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    • 5. 发明专利
      TW200815921A 適用為酸產生劑之鹽及含該鹽之化學放大正型阻劑組成物 A SALT SUITABLE FOR AN ACID GENERATOR AND A CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION CONTAINING THE SAME 审中-公开
    • 適用為酸產生劑之鹽及含該鹽之化學放大正型阻劑組成物 A SALT SUITABLE FOR AN ACID GENERATOR AND A CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION CONTAINING THE SAME
    • 适用为酸产生剂之盐及含该盐之化学放大正型阻剂组成物 A SALT SUITABLE FOR AN ACID GENERATOR AND A CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION CONTAINING THE SAME
    • TW200815921A
    • 2008-04-01
    • TW096127703
    • 2007-07-30
    • 住友化學股份有限公司 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
    • 原田由香子 HARADA, YUKAKO , 吉田勳 YOSHIDA, ISAO , 高田佳幸 TAKATA, YOSHIYUKI
    • G03F , C07C
    • C07C381/12 , C07C309/17 , C07C2603/74 , C07D307/77 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , Y10S430/122 , Y10S430/123
    • 本發明提供一種式(Ⅰ)所示之鹽:
      096127703P01.bmp
      其中 P^1、P^2 及 P^3 各自分別表示 C1-C30 烷基,其可經至少一個選自羥基、C3-C12 環狀烴基及 C1-C12 烷氧基之取代基取代,或各自分別表示 C3-C30 環狀烴基,其可經至少一個選自羥基及 C1-C12 烷氧基之取代基取代,先決條件為P^1、P^2 及 P^3 並非同時皆為可經取代之苯基,Q^1 及 Q^2 各自分別表示氟原子或 C1-C6 全氟烷基,以及R 表示下式所示之基團:
      096127703P02.bmp
      其中 A^1 表示-OH 或 -Y^1-OH,n 表示 1 至 9 之整數,及 Y^1表示二價之 C1-C6 飽和脂肪族烴基;下式所示之基團:
      096127703P03.bmp
      其中環X^1表示 C3-C30 單環烴基或多環烴基,其中一個-CH2-基團係經-CO
      -取代,且於單環烴基或多環烴基中之至少一個氫原子可經 C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基、C1-C4 全氟烷基、C1-C6 羥基烷基、羥基或氰基取代;下式所示之基團:
      096127703P04.bmp
      其中環X^2表示 C3-C30 單環烴基或多環烴基,其中一個-CH2-基團之一個氫原子係經羥基取代,且於單環烴基或多環烴基中之至少一個氫原子可經 C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基、C1-C4 全氟烷基、C1-C6 羥基烷基、羥基或氰基取代;下式所示之基團:
      096127703P05.bmp
      其中環X^3表示 C3-C30 單環烴基或多環烴基,其中一個-CH2-基團係經-COO-取代,且於單環烴基或多環烴基中之至少一個氫原子可經 C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基、C1-C4 全氟烷基、C1-C6 羥基烷基、羥基或氰基取代,及 m 表示 0 至 12 之整數;或下式表示之基團:
      096127703P06.bmp
      其中環X^4表示有三環或更多個環之 C6-C30 多環烴基
      ,以及於該多環烴基中之至少一個氫原子可經 C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基、C1-C4 全氟烷基、C1-C6 羥基烷基或氰基取代,以及 1 表示 1 至 12 之整數。本發明進一步提供一種包含前述式(Ⅰ)所示之鹽之化學放大光阻組成物。
    • 本发明提供一种式(Ⅰ)所示之盐: 096127703P01.bmp 其中 P^1、P^2 及 P^3 各自分别表示 C1-C30 烷基,其可经至少一个选自羟基、C3-C12 环状烃基及 C1-C12 烷氧基之取代基取代,或各自分别表示 C3-C30 环状烃基,其可经至少一个选自羟基及 C1-C12 烷氧基之取代基取代,先决条件为P^1、P^2 及 P^3 并非同时皆为可经取代之苯基,Q^1 及 Q^2 各自分别表示氟原子或 C1-C6 全氟烷基,以及R 表示下式所示之基团: 096127703P02.bmp 其中 A^1 表示-OH 或 -Y^1-OH,n 表示 1 至 9 之整数,及 Y^1表示二价之 C1-C6 饱和脂肪族烃基;下式所示之基团: 096127703P03.bmp 其中环X^1表示 C3-C30 单环烃基或多环烃基,其中一个-CH2-基团系经-CO -取代,且於单环烃基或多环烃基中之至少一个氢原子可经 C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基、C1-C4 全氟烷基、C1-C6 羟基烷基、羟基或氰基取代;下式所示之基团: 096127703P04.bmp 其中环X^2表示 C3-C30 单环烃基或多环烃基,其中一个-CH2-基团之一个氢原子系经羟基取代,且於单环烃基或多环烃基中之至少一个氢原子可经 C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基、C1-C4 全氟烷基、C1-C6 羟基烷基、羟基或氰基取代;下式所示之基团: 096127703P05.bmp 其中环X^3表示 C3-C30 单环烃基或多环烃基,其中一个-CH2-基团系经-COO-取代,且於单环烃基或多环烃基中之至少一个氢原子可经 C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基、C1-C4 全氟烷基、C1-C6 羟基烷基、羟基或氰基取代,及 m 表示 0 至 12 之整数;或下式表示之基团: 096127703P06.bmp 其中环X^4表示有三环或更多个环之 C6-C30 多环烃基 ,以及于该多环烃基中之至少一个氢原子可经 C1-C6 烷基、C1-C6 烷氧基、C1-C4 全氟烷基、C1-C6 羟基烷基或氰基取代,以及 1 表示 1 至 12 之整数。本发明进一步提供一种包含前述式(Ⅰ)所示之盐之化学放大光阻组成物。
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