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    • 1. 发明专利
    • 切割設備與切割製程 CUTTING APPARATUS AND CUTTING PROCESS
    • 切割设备与切割制程 CUTTING APPARATUS AND CUTTING PROCESS
    • TW200914186A
    • 2009-04-01
    • TW096135147
    • 2007-09-20
    • 友達光電股份有限公司 AU OPTRONICS CORPORATION
    • 葉麗雅 YEH, LI YA王書志 WANG, SHU CHIH朱智偉 CHU, CHIH WEI謝文章 HSIEH, WEN CHANG
    • B23K
    • 一種切割設備與切割製程,可用來切割一工件。切割設備具有加工光源、光調變元件、聚焦鏡組以及整型鏡組。加工光源輸出一光束,而光調變元件接收光束,並可輸出第一子光束與第二子光束至少其中之一。第一子光束與第二子光束分別沿第一光路與第二光路到達工件。聚焦鏡組位於第一光路上,可用以聚焦第一子光束。整型鏡組位於第二光路上,可用以將第二子光束整型為一切割光束,而且第一子光束之形狀與切割光束之形狀實質上不同。切割製程是先藉由聚焦後的第一子光束在工件邊緣形成一起始裂紋,然後以起始裂紋為起點,並藉由切割光束切割工件。
    • 一种切割设备与切割制程,可用来切割一工件。切割设备具有加工光源、光调制组件、聚焦镜组以及整型镜组。加工光源输出一光束,而光调制组件接收光束,并可输出第一子光束与第二子光束至少其中之一。第一子光束与第二子光束分别沿第一光路与第二光路到达工件。聚焦镜组位于第一光路上,可用以聚焦第一子光束。整型镜组位于第二光路上,可用以将第二子光束整型为一切割光束,而且第一子光束之形状与切割光束之形状实质上不同。切割制程是先借由聚焦后的第一子光束在工件边缘形成一起始裂纹,然后以起始裂纹为起点,并借由切割光束切割工件。