专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW200937135A 圖案描繪裝置及圖案描繪方法 PATTERN DRAWING APPARATUS AND PATTERN DRAWING METHOD 审中-公开
简体标题：图案描绘设备及图案描绘方法 PATTERN DRAWING APPARATUS AND PATTERN DRAWING METHOD
公开(公告)号：TW200937135A
公开(公告)日：2009-09-01
申请号：TW097145261
申请日：2008-11-21
申请人：大日本網屏製造股份有限公司 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.
发明人：井上正雄 INOUE, MASAO , 小八木康幸 KOYAGI, YASUYUKI
IPC分类号： G03F , H01L
摘要：本發明之目的在於:即便在將具有複數個描繪對象區域之基板作為對象時亦能減少曝光掃描之次數,又,本發明之目的在於:在感光材料上簡易地描繪複數種類之規則性圖案或幅寬。當曝光頭30a~30d分別自第1掃描區域As1至第4掃描區域As4進行曝光掃描時,預先於光罩上形成具有對照各掃描區域內之描繪對象區域之寬度各個之寬度的單位圖案群SLG。其結果,即便於一個掃描區域As內包含一個描繪對象區域At之一部分時,亦無需如先前般使用各種各樣的機構來進行調整,又,即便於一個掃描區域內包含相鄰之兩個描繪對象區域各自之一部分(即一個掃描區域內包含整個間隙區域)時,亦無需對同一掃描區域進行兩次曝光掃描。
简体摘要：本发明之目的在于:即便在将具有复数个描绘对象区域之基板作为对象时亦能减少曝光扫描之次数,又,本发明之目的在于:在感光材料上简易地描绘复数种类之守则性图案或幅宽。当曝光头30a~30d分别自第1扫描区域As1至第4扫描区域As4进行曝光扫描时,预先于光罩上形成具有对照各扫描区域内之描绘对象区域之宽度各个之宽度的单位图案群SLG。其结果,即便于一个扫描区域As内包含一个描绘对象区域At之一部分时,亦无需如先前般使用各种各样的机构来进行调整,又,即便于一个扫描区域内包含相邻之两个描绘对象区域各自之一部分(即一个扫描区域内包含整个间隙区域)时,亦无需对同一扫描区域进行两次曝光扫描。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式