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1. 发明专利

JP6462449B2 高周波用窓部材および半導体製造装置用部材ならびにフラットパネルディスプレイ(FPD)製造装置用部材有权
公开(公告)号：JP6462449B2
公开(公告)日：2019-01-30
申请号：JP2015064287
申请日：2015-03-26
申请人：京セラ株式会社
发明人：井上智行 , 古舘憲一 , 落合ひとみ , 竹之下英博
IPC分类号： C04B35/10 , C04B37/00 , H01L21/3065 , H05H1/46

2. 发明专利

JP2016184513A 高周波用窓部材および半導体製造装置用部材ならびにフラットパネルディスプレイ(FPD)製造装置用部材有权
标题翻译：用于高频的窗户，半导体制造设备的会员，以及平板显示器（FPD）制造设备的会员
公开(公告)号：JP2016184513A
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：JP2015064287
申请日：2015-03-26
申请人：京セラ株式会社
发明人：井上智行 , 古舘憲一 , 落合ひとみ , 竹之下英博
IPC分类号： C04B35/10 , C04B37/00 , H01L21/3065 , H05H1/46
摘要：【課題】比較的安価でありながら、高周波の透過性が比較的高い高周波用窓部材を提供する。【解決手段】第1主面を有する第1基板と、第2主面を有する第2基板と、前記第1主面および前記第2主面が接合され、前記第1基板および前記第2基板の間に位置するとともに前記第1主面および前記第2主面に平行な方向に沿った流路とを備えてなる高周波用窓部材であって、前記第1主面および前記第2主面を接合する接合部材を備えており、前記第1基板、前記第2基板、および前記接合部材はいずれもアルミナ質焼結体からなり、アルミナ質焼結体における粒界相内において、アルミナ結晶との境界領域に比べて、前記境界領域以外の内部領域の方が、Naの酸化物がより多いことを特徴とする高周波用窓部材を提供する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种相对便宜且高频率传输相对较高的高频窗构件。解决方案：用于高频的窗构件包括具有第一主平面的第一基板，具有第一主平面的第二基板第二主面和第一主面和第二主面接合并位于第一基板和第二基板之间并沿平行于第一主平面和第二主平面的方向延伸的流动通道。提供了结合在第一主平面和第二主平面之间的接合构件。第一基板，第二基板和接合部件由氧化铝烧结体形成。在氧化铝烧结体的晶界相中，除了与氧化铝晶体的边界区域以外的内部区域含有比边界区域更多的氧化钠。图示：图1

3. 发明专利

JP5970539B2 環状部材およびそれを用いた成膜装置有权
标题翻译：环形构件和使用该方法的薄膜形成装置
公开(公告)号：JP5970539B2
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：JP2014507612
申请日：2013-03-08
申请人：京セラ株式会社
发明人：井上智行
IPC分类号： C23C16/44 , C03C19/00 , C23C14/00
CPC分类号： H01L21/68735 , C23C14/34 , C23C14/50 , C23C14/564 , C23C16/4401

4. 发明专利

JP6139699B2 流路部材有权
公开(公告)号：JP6139699B2
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：JP2015551024
申请日：2014-11-28
申请人：京セラ株式会社
发明人：井上智行
IPC分类号： H01L23/373 , F28F3/12 , F28F21/04 , C04B37/00 , B01J19/08
CPC分类号： H01L21/67109 , C04B37/005 , F28F13/12 , F28F21/04 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/32119 , H01J37/32522 , H01L21/6831 , C04B2237/064 , C04B2237/066 , C04B2237/10 , C04B2237/34 , C04B2237/343 , C04B2237/62 , C04B2237/64 , C23C16/44 , F28F2255/18

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