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1. 发明专利

TW201730953A 工件硏磨方法及硏磨墊的修整方法审中-公开
简体标题：工件研磨方法及研磨垫的修整方法
公开(公告)号：TW201730953A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW105143480
申请日：2016-12-28
申请人：不二越機械工業股份有限公司 , FUJIKOSHI MACHINERY CORP. , 學校法人金澤工業大學 , KANAZAWA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
发明人：澁谷和孝 , SHIBUYA, KAZUTAKA , 柳澤潤 , YANAGISAWA, JUN , 中村由夫 , NAKAMURA, YOSHIO , 畝田道雄 , UNEDA, MICHIO , 石川憲一 , ISHIKAWA, KENICHI
IPC分类号： H01L21/304 , B24B53/017 , B24B53/12 , B24B37/04
CPC分类号： B24B37/20 , B24B37/005 , B24B53/06 , B24B53/08
摘要：提供能夠正確地掌握研磨墊的表面狀態，而能夠進行精度佳的修整，從而能夠進行精度佳的研磨的工件研磨方法。本發明的工件研磨方法係含有下述步驟：取得表示預先以複數種階段的修整條件進行了修整時的研磨墊16的表面性狀、與藉由以該各個修整條件進行修整後的研磨墊16研磨了工件20時的工件20的研磨效果之相關關係的相關資料之步驟；從相關資料推斷能達到目標研磨效果的推估修整條件，以該推斷出的推估修整條件進行研磨墊16的修整之修整步驟；研磨工件20之研磨步驟；清洗研磨工件20後的研磨墊16之步驟；及測量該清洗後的研磨墊16的表面性狀之步驟。
简体摘要：提供能够正确地掌握研磨垫的表面状态，而能够进行精度佳的修整，从而能够进行精度佳的研磨的工件研磨方法。本发明的工件研磨方法系含有下述步骤：取得表示预先以复数种阶段的修整条件进行了修整时的研磨垫16的表面性状、与借由以该各个修整条件进行修整后的研磨垫16研磨了工件20时的工件20的研磨效果之相关关系的相关数据之步骤；从相关数据推断能达到目标研磨效果的推估修整条件，以该推断出的推估修整条件进行研磨垫16的修整之修整步骤；研磨工件20之研磨步骤；清洗研磨工件20后的研磨垫16之步骤；及测量该清洗后的研磨垫16的表面性状之步骤。

2. 发明专利

TW201829127A 工件硏磨方法及工件硏磨裝置审中-公开
简体标题：工件研磨方法及工件研磨设备
公开(公告)号：TW201829127A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：TW106144071
申请日：2017-12-15
申请人：日商不二越機械工業股份有限公司 , FUJIKOSHI MACHINERY CORP. , 學校法人金澤工業大學 , KANAZAWA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
发明人：澁谷和孝 , SHIBUYA, KAZUTAKA , 中村由夫 , NAKAMURA, YOSHIO , 畝田道雄 , UNEDA, MICHIO , 石川憲一 , ISHIKAWA, KENICHI
IPC分类号： B24B53/017 , B24B37/00 , B24B37/34
摘要：提供一種能自動作成研磨條件之工件研磨裝置。本發明的工件研磨裝置具備：修整研磨墊的表面之修整部；測量前述研磨墊的表面性狀之表面性狀測量部；測量工件的研磨結果之研磨結果測量部；將修整條件資料、利用前述表面性狀測量部所測量之前述研磨墊的表面性狀資料、及研磨工件的情況的研磨結果資料的相關關係以人工智慧學習後的相關資料予以記憶的記憶部；及輸入目的的研磨結果之輸入部，前述人工智慧係進行：第1演算處理，從前述相關資料反推與前述目的之研磨結果相對應的前述研磨墊的表面性狀；及第2演算處理，從前述反推的前述研磨墊的表面性狀導出對應的前述修整條件。
简体摘要：提供一种能自动作成研磨条件之工件研磨设备。本发明的工件研磨设备具备：修整研磨垫的表面之修整部；测量前述研磨垫的表面性状之表面性状测量部；测量工件的研磨结果之研磨结果测量部；将修整条件数据、利用前述表面性状测量部所测量之前述研磨垫的表面性状数据、及研磨工件的情况的研磨结果数据的相关关系以人工智能学习后的相关数据予以记忆的记忆部；及输入目的的研磨结果之输入部，前述人工智能系进行：第1演算处理，从前述相关数据反推与前述目的之研磨结果相对应的前述研磨垫的表面性状；及第2演算处理，从前述反推的前述研磨垫的表面性状导出对应的前述修整条件。

3. 发明专利

TW201827160A 工件硏磨頭审中-公开
简体标题：工件研磨头
公开(公告)号：TW201827160A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106140884
申请日：2017-11-24
申请人：日商不二越機械工業股份有限公司 , FUJIKOSHI MACHINERY CORP.
发明人：塚田雅之 , TSUKADA, MASAYUKI , 澁谷和孝 , SHIBUYA, KAZUTAKA , 布施貴之 , FUSE, TAKAYUKI
IPC分类号： B24B37/04 , H01L21/304
摘要：提供一種研磨頭，其能使載體良好地追隨研磨墊的表面狀態，從而可精度良好地研磨工件。本發明的研磨頭具備：頭本體12；載體14，其隔著撓性隔膜16而與頭本體12連結，且於下面側保持工件；壓力室18，其係由頭本體12下面、隔膜16及載體14上面包圍而設置；流體供給部47，其朝壓力室18供給流體；直動導件40，其具有外側筒體41及花鍵軸42，該外側筒體41係固定於頭本體12的旋轉軸線上，該花鍵軸42係於軸線方向可移動自如地被配置於外側筒體41內且被規定相對於外側筒體41以軸線為中心的旋轉，藉以經由上述外側筒體41傳遞頭本體12之旋轉力；及旋轉傳遞板45，其配置於花鍵軸42的下端部與載體14上面之間，可傾動自如地支撐載體14，並將花鍵軸42的旋轉力傳遞至載體14。
简体摘要：提供一种研磨头，其能使载体良好地追随研磨垫的表面状态，从而可精度良好地研磨工件。本发明的研磨头具备：头本体12；载体14，其隔着挠性隔膜16而与头本体12链接，且于下面侧保持工件；压力室18，其系由头本体12下面、隔膜16及载体14上面包围而设置；流体供给部47，其朝压力室18供给流体；直动导件40，其具有外侧筒体41及花键轴42，该外侧筒体41系固定于头本体12的旋转轴在线，该花键轴42系于轴线方向可移动自如地被配置于外侧筒体41内且被规定相对于外侧筒体41以轴线为中心的旋转，借以经由上述外侧筒体41传递头本体12之旋转力；及旋转传递板45，其配置于花键轴42的下端部与载体14上面之间，可倾动自如地支撑载体14，并将花键轴42的旋转力传递至载体14。

4. 发明专利

TWI668075B 工件拋光設備有权
简体标题：工件抛光设备
公开(公告)号：TWI668075B
公开(公告)日：2019-08-11
申请号：TW104107118
申请日：2015-03-06
申请人：日商不二越機械工業股份有限公司 , FUJIKOSHI MACHINERY CORP.
发明人：澁谷和孝 , SHIBUYA, KAZUTAKA , 中村由夫 , NAKAMURA, YOSHIO
IPC分类号： B24B37/04 , B24B57/02 , H01L21/304

5. 发明专利

TW201544236A 用於拋光工件的方法及工件拋光設備审中-公开
简体标题：用于抛光工件的方法及工件抛光设备
公开(公告)号：TW201544236A
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW104107118
申请日：2015-03-06
申请人：不二越機械工業股份有限公司 , FUJIKOSHI MACHINERY CORP.
发明人：澁谷和孝 , SHIBUYA, KAZUTAKA , 中村由夫 , NAKAMURA, YOSHIO
IPC分类号： B24B1/00 , B24B57/02 , B24B37/00 , H01L21/304
CPC分类号： B24B37/04 , B24B57/02 , C23F1/08 , C23F1/12 , C23F1/14 , H01J37/32055 , H01J37/32073 , H01J37/32348 , H01L21/02024 , H01L21/30625 , H01L21/67075 , H01L21/67092 , H01L29/1602 , H01L29/1608 , H01L29/2003
摘要：本發明之方法能在高拋光效率下將一高硬度工件拋光。本方法包括下列步驟：將工件之表面推壓到一旋轉拋光板之拋光部；及在執行推壓步驟時供給漿液。此方法之特徵為：藉由氣體放電而活化的活化氣體轉變為氣泡且混合到漿液中。
简体摘要：本发明之方法能在高抛光效率下将一高硬度工件抛光。本方法包括下列步骤：将工件之表面推压到一旋转抛光板之抛光部；及在运行推压步骤时供给浆液。此方法之特征为：借由气体放电而活化的活化气体转变为气泡且混合到浆液中。

6. 发明专利

TW201742141A 噴嘴及工件硏磨裝置审中-公开
简体标题：喷嘴及工件研磨设备
公开(公告)号：TW201742141A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW106112854
申请日：2017-04-18
申请人：不二越機械工業股份有限公司 , FUJIKOSHI MACHINERY CORP.
发明人：澁谷和孝 , SHIBUYA, KAZUTAKA , 中村由夫 , NAKAMURA, YOSHIO
IPC分类号： H01L21/304 , B01J19/08 , B24B37/04
CPC分类号： H01L21/67219 , B24B37/04 , B24B57/02 , H01J37/3244 , H01J37/3255 , H01J37/32568 , H01J2237/334 , H01L21/6708
摘要：實現一種可減低含於液體中之活化氣體的失活量，且可降低活化氣體生成時的電力損失之噴嘴。本發明之噴嘴1，其具備：液體流路12，其使液體流通；氣體流路14，其使氣體流通，並連通於上述液體流路12使該氣體送出至該液體流路12內；及電漿產生機構20，其在自上述氣體流路14被送出至上述液體流路12內之上述氣體的內部產生電漿，上述電漿產生機構20具備：第1電極22，其在上述液體流路12內露出地配置；第2電極24，其在上述液體流路12內不露出，且在上述氣體流路14內露出地配置；及電源26，其對上述第1電極22與上述第2電極24之間施加既定電壓，且作成使產生上述電漿的上述氣體以既定直徑之氣泡混入上述液體的狀態並使該液體吐出。
简体摘要：实现一种可减低含于液体中之活化气体的失活量，且可降低活化气体生成时的电力损失之喷嘴。本发明之喷嘴1，其具备：液体流路12，其使液体流通；气体流路14，其使气体流通，并连通于上述液体流路12使该气体送出至该液体流路12内；及等离子产生机构20，其在自上述气体流路14被送出至上述液体流路12内之上述气体的内部产生等离子，上述等离子产生机构20具备：第1电极22，其在上述液体流路12内露出地配置；第2电极24，其在上述液体流路12内不露出，且在上述气体流路14内露出地配置；及电源26，其对上述第1电极22与上述第2电极24之间施加既定电压，且作成使产生上述等离子的上述气体以既定直径之气泡混入上述液体的状态并使该液体吐出。

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