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1. 发明专利

TW408030B 排氣處理方法及裝置有权
简体标题：排气处理方法及设备
公开(公告)号：TW408030B
公开(公告)日：2000-10-11
申请号：TW087120603
申请日：1998-12-11
申请人：大見忠弘 , 日本氧氣股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 石原良夫 , 君島哲也 , 松本功
IPC分类号： B01D
CPC分类号： B01D53/8659
摘要：本發明係關於使從使用矽系氣體的CVD(化學氣相沈積)裝置所排出的排氣內所包含的原料氣體或是高沸點中間產物，與加熱至指定溫度的鎳等過渡金屬或是其矽化物接觸，藉此使其分解或是轉化為安定的鹵化物之後將排氣中的有害成份予以無害化處理的排氣處理方法及裝置。
简体摘要：本发明系关于使从使用硅系气体的CVD(化学气相沉积)设备所排出的排气内所包含的原料气体或是高沸点中间产物，与加热至指定温度的镍等过渡金属或是其硅化物接触，借此使其分解或是转化为安定的卤化物之后将排气中的有害成份予以无害化处理的排气处理方法及设备。

2. 发明申请

WO2003099714A1 ガス精製方法及び装置审中-公开
标题翻译：用于气体净化的方法和装置
公开(公告)号：WO2003099714A1
公开(公告)日：2003-12-04
申请号：PCT/JP2003/006548
申请日：2003-05-26
申请人：日本酸素株式会社 , 大見忠弘 , 矢崎隆一 , 川井雅人 , 君島哲也 , 松田州央
发明人：大見忠弘 , 矢崎隆一 , 川井雅人 , 君島哲也 , 松田州央
IPC分类号： C01B23/00
CPC分类号： C01B21/0466 , B01D53/04 , B01D53/26 , B01D53/75 , B01D53/86 , B01D2253/108 , B01D2257/80 , C01B5/00 , C01B21/0416 , C01B21/0422 , C01B23/0021 , C01B23/0026 , C01B2210/0035 , C01B2210/0037 , C01B2210/0053 , C01B2210/0075 , Y02C20/10
摘要：このガス精製方法は、希ガス及び窒素を主成分とし、微量成分として、水素、窒素及び水素からなる反応生成物、水蒸気を含有する混合ガスから微量成分を除去する。この方法は、窒素及び水素からなる反応生成物及び水蒸気を除去する吸着工程と、水素を酸素の存在下で水素酸化触媒反応により水蒸気に転化する水素酸化工程と、水素酸化工程で生成した水蒸気を除去する乾燥工程とを順次行う。微量成分として窒素酸化物が含まれる場合は、吸着工程の前段で、窒素酸化物を還元性物質の存在下で脱硝触媒反応により窒素と水蒸気とに転化する脱硝工程を行う。
摘要翻译：一种用于气体净化的方法，其中以稀有气体和氮气为主要成分的混合气体和氢气，包含氮气和氢气的反应产物和作为微量成分的蒸汽不含微量组分，其包括除去反应产物的吸附步骤包括氮气和氢气和蒸汽的氢氧化步骤，在氧气存在下通过催化氢氧化反应将氢转化为蒸汽的氢氧化步骤，然后除去在氢氧化步骤中形成的蒸汽的干燥步骤。当混合气体还含有氮氧化物时，在还原物质存在下将氮氧化物转化为氮气和蒸汽的脱硝步骤在上述吸附步骤之前进行。

3. 发明专利

TW424144B 氣體中微量不純物之分析裝置失效
简体标题：气体中微量不纯物之分析设备
公开(公告)号：TW424144B
公开(公告)日：2001-03-01
申请号：TW088105578
申请日：1999-04-08
申请人：日本氧氣股份有限公司
发明人：西名明 , 菊地勉 , 田中誠 , 吉田秀俊 , 君島哲也
IPC分类号： G01N
CPC分类号： H01J49/0422 , G01N30/7206 , G01N33/0022 , G01N33/0032
摘要：本發明之目的，在於提供一種將可有效測定各種高純度氣體中之ppb~低ppb水準之微量不純物之大氣壓離子化質量分析計與氣體色譜儀結合成為一體之結果，可以高效率測定各種高純度氣體中之各種微量不純物之氣中微量不純物之分析裝置者。本發明之裝置為具備有氣體色譜儀8，及大氣壓離子化質量分析計6，設有將試料氣體導入源所導入之試料氣體，直接導入於大氣壓離子化質量分析計6之系統10，以及藉前述氣體色譜儀8而導入於大氣壓離子化質量分析計6之系統14a,14b之同時，設有將試料氣體之流路，轉換成為前述兩系統中之任何一方用之流路轉換裝置11,13,15者。
简体摘要：本发明之目的，在于提供一种将可有效测定各种高纯度气体中之ppb~低ppb水准之微量不纯物之大气压离子化质量分析计与气体色谱仪结合成为一体之结果，可以高效率测定各种高纯度气体中之各种微量不纯物之气中微量不纯物之分析设备者。本发明之设备为具备有气体色谱仪8，及大气压离子化质量分析计6，设有将试料气体导入源所导入之试料气体，直接导入于大气压离子化质量分析计6之系统10，以及藉前述气体色谱仪8而导入于大气压离子化质量分析计6之系统14a,14b之同时，设有将试料气体之流路，转换成为前述两系统中之任何一方用之流路转换设备11,13,15者。

4. 发明专利

TW405039B 氣體分析裝置及方法失效
简体标题：气体分析设备及方法
公开(公告)号：TW405039B
公开(公告)日：2000-09-11
申请号：TW088105575
申请日：1999-04-08
申请人：日本氧氣股份有限公司
发明人：西名明 , 菊地勉 , 田中誠 , 吉田秀俊 , 君島哲也
IPC分类号： G01N
CPC分类号： H01J49/0422 , G01N1/26
摘要：本發明係關於提供一種可在短時間內，確實地檢測出有無發生洩漏，可以穩定的狀態，連續地，安全且精確地實行分析之氣體分析裝置及方法者。本發明之裝置係包含有將複數種類之試料氣體予以轉換而導入之試料氣體導入系統(1~5)及分析計(6,10,14)，對該分析計，設有當轉換試料氣體而導入之際，監視在轉換前所導入過之試料氣體成分之濃度變化之手段(9)者。
简体摘要：本发明系关于提供一种可在短时间内，确实地检测出有无发生泄漏，可以稳定的状态，连续地，安全且精确地实行分析之气体分析设备及方法者。本发明之设备系包含有将复数种类之试料气体予以转换而导入之试料气体导入系统(1~5)及分析计(6,10,14)，对该分析计，设有当转换试料气体而导入之际，监视在转换前所导入过之试料气体成分之浓度变化之手段(9)者。

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