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    • 3. 发明专利
    • 具有多成分之玻璃基板用的微細加工表面處理方法
    • 具有多成分之玻璃基板用的微细加工表面处理方法
    • TW200409831A
    • 2004-06-16
    • TW093102745
    • 2002-08-23
    • 史鐵勒傑米華股份有限公司 OTTO WAGNER
    • 菊山裕久宮下雅之藪根辰弘大見忠弘
    • C23F
    • C03C15/00
    • 提供可使具有多成分之例如液晶與有機EL等的平面顯示器用之玻璃基板本身不析出結晶以及不使表面粗糙而加工之具有多成分之基板之微細加工表面處理方法。其特徵在於:在含有氟化氫酸以及氟化銨之同時,含有至少一種比氟化氫酸之酸解離常數還大之酸。係在含有氟化氫酸以及氟化銨之同時,含有至少一種比氟化氫酸之酸解離常數還大之酸之藥劑,該比氟化氫酸之酸解離常數還大之酸的含有量為x,蝕刻玻璃基板之液溫中該藥水之對熱矽氧化膜之蝕刻速率為f(x)〔/min〕時,該藥水,在x=x1時有極大值f(x1),在x=x2(但是,x1<x2)時有極小值f(x2),其特徵在於:在x>x1的範圍中,含有比該氟化氫酸之酸解離常數還大之酸。
    • 提供可使具有多成分之例如液晶与有机EL等的平面显示器用之玻璃基板本身不析出结晶以及不使表面粗糙而加工之具有多成分之基板之微细加工表面处理方法。其特征在于:在含有氟化氢酸以及氟化铵之同时,含有至少一种比氟化氢酸之酸解离常数还大之酸。系在含有氟化氢酸以及氟化铵之同时,含有至少一种比氟化氢酸之酸解离常数还大之酸之药剂,该比氟化氢酸之酸解离常数还大之酸的含有量为x,蚀刻玻璃基板之液温中该药水之对热硅氧化膜之蚀刻速率为f(x)〔/min〕时,该药水,在x=x1时有极大值f(x1),在x=x2(但是,x1<x2)时有极小值f(x2),其特征在于:在x>x1的范围中,含有比该氟化氢酸之酸解离常数还大之酸。