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    • 2. 发明专利
    • 塗佈裝置 LIQUID MATERIAL APPLYING APPARATUS
    • 涂布设备 LIQUID MATERIAL APPLYING APPARATUS
    • TW200831194A
    • 2008-08-01
    • TW096139447
    • 2007-10-22
    • 大日本斯克琳製造股份有限公司 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.
    • 小瀨弘和 HIROKAZU OZE上野雅敏 MASATOSHI UENO山本悟史 SATOSHI YAMAMOTO
    • B05BH01L
    • 本發明的塗佈裝置,係從複數噴嘴朝基板連續吐出有機EL液而塗佈的塗佈裝置,其中,將安裝在噴嘴安裝部(141)的4支噴嘴中之3支,設定為相對於噴嘴安裝部(141)而在副掃描方向上個別移動的可動噴嘴,利用間距調整機構(3)將各可動噴嘴在副掃描方向上依序個別移動,藉此調整4支噴嘴在副掃描方向上的間距。當調整噴嘴間距時,各可動噴嘴(例如第1噴嘴(17a)),在利用噴嘴彈力機構(33)賦予噴嘴抵接部(32)彈力的狀態下,藉由抵接部移動機構(34)而在副掃描方向上移動。藉此,以良好之精度控制各可動噴嘴的移動量,而可高精度調整複數噴嘴的間距。
    • 本发明的涂布设备,系从复数喷嘴朝基板连续吐出有机EL液而涂布的涂布设备,其中,将安装在喷嘴安装部(141)的4支喷嘴中之3支,设置为相对于喷嘴安装部(141)而在副扫描方向上个别移动的可动喷嘴,利用间距调整机构(3)将各可动喷嘴在副扫描方向上依序个别移动,借此调整4支喷嘴在副扫描方向上的间距。当调整喷嘴间距时,各可动喷嘴(例如第1喷嘴(17a)),在利用喷嘴弹力机构(33)赋予喷嘴抵接部(32)弹力的状态下,借由抵接部移动机构(34)而在副扫描方向上移动。借此,以良好之精度控制各可动喷嘴的移动量,而可高精度调整复数喷嘴的间距。