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    • 2. 发明专利
    • 鐵電體薄膜之製造方法
    • 铁电体薄膜之制造方法
    • TW201344724A
    • 2013-11-01
    • TW102103137
    • 2013-01-28
    • 三菱綜合材料股份有限公司MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
    • 飯田慎太郎IIDA, SHINTARO桜井英章SAKURAI, HIDEAKI
    • H01G7/00B05D1/06C04B35/465
    • B05D1/04B05B5/025B05B5/1675C23C18/02C23C18/1216C23C18/1245C23C18/125C23C18/1254H01L21/02197H01L21/02282
    • 本發明之課題為,提供一種材料利用效率極佳,且具有所需之膜組織,電性特性優良的鐵電體薄膜之製造方法。本發明之解決手段為,朝向具有下部電極(20a)的基板(20)之下部電極(20a),將鐵電體薄膜形成用溶膠凝膠液(21)從毛細管(14)的吐出口(14a)進行靜電噴塗,將溶膠凝膠液(21)塗布於下部電極(20a)上而形成塗膜,將該塗膜乾燥、煆燒後,使其燒成並結晶化,藉此在下部電極(20a)上製造鐵電體薄膜之方法,其特徵為:將上述毛細管(14)的吐出口(14a)與上述下部電極(20a)之間的距離、以及靜電噴塗時之施加電壓,設定成上述塗膜在乾燥、煆燒後之折射率會成為2以上;且將1次噴塗的溶膠凝膠液(21)液量設定成,以1次噴塗來塗布溶膠凝膠液(21)並煆燒後,使其燒成並結晶化時之膜厚會成為150nm以下之範圍。
    • 本发明之课题为,提供一种材料利用效率极佳,且具有所需之膜组织,电性特性优良的铁电体薄膜之制造方法。本发明之解决手段为,朝向具有下部电极(20a)的基板(20)之下部电极(20a),将铁电体薄膜形成用溶胶凝胶液(21)从毛细管(14)的吐出口(14a)进行静电喷涂,将溶胶凝胶液(21)涂布于下部电极(20a)上而形成涂膜,将该涂膜干燥、煅烧后,使其烧成并结晶化,借此在下部电极(20a)上制造铁电体薄膜之方法,其特征为:将上述毛细管(14)的吐出口(14a)与上述下部电极(20a)之间的距离、以及静电喷涂时之施加电压,设置成上述涂膜在干燥、煅烧后之折射率会成为2以上;且将1次喷涂的溶胶凝胶液(21)液量设置成,以1次喷涂来涂布溶胶凝胶液(21)并煅烧后,使其烧成并结晶化时之膜厚会成为150nm以下之范围。
    • 3. 发明专利
    • 鐵電體薄膜之製造方法
    • 铁电体薄膜之制造方法
    • TW201343990A
    • 2013-11-01
    • TW102103138
    • 2013-01-28
    • 三菱綜合材料股份有限公司MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
    • 飯田慎太郎IIDA, SHINTARO桜井英章SAKURAI, HIDEAKI
    • C30B29/32C04B35/46
    • H01L21/02104B05B5/1608B05B5/1675B05D1/06B05D3/007C23C18/1216C23C18/1245C23C18/1254C23C18/127C23C18/1279C23C18/1283H01L41/314H01L41/318
    • 本發明之課題為,藉由靜電噴塗吐出、形成之薄膜於燒成後,得到緻密且無裂痕之鐵電體薄膜。本發明之解決手段為,朝向具有下部電極的基板之下部電極,將鐵電體薄膜形成用之靜電噴塗用液從毛細管的吐出口進行靜電噴塗,將靜電噴塗用液塗佈於下部電極上而形成塗膜,將該塗膜乾燥、煆燒後,使其燒成並結晶化,藉此在下部電極上製造鐵電體薄膜之方法。本方法中,靜電噴塗用液係做成,將鐵電體薄膜形成用溶膠凝膠液、以及與該溶膠凝膠液的固體成分具有相同成分且具有可從吐出口吐出的粒徑之粉末加以均勻混合之混合液,若將溶解於溶膠凝膠液中之金屬化合物換算為金屬氧化物之質量為A、粉末之質量為B時,相對於(A+B)之B比率,係落在5%以上40%以下之範圍。
    • 本发明之课题为,借由静电喷涂吐出、形成之薄膜于烧成后,得到致密且无裂痕之铁电体薄膜。本发明之解决手段为,朝向具有下部电极的基板之下部电极,将铁电体薄膜形成用之静电喷涂用液从毛细管的吐出口进行静电喷涂,将静电喷涂用液涂布于下部电极上而形成涂膜,将该涂膜干燥、煅烧后,使其烧成并结晶化,借此在下部电极上制造铁电体薄膜之方法。本方法中,静电喷涂用液系做成,将铁电体薄膜形成用溶胶凝胶液、以及与该溶胶凝胶液的固体成分具有相同成分且具有可从吐出口吐出的粒径之粉末加以均匀混合之混合液,若将溶解于溶胶凝胶液中之金属化合物换算为金属氧化物之质量为A、粉末之质量为B时,相对于(A+B)之B比率,系落在5%以上40%以下之范围。