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1. 发明专利

TW200534418A 連接裝置 CONNECTION DEVICE 审中-公开
简体标题：连接设备 CONNECTION DEVICE
公开(公告)号：TW200534418A
公开(公告)日：2005-10-16
申请号：TW093109902
申请日：2004-04-09
申请人：來易特製作所股份有限公司 RIGHT MFG. CO., LTD.
发明人：永田龍彥 TATSUHIKO NAGATA , 吉村武彥 YOSHIMURA TAKEHIKO
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67126 , H01L21/67017 , H01L21/67775
摘要：本發明的連接裝置(100)，係連接於設置於收容晶圓(1)的基晶圓載具(10)上，且具有供流入將晶圓載具(10)環境氣體進行取代之氣體的氣體流入口(32)的排淨口(30)上之裝置，具備有包含有如：基台(101)、形成於基台(101)上的連通口(102)、以及使氣體流入口(32)與連通口(102)相密接的密接機構；密接機構係由：設置於與排淨口(30)相對向的對向面(103)上，並配置於連通口(102)周緣的密封用環(105)；形成於對向面(103)上的溝部(104)；在連通於溝部(104)上的減壓用通路(107)；以及接於減壓用通路(107)上，並將空間的空氣輸送往外部的真空泵等所構成；於使基台(101)與排淨口(30)相接觸的位置處，將由溝部(104)與氣體流入口(32)之周緣部(32A)所形成之空間的壓力減壓，俾使氣體流入口(32)與連通口(102)呈密接狀態。
简体摘要：本发明的连接设备(100)，系连接于设置于收容晶圆(1)的基晶圆载具(10)上，且具有供流入将晶圆载具(10)环境气体进行取代之气体的气体流入口(32)的排净口(30)上之设备，具备有包含有如：基台(101)、形成于基台(101)上的连通口(102)、以及使气体流入口(32)与连通口(102)相密接的密接机构；密接机构系由：设置于与排净口(30)相对向的对向面(103)上，并配置于连通口(102)周缘的密封用环(105)；形成于对向面(103)上的沟部(104)；在连通于沟部(104)上的减压用通路(107)；以及接于减压用通路(107)上，并将空间的空气输送往外部的真空泵等所构成；于使基台(101)与排净口(30)相接触的位置处，将由沟部(104)与气体流入口(32)之周缘部(32A)所形成之空间的压力减压，俾使气体流入口(32)与连通口(102)呈密接状态。

2. 发明专利

TW200601482A 負載埠 LOAD PORT 审中-公开
简体标题：负载端口 LOAD PORT
公开(公告)号：TW200601482A
公开(公告)日：2006-01-01
申请号：TW093119461
申请日：2004-06-30
申请人：來易特製作所股份有限公司 RIGHT MFG, CO., LTD.
发明人：吉村武彥 YOSHIMURA TAKEHIKO , 永田龍彥 NAGATA TATSUHIKO , 關優 SEKI MASARU , 長義陛 CHO YOSHINORI
IPC分类号： H01L , B65G
CPC分类号： H01L21/67775 , H01L21/67772
摘要：負載埠(100)具備載置晶圓搬送器(10)的載置台(101)；具有略平行於晶圓搬送器(10)的晶圓(1)間的間隙(A)，以使交換晶圓搬送器(10)的空氣用的淨化氣體(purgegas)流出及／或流入的噴嘴口(111)的噴嘴部(110)；包含使噴嘴部(110)進出於內部具有基板處理裝置的無塵室的壁面(201)附近所形成的負載埠(100)的門開口部(202)的噴嘴驅動用馬達(166)等的驅動部；與容器開口部(12)氣密地連結，形成與晶圓搬送器(10)的內部空間連續的密閉空間(B)的密閉空間形成部(120)；及依據表示晶圓搬送器(10)的空氣的淨化程度的氧濃度，以切換控制噴嘴部(110)的淨化氣體的流動的控制部(160)等。
简体摘要：负载端口(100)具备载置晶圆搬送器(10)的载置台(101)；具有略平行于晶圆搬送器(10)的晶圆(1)间的间隙(A)，以使交换晶圆搬送器(10)的空气用的净化气体(purgegas)流出及／或流入的喷嘴口(111)的喷嘴部(110)；包含使喷嘴部(110)进出于内部具有基板处理设备的无尘室的壁面(201)附近所形成的负载端口(100)的门开口部(202)的喷嘴驱动用马达(166)等的驱动部；与容器开口部(12)气密地链接，形成与晶圆搬送器(10)的内部空间连续的密闭空间(B)的密闭空间形成部(120)；及依据表示晶圆搬送器(10)的空气的净化程度的氧浓度，以切换控制喷嘴部(110)的净化气体的流动的控制部(160)等。

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