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    • 2. 发明专利
    • 薄膜電晶體及畫素結構
    • 薄膜晶体管及像素结构
    • TW201533910A
    • 2015-09-01
    • TW103105715
    • 2014-02-20
    • 友達光電股份有限公司AU OPTRONICS CORPORATION
    • 陳信學CHEN, SHIN SHUEH陳培銘CHEN, PEI MING
    • H01L29/786H01L27/12
    • 一種薄膜電晶體及畫素結構。薄膜電晶體配置於基板上。薄膜電晶體包括閘極、絕緣層、金屬氧化物半導體層、蝕刻阻擋層、源極、汲極、有機絕緣層以及金屬氧化物阻障層。絕緣層覆蓋閘極。金屬氧化物半導體層位於閘極上方的絕緣層上。蝕刻阻擋層覆蓋金屬氧化物半導體層,且蝕刻阻擋層具有第一接觸窗以及第二接觸窗。源極以及汲極分別相對設置於蝕刻阻擋層上。源極以及汲極分別透過第一接觸窗及第二接觸窗與金屬氧化物半導體層電性連接。有機絕緣層覆蓋蝕刻阻擋層、源極以及汲極。金屬氧化物阻障層覆蓋有機絕緣層。
    • 一种薄膜晶体管及像素结构。薄膜晶体管配置于基板上。薄膜晶体管包括闸极、绝缘层、金属氧化物半导体层、蚀刻阻挡层、源极、汲极、有机绝缘层以及金属氧化物阻障层。绝缘层覆盖闸极。金属氧化物半导体层位于闸极上方的绝缘层上。蚀刻阻挡层覆盖金属氧化物半导体层,且蚀刻阻挡层具有第一接触窗以及第二接触窗。源极以及汲极分别相对设置于蚀刻阻挡层上。源极以及汲极分别透过第一接触窗及第二接触窗与金属氧化物半导体层电性连接。有机绝缘层覆盖蚀刻阻挡层、源极以及汲极。金属氧化物阻障层覆盖有机绝缘层。