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1. 发明专利

TWI255341B 微型加速儀有权
简体标题：微型加速仪
公开(公告)号：TWI255341B
公开(公告)日：2006-05-21
申请号：TW093116696
申请日：2004-06-10
申请人：國防部軍備局中山科學研究院 CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 新磊微製造股份有限公司 NEOSTONES MICRO FABRICATION CORPORATION
发明人：羅淵 LO, YUAN , 賀克勤 HO, KYE CHYN , 林隆湧 LIN, LUNG YUNG , 蔡登宏 TSAI, DENG HORNG , 石修 SCHE, SCHIU
IPC分类号： G01P
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/082
摘要：一種微型加速儀，係由複數個質量塊組成，可分別組合與選擇設計以感測水平之第一軸向、第二軸向或垂直之第三軸向之加速度，本發明具有閉迴路控制、機械結構解耦合與不受高深寬比製程之影響之優點。
简体摘要：一种微型加速仪，系由复数个质量块组成，可分别组合与选择设计以传感水平之第一轴向、第二轴向或垂直之第三轴向之加速度，本发明具有闭回路控制、机械结构解耦合与不受高深宽比制程之影响之优点。

2. 发明专利

TW200540423A 微型加速儀审中-公开
简体标题：微型加速仪
公开(公告)号：TW200540423A
公开(公告)日：2005-12-16
申请号：TW093116696
申请日：2004-06-10
申请人：國防部軍備局中山科學研究院 CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 新磊微製造股份有限公司 NEOSTONES MICROFABRICATION CORPORATION
发明人：羅淵 LO, YUAN , 賀克勤 HO, KYE CHYN , 林隆湧 LIN, LUNG YUNG , 蔡登宏 TSAI, DENG HORNG , 石修 SCHE, SCHIU
IPC分类号： G01P
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/082
摘要：一種微型加速儀，係由複數個質量塊組成，可分別組合與選擇設計以感測水平之第一軸向、第二軸向或垂直之第三軸向之加速度，本發明具有閉迴路控制、機械結構解耦合與不受高深寬比製程之影響之優點。
简体摘要：一种微型加速仪，系由复数个质量块组成，可分别组合与选择设计以传感水平之第一轴向、第二轴向或垂直之第三轴向之加速度，本发明具有闭回路控制、机械结构解耦合与不受高深宽比制程之影响之优点。

3. 发明专利

TWI245902B 微型角速率感測裝置有权
简体标题：微型角速率传感设备
公开(公告)号：TWI245902B
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：TW093113693
申请日：2004-05-14
申请人：國防部軍備局中山科學研究院 CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 新磊微製造股份有限公司 NEOSTONES MICROFABRICATION CORPORATION
发明人：羅淵 LO, YUAN , 賀克勤 HO, KYE CHYN , 林隆湧 LIN, LUNG YUNG , 曾志偉 TSENG, CHIH WEI , 石修 SCHE, SCHIU
IPC分类号： G01P , G01C
CPC分类号： G01C19/5712
摘要：一種微型角速率感測裝置，係由一多質量塊振動體、複數個柔性支撐部、複數個電極所組成。其中多質量塊振動體，係設置於一第一基座中，具有複數個質量塊連接於多質量塊振動體之環體。複數個柔性支撐部連接於多質量塊振動體並支撐該振動體於第一基座上，以使該振動體浮懸於第一基座中。複數個電極係藉由驅動與控制柔性支撐部振動達成該振動體驅動模態之振型控制。複數個平面電極係與質量塊相對應地配置於一第二基座上，藉由平面電極與質量塊之間的電容變化量以感測質量塊相對於平面電極之移動量。根據本發明之裝置，其具有較高質量之共振結構，可以產生較大之科氏力，並且增加感測面積，故可大幅提高感測信號強度與訊雜比。此外，更可以減低對於高深寬比製程技術之要求，降低製程成本，提高製程良率。
简体摘要：一种微型角速率传感设备，系由一多质量块振动体、复数个柔性支撑部、复数个电极所组成。其中多质量块振动体，系设置于一第一基座中，具有复数个质量块连接于多质量块振动体之环体。复数个柔性支撑部连接于多质量块振动体并支撑该振动体于第一基座上，以使该振动体浮悬于第一基座中。复数个电极系借由驱动与控制柔性支撑部振动达成该振动体驱动模态之振型控制。复数个平面电极系与质量块相对应地配置于一第二基座上，借由平面电极与质量块之间的电容变化量以传感质量块相对于平面电极之移动量。根据本发明之设备，其具有较高质量之共振结构，可以产生较大之科氏力，并且增加传感面积，故可大幅提高传感信号强度与信噪比。此外，更可以减低对于高深宽比制程技术之要求，降低制程成本，提高制程良率。

4. 发明专利

TW200537100A 微型角速率感測裝置审中-公开
简体标题：微型角速率传感设备
公开(公告)号：TW200537100A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：TW093113693
申请日：2004-05-14
申请人：國防部軍備局中山科學研究院 CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 新磊微製造股份有限公司 NEOSTONES MICROFABRICATION CORPORATION
发明人：羅淵 LO, YUAN , 賀克勤 HO, KYE CHYN , 林隆湧 LIN, LUNG YUNG , 曾志偉 TSENG, CHIH WEI , 石修 SCHE, SCHIU
IPC分类号： G01P , G01C
CPC分类号： G01C19/5712
摘要：一種微型角速率感測裝置，係由一多質量塊振動體、複數個柔性支撐部、複數個電極所組成。其中多質量塊振動體，係設置於一第一基座中，具有複數個質量塊連接於多質量塊振動體之環體。複數個柔性支撐部連接於多質量塊振動體並支撐該振動體於第一基座上，以使該振動體浮懸於第一基座中。複數個電極係藉由驅動與控制柔性支撐部振動達成該振動體驅動模態之振型控制。複數個平面電極係與質量塊相對應地配置於一第二基座上，藉由平面電極與質量塊之間的電容變化量以感測質量塊相對於平面電極之移動量。根據本發明之裝置，其具有較高質量之共振結構，可以產生較大之科氏力，並且增加感測面積，故可大幅提高感測信號強度與訊雜比。此外，更可以減低對於高深寬比製程技術之要求，降低製程成本，提高製程良率。
简体摘要：一种微型角速率传感设备，系由一多质量块振动体、复数个柔性支撑部、复数个电极所组成。其中多质量块振动体，系设置于一第一基座中，具有复数个质量块连接于多质量块振动体之环体。复数个柔性支撑部连接于多质量块振动体并支撑该振动体于第一基座上，以使该振动体浮悬于第一基座中。复数个电极系借由驱动与控制柔性支撑部振动达成该振动体驱动模态之振型控制。复数个平面电极系与质量块相对应地配置于一第二基座上，借由平面电极与质量块之间的电容变化量以传感质量块相对于平面电极之移动量。根据本发明之设备，其具有较高质量之共振结构，可以产生较大之科氏力，并且增加传感面积，故可大幅提高传感信号强度与信噪比。此外，更可以减低对于高深宽比制程技术之要求，降低制程成本，提高制程良率。

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