186A
公开(公告)日：2009-01-16
申请号：TW097114853
申请日：2008-04-23
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：清水修一 SHIMIZU, SHUICHI , 松田政昭 MATSUDA, MASAAKI , 森田亮 MORITA, AKIRA
IPC分类号： G03F , G03B
摘要：使清淨滾輪接觸工作台上之工件之表面時,防止因為清淨滾輪接觸工件而發生的在工作台上之工件的偏離或剝離。形成於繪圖工作台13表面之多數抽引口,通過抽引管V,由分別所對應之抽引泵P進行抽引。利用壓力檢測器S檢測該抽引管V內之真空度。繪圖工作台驅動馬達18,係可使繪圖工作台13往復移動於從待機位置至超過由繪圖光學系之繪圖位置的位置。清淨單元上下移動驅動用氣缸43,使清淨滾輪49於機械手5及繪圖光學系之間,相對於繪圖工作台13進行上下移動。控制部6,只有在由壓力檢測器S檢測到之真空度超過特定値時,相對於清淨單元上下移動驅動用氣缸43,使該清淨滾輪49下降並接觸於繪圖工作台13,並在該狀態下,來讓該繪圖工作台移動。
简体摘要：使清净滚轮接触工作台上之工件之表面时,防止因为清净滚轮接触工件而发生的在工作台上之工件的偏离或剥离。形成于绘图工作台13表面之多数抽引口,通过抽引管V,由分别所对应之抽引泵P进行抽引。利用压力检测器S检测该抽引管V内之真空度。绘图工作台驱动马达18,系可使绘图工作台13往复移动于从待机位置至超过由绘图光学系之绘图位置的位置。清净单元上下移动驱动用气缸43,使清净滚轮49于机械手5及绘图光学系之间,相对于绘图工作台13进行上下移动。控制部6,只有在由压力检测器S检测到之真空度超过特定値时,相对于清净单元上下移动驱动用气缸43,使该清净滚轮49下降并接触于绘图工作台13,并在该状态下,来让该绘图工作台移动。

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