专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW200707111A 樹脂製微型機器元件之製造方法审中-公开
简体标题：树脂制微型机器组件之制造方法
公开(公告)号：TW200707111A
公开(公告)日：2007-02-16
申请号：TW095122520
申请日：2006-06-22
申请人：國立大學法人東北大學 TOHOKU UNIVERSITY , 日本化藥公司 NIPPON KAYAKU KABUSHIKI KAISHA
发明人：本田那央 HONDA, NAO , 森哲 MORI, SATOSHI , 田中秀治 TANAKA, SHUJI , 江刺正喜 ESASHI, MASAYOSHI
IPC分类号： G03F , B81B
CPC分类号： F04D29/281 , B29C64/106 , B29C64/124 , B29L2031/7496 , B81C99/008 , F04D29/023 , F05D2230/31 , F05D2300/44
摘要：本發明係提供一種簡便且低成本、高精度地製造具有三維之內部結構及側板,且具有三層以上之層構成的樹脂製微型機器元件之方法。一種樹脂製微型機器元件之製造方法,其包含如下之步驟:(a)於基板上形成犧牲層;(b)於該犧牲層上依次積層形成至少2層感光性樹脂組合物層,對所形成之各感光性樹脂組合物層實施分別對應目標微型機器元件之內部結構的光微影術,形成劃定微型機器元件周圍部之空隙部及構成微型機器元件之內部結構之空隙部,形成感光性樹脂組合物硬化物層之積層結構;(c)於上述感光性樹脂組合物硬化物層之積層結構上積層乾膜抗蝕劑,對該乾膜抗蝕劑層實施對應於側板層之結構之光微影術,形成乾膜抗蝕劑硬化物層,該乾膜抗蝕劑硬化物層係形成有劃定側板層周圍部之空隙部及構成側板層之結構之空隙部者;及(d)藉由進行犧牲層之除去處理,使微型機器元件自基板脫離,該微型機器元件包含具有上述感光性樹脂組合物硬化物層與上述乾膜抗蝕劑硬化物層之積層結構以及劃定周圍部之積層體。
简体摘要：本发明系提供一种简便且低成本、高精度地制造具有三维之内部结构及侧板,且具有三层以上之层构成的树脂制微型机器组件之方法。一种树脂制微型机器组件之制造方法,其包含如下之步骤:(a)于基板上形成牺牲层;(b)于该牺牲层上依次积层形成至少2层感光性树脂组合物层,对所形成之各感光性树脂组合物层实施分别对应目标微型机器组件之内部结构的光微影术,形成划定微型机器组件周围部之空隙部及构成微型机器组件之内部结构之空隙部,形成感光性树脂组合物硬化物层之积层结构;(c)于上述感光性树脂组合物硬化物层之积层结构上积层干膜抗蚀剂,对该干膜抗蚀剂层实施对应于侧板层之结构之光微影术,形成干膜抗蚀剂硬化物层,该干膜抗蚀剂硬化物层系形成有划定侧板层周围部之空隙部及构成侧板层之结构之空隙部者;及(d)借由进行牺牲层之除去处理,使微型机器组件自基板脱离,该微型机器组件包含具有上述感光性树脂组合物硬化物层与上述干膜抗蚀剂硬化物层之积层结构以及划定周围部之积层体。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式