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1. 发明专利

JP6403007B2 圧力センサ审中-公开
公开(公告)号：JP6403007B2
公开(公告)日：2018-10-10
申请号：JP2015002286
申请日：2015-01-08
申请人：国立大学法人東京大学 , セイコーインスツル株式会社
发明人：下山勲 , 松本潔 , 高橋英俊 , グェンミンジューン , 内山武 , 大海学 , 篠原陽子 , 須田正之
IPC分类号： H01L29/84 , G01L9/00

2. 发明专利

JP6209801B2 圧力センサ有权
公开(公告)号：JP6209801B2
公开(公告)日：2017-10-11
申请号：JP2016553051
申请日：2015-09-28
申请人：国立大学法人東京大学 , セイコーインスツル株式会社
发明人：下山勲 , 松本潔 , 高橋英俊 , グェンミンジューン , 内山武 , 大海学 , 篠原陽子 , 須田正之
IPC分类号： H01L29/84 , G01L9/00
CPC分类号： G01L1/18 , G01L1/2206 , G01L1/2262 , G01L23/10 , G01L9/00 , G01L9/0002 , G01L9/0022 , H01L29/84

3. 发明专利

JP2017009562A 圧力センサ审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：JP2017009562A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2015128570
申请日：2015-06-26
申请人：国立大学法人東京大学 , セイコーインスツル株式会社
发明人：下山勲 , 松本潔 , 高橋英俊 , グェンミンジューン , 内山武 , 大海学 , 篠原陽子 , 須田正之
IPC分类号： G01L9/00
摘要：【課題】感度の線形性が優れているうえ、例えば1Hz以下の低周波数帯域の圧力変動であっても感度良く且つ精度良く検出すること。【解決手段】キャビティ7の内部と外部とを連通する連通開口15が形成されたセンサ本体2と、センサ本体に接続され、キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形可能なカンチレバー3と、カンチレバーの変位を検出する変位検出部4と、センサ本体に一体に組み合わされていると共にカンチレバーに対して対向配置された対向電極5と、対向電極とカンチレバーに形成された導電層41との間にクーロン力を発生させ、圧力差に起因する撓み方向とは逆方向に向けてカンチレバーをクーロン力により撓み変形させるレバー駆動部6と、を備え、レバー駆動部は、変位検出部による検出値に基づいて、圧力差に起因したカンチレバーの変形を打ち消すようにカンチレバーを逆方向に変形させる圧力センサ1を提供する。【選択図】図2
摘要翻译：灵敏度的直线性的方面是优异的，例如，是以下的低频带的1Hz的压力波动灵敏，准确地检测到。和用于内部和外部之间进行通信的传感器主体2连通口15形成在空腔7中，连接到所述传感器主体，可变形的悬臂3挠曲响应于所述腔体的内部与外部之间的压力差时，用于检测悬臂梁的位移的位移检测器4，反电极5相对于相对设置成与与所述传感器主体一体地组合的悬臂上形成的对置电极和所述悬臂的导电层41 以产生一个杠杆驱动部6用于通过库仑力悬臂朝向相反的方向上偏转方向弹性变形，由于压力差，其包括一个杆驱动部，由所述位移检测器的检测值之间的库仑力基于，提供一种压力传感器1变形悬臂在相反方向上以取消悬臂的变形由于压力差。 .The

4. 发明专利

JP2016125980A 圧力センサ审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：JP2016125980A
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：JP2015002286
申请日：2015-01-08
申请人：国立大学法人東京大学 , セイコーインスツル株式会社
发明人：下山勲 , 松本潔 , 高橋英俊 , グェンミンジューン , 内山武 , 大海学 , 篠原陽子 , 須田正之
IPC分类号： H01L29/84 , G01L9/00
摘要：【課題】外部からの電磁ノイズや温度変化の影響を抑制しつつ、圧力変動を感度良く検出する。【解決手段】圧力センサ1は、キャビティの内部と外部とを連通する連通開口11を有する中空のセンサ本体2と、レバー本体20と、レバー本体20を片持ち状態で支持する複数のレバー支持部21とを有し、連通開口11を覆うように配置され、且つキャビティとセンサ本体2の外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバー3と、ホイートストンブリッジ回路の互いに対向する抵抗を構成するようにレバー支持部21に形成されたレバー抵抗部31及びレバー抵抗部32と、ホイートストンブリッジ回路においてレバー抵抗部31及びレバー抵抗部32の間に接続されている本体抵抗部33と、を有し、レバー抵抗部31及びレバー抵抗部32の抵抗値変化に基づいて、カンチレバー3の変位を検出する変位検出部4とを備える。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：检测高灵敏度的压力波动，同时抑制来自外部的电磁噪声的影响或温度变化。解决方案：压力传感器1包括：中空传感器体2，其具有连通内部和外部的连通开口11 的腔; 具有杠杆体20的悬臂3和以悬臂状态支撑杆体20的多个杠杆支撑部21被设置成覆盖连通开口11，并且根据腔体之间的压差而弯曲变形和传感器体2的外侧; 以及位移检测装置4，其具有形成在杠杆支撑部21上的杠杆阻力部31和杠杆阻力部32，以便构成彼此相对的HOI = TO电路的电阻，以及主体抵抗部33，在HOI-TO电路中的杠杆阻力部分31和杠杆阻力部分32，并且基于杠杆阻力部分31和杠杆阻力部分32的阻力值变化来检测悬臂3的位移。图1

5. 发明专利

JP6424405B2 圧力センサ、触覚センサ、及び圧力センサの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP6424405B2
公开(公告)日：2018-11-21
申请号：JP2015051279
申请日：2015-03-13
申请人：セイコーインスツル株式会社 , 国立大学法人東京大学
发明人：高橋英俊 , 松本潔 , 下山勲 , 海法克享
IPC分类号： H01L41/113 , G01L5/16

6. 发明专利

JP6350952B2 圧力センサ有权
公开(公告)号：JP6350952B2
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：JP2016507450
申请日：2015-02-27
申请人：セイコーインスツル株式会社 , 国立大学法人東京大学
发明人：下山勲 , 松本潔 , 高橋英俊 , グェンミンジューン , 内山武 , 大海学 , 篠原陽子 , 須田正之
IPC分类号： H01L29/84 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0052 , G01L9/0002 , G01L9/0019 , G01L23/18

7. 发明专利

JP6521442B2 圧力センサ有权
公开(公告)号：JP6521442B2
公开(公告)日：2019-05-29
申请号：JP2015128571
申请日：2015-06-26
申请人：国立大学法人東京大学 , セイコーインスツル株式会社
发明人：下山勲 , 松本潔 , 高橋英俊 , グェンミンジューン , 海法克享 , 須田正之 , 内山武 , 篠原陽子 , 大海学
IPC分类号： G01L9/08

8. 发明专利

JP6292932B2 圧力センサ有权
公开(公告)号：JP6292932B2
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：JP2014050552
申请日：2014-03-13
申请人：セイコーインスツル株式会社 , 国立大学法人東京大学
发明人：下山勲 , 松本潔 , 高橋英俊 , グェンミンジューン , 内山武 , 大海学 , 篠原陽子
IPC分类号： H01L29/84 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0054 , G01L9/0002 , G01L9/0023 , G01L9/0042

9. 发明专利

JP6139917B2 接触センサ、接触入力装置および電子機器有权
公开(公告)号：JP6139917B2
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：JP2013043430
申请日：2013-03-05
申请人：セイコーインスツル株式会社 , 国立大学法人東京大学
发明人：下山勲 , 松本潔 , 高橋英俊 , グェンミンジューン , 内山武 , 大海学 , 篠原陽子
IPC分类号： G01L1/18 , G01L5/00 , G06F3/041 , G01L1/02

10. 发明专利

JP2017009563A 圧力センサ审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：JP2017009563A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2015128571
申请日：2015-06-26
申请人：国立大学法人東京大学 , セイコーインスツル株式会社
发明人：下山勲 , 松本潔 , 高橋英俊 , グェンミンジューン , 海法克享 , 須田正之 , 内山武 , 篠原陽子 , 大海学
IPC分类号： G01L9/08
摘要：【課題】感度の線形性が優れているうえ、例えば1Hz以下の低周波数帯域の圧力変動であっても感度良く且つ精度良く検出すること。【解決手段】キャビティの内部と外部とを連通する連通開口15が形成されたセンサ本体2と、センサ本体に接続され、キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形可能なカンチレバー3と、カンチレバーの変位を検出する変位検出部4と、カンチレバーに形成され、圧力差に起因する撓み方向とは逆方向に向けてカンチレバーを撓み変形させるレバー駆動部5と、変位検出部による検出値に基づいて、圧力差に起因したカンチレバーの変形を打ち消すようにレバー駆動部を制御するレバー制御部6と、を備え、レバー駆動部は、圧電体47と、圧電体を挟んで配置され、圧電体に対して駆動電圧を印加することで圧電体を変形させる第1電極48及び第2電極49と、を備えている圧力センサ1を提供する。【選択図】図1
摘要翻译：灵敏度的直线性的方面是优异的，例如，是以下的低频带的1Hz的压力波动灵敏，准确地检测到。以及传感器主体2连通口15被用于传送和内部腔体的外侧形成，被连接到传感器主体，一个可变形的悬臂3挠曲响应于所述腔体的内部与外部之间的压力差形成在悬臂，用于朝向相反的方向偏转方向弹性变形的悬臂杠杆驱动部5，用于检测悬臂梁的位移的位移检测器4由于该压力差，这些值由位移检测部检测出基于杠杆控制单元6上，用于控制杆驱动单元，以消除因压力差悬臂的变形，包括一杆驱动部，压电体47被布置成夹持所述压电部件，该压电提供第一电极48和第二电极49通过施加驱动电压而变形的压电元件，压力传感器1设置有一个相对的。点域1

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