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    • 8. 发明专利
    • 薄膜電晶體 THIN FILM TRANSISTOR
    • 薄膜晶体管 THIN FILM TRANSISTOR
    • TW201140847A
    • 2011-11-16
    • TW099146125
    • 2010-12-27
    • 半導體能源研究所股份有限公司
    • 宮入秀和笹川慎也倉田求田所麻美
    • H01L
    • H01L29/78609H01L29/66765H01L29/78618H01L29/78669H01L29/78678
    • 提供一種具有令人滿意之電特性的薄膜電晶體。此薄膜電晶體包括:閘極電極;閘極絕緣層;半導體層,其包括微晶半導體區和非晶半導體區;雜質半導體層;佈線;第一氧化物區,係設置在微晶半導體區與佈線之間;以及第二氧化物區,係設置在非晶半導體區與佈線之間,其中,在從所述佈線中包含之元素的分佈與所述半導體層中包含之元素的分佈的相交處的所述半導體層側上,與所述第一氧化物區中的氧分佈的最高傾斜度(m1)相切的直線和與所述第二氧化物區中的氧分佈的最高傾斜度(m2)相切的直線滿足關係式1<m1/m2<10。
    • 提供一种具有令人满意之电特性的薄膜晶体管。此薄膜晶体管包括:闸极电极;闸极绝缘层;半导体层,其包括微晶半导体区和非晶半导体区;杂质半导体层;布线;第一氧化物区,系设置在微晶半导体区与布线之间;以及第二氧化物区,系设置在非晶半导体区与布线之间,其中,在从所述布线中包含之元素的分布与所述半导体层中包含之元素的分布的相交处的所述半导体层侧上,与所述第一氧化物区中的氧分布的最高倾斜度(m1)相切的直线和与所述第二氧化物区中的氧分布的最高倾斜度(m2)相切的直线满足关系式1<m1/m2<10。