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    • 6. 发明专利
    • 金屬配線用基板洗淨劑及半導體基板的洗淨方法
    • 金属配线用基板洗净剂及半导体基板的洗净方法
    • TW201504429A
    • 2015-02-01
    • TW103113171
    • 2014-04-10
    • 和光純藥工業股份有限公司WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD.
    • 水田浩德MIZUTA, HIRONORI綿引勉WATAHIKI, TSUTOMU前澤典明MAESAWA, TSUNEAKI
    • C11D7/32H01L21/67H01L21/304
    • C11D11/0047C11D7/3209C11D7/3218C11D7/3281H01L21/02074
    • 課題是提供一種在半導體元件之製程中的化學機械研磨(CMP)後洗淨步驟中可獲得下述(1)至(5)的效果且具有金屬配線的基板用洗淨劑,及特徵在使用該洗淨劑之半導體基板的洗淨方法。(1)可充分去除CMP步驟中使用的微粒子(研磨劑)、來自經研磨的金屬之微粒子(金屬粒子)及防蝕劑等的殘留物。(2)可充分去除(剝離)CMP步驟中形成的苯并三唑或2-喹啉甲酸等防蝕劑與金屬配線之表面金屬的錯合物之金屬配線表面被膜(保護膜:抗氧化膜)。(3)在去除(剝離)該被膜後,可形成含有金屬氧化物的氧化膜。(4)即使將CMP後洗淨步驟之基板放置,也可長期穩定的獲得不損及金屬配線表面(含有金屬氧化物之氧化膜表面)之平坦化的半導體基板。(5)即便是長時間使用洗淨劑時,也不容易劣化。 本發明是有關特徵在於包含含有(A)具有含氮雜環的 羧酸及(B)烷基羥基胺且pH為10以上的水溶液而形成之具有金屬配線的基板用洗淨劑,以及使用該洗淨劑之半導體基板的洗淨方法。
    • 课题是提供一种在半导体组件之制程中的化学机械研磨(CMP)后洗净步骤中可获得下述(1)至(5)的效果且具有金属配线的基板用洗净剂,及特征在使用该洗净剂之半导体基板的洗净方法。(1)可充分去除CMP步骤中使用的微粒子(研磨剂)、来自经研磨的金属之微粒子(金属粒子)及防蚀剂等的残留物。(2)可充分去除(剥离)CMP步骤中形成的苯并三唑或2-喹啉甲酸等防蚀剂与金属配线之表面金属的错合物之金属配线表面被膜(保护膜:抗氧化膜)。(3)在去除(剥离)该被膜后,可形成含有金属氧化物的氧化膜。(4)即使将CMP后洗净步骤之基板放置,也可长期稳定的获得不损及金属配线表面(含有金属氧化物之氧化膜表面)之平坦化的半导体基板。(5)即便是长时间使用洗净剂时,也不容易劣化。 本发明是有关特征在于包含含有(A)具有含氮杂环的 羧酸及(B)烷基羟基胺且pH为10以上的水溶液而形成之具有金属配线的基板用洗净剂,以及使用该洗净剂之半导体基板的洗净方法。