会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明专利
    • 電漿處理裝置
    • 等离子处理设备
    • TW201249262A
    • 2012-12-01
    • TW100143742
    • 2011-11-29
    • 佳能安內華股份有限公司
    • 池田真義坂本清尚澤田明宏佐護康實長谷川雅己栗田資三
    • H05H
    • H05H1/46H01J37/321H01J37/3211H01J37/32357H01J37/32669H05H2001/4667
    • [課題]提供一種:能夠對於電漿密度分布之偏差作修正並將基板均一地進行處理之電漿處理裝置。[解決手段]具備有對於被配置在減壓容器內之基板進行電漿處理的構成,減壓容器,係在外側周圍處被配置有環狀天線,並由產生電漿之電力供給容器、和與電力供給容器內相通的被配置有基板之處理容器所成。在電力供給容器內,係藉由被供給至環狀天線處之高頻電力而產生電漿。所產生了的電漿,係藉由被配置在環狀天線外周部處之螺旋管線圈的磁場,而朝向處理容器內擴散。藉由用以調整此螺旋管線圈之相對於處理基板的傾斜度之傾斜調整手段,來對於藉由螺旋管線圈所產生之磁場的傾斜度作調整,而進行基板處理。
    • [课题]提供一种:能够对于等离子密度分布之偏差作修正并将基板均一地进行处理之等离子处理设备。[解决手段]具备有对于被配置在减压容器内之基板进行等离子处理的构成,减压容器,系在外侧周围处被配置有环状天线,并由产生等离子之电力供给容器、和与电力供给容器内相通的被配置有基板之处理容器所成。在电力供给容器内,系借由被供给至环状天线处之高频电力而产生等离子。所产生了的等离子,系借由被配置在环状天线外周部处之螺旋管线圈的磁场,而朝向处理容器内扩散。借由用以调整此螺旋管线圈之相对于处理基板的倾斜度之倾斜调整手段,来对于借由螺旋管线圈所产生之磁场的倾斜度作调整,而进行基板处理。