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    • 7. 发明专利
    • 高頻電力供給裝置及反射波電力控制方法
    • 高频电力供给设备及反射波电力控制方法
    • TW201401937A
    • 2014-01-01
    • TW102100411
    • 2013-01-07
    • 京三製作所股份有限公司KYOSAN ELECTRIC MFG. CO., LTD.
    • 譲原 男YUZURIHARA, ITSUO相川諭AIKAWA, SATOSHI國玉博史KUNITAMA, HIROSHI
    • H05H1/46
    • H01J37/32174H01J37/32082H01J37/32146H01J37/32183H01J37/32944H01J37/3299H02M1/08H02M7/539H05H1/46H05H2001/4682
    • 〔課題〕在藉由脈衝運轉而將高頻電力對於電漿負載作電力供給之高頻電源中,於直到電漿著火為止的未著火狀態中,進行能夠對於前進波電力全部作為反射波電力而回到電源側處的全反射波電力而具有耐性之全反射波對應化。〔解決手段〕反射波電力控制,係在對於電漿負載供給高頻電力之高頻電力供給中,檢測出高頻電源之反射波電力,並使用所檢測出的反射波電力而對於高頻電源作控制,該反射波電力控制,係對於反射波電力之短時間變動,而基於反射波電力之檢測值的峰值變動來作控制,並對於反射波電力之長時間變動,而基於將反射波電力之檢測值平滑化所得到的平滑值之變動來作控制。作為反射波電力控制迴圈系,係具備有基於反射波電力之峰值變動而進行控制之反射波電力峰值垂下迴圈系以及電弧遮斷系,和基於反射波電力之電力平滑量而進行控制之反射波電力平滑量垂下迴圈系。
    • 〔课题〕在借由脉冲运转而将高频电力对于等离子负载作电力供给之高频电源中,于直到等离子着火为止的未着火状态中,进行能够对于前进波电力全部作为反射波电力而回到电源侧处的全反射波电力而具有耐性之全反射波对应化。〔解决手段〕反射波电力控制,系在对于等离子负载供给高频电力之高频电力供给中,检测出高频电源之反射波电力,并使用所检测出的反射波电力而对于高频电源作控制,该反射波电力控制,系对于反射波电力之短时间变动,而基于反射波电力之检测值的峰值变动来作控制,并对于反射波电力之长时间变动,而基于将反射波电力之检测值平滑化所得到的平滑值之变动来作控制。作为反射波电力控制循环系,系具备有基于反射波电力之峰值变动而进行控制之反射波电力峰值垂下循环系以及电弧遮断系,和基于反射波电力之电力平滑量而进行控制之反射波电力平滑量垂下循环系。