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1. 发明专利

JP6669523B2 ダイボンダおよび半導体装置の製造方法有权
公开(公告)号：JP6669523B2
公开(公告)日：2020-03-18
申请号：JP2016025812
申请日：2016-02-15
申请人：ファスフォードテクノロジ株式会社
发明人：小橋英晴 , 依田光央
IPC分类号： H01L21/52

2. 发明专利

JP6152248B2 ペースト塗布装置及びペースト塗布方法並びにダイボンダ有权
公开(公告)号：JP6152248B2
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：JP2012095312
申请日：2012-04-19
申请人：ファスフォードテクノロジ株式会社
发明人：大久保達行 , 依田光央 , 大竹茂
IPC分类号： B05C11/10 , B05D1/26 , B05D7/24 , H01L21/52 , B05C5/00
CPC分类号： H01L24/27 , H01L21/6715 , H01L21/681 , H01L24/743 , H01L24/75 , H01L24/83 , H01L2224/83194 , Y10T156/1798

3. 发明专利

JP6276552B2 ダイボンダ及び接着剤塗布方法有权
公开(公告)号：JP6276552B2
公开(公告)日：2018-02-07
申请号：JP2013209326
申请日：2013-10-04
申请人：ファスフォードテクノロジ株式会社
发明人：望月政幸 , 井出桐人 , 依田光央
IPC分类号： H01L21/52

4. 发明专利

JP2015192075A ダイボンダ及びダイボンダ調整方法审中-公开
标题翻译： DIE BONDER和DIE BONDER调整方法
公开(公告)号：JP2015192075A
公开(公告)日：2015-11-02
申请号：JP2014069065
申请日：2014-03-28
申请人：ファスフォードテクノロジ株式会社
发明人：依田光央 , 灘本啓祐
IPC分类号： H01L21/52
摘要：【課題】ダイボンダにおいて、ウエハ、ダイ、基盤等の材料の種類が変更した場合、ダイボンダの部品の交換又は調整を、負担なくかつ分かりやすく行える装置及び方法を提供する。【解決手段】ダイボンダは、ダイボンダの部品交換又は調整の情報処理を実施する情報記録部を有する情報処理部と、情報処理部への入力装置と、情報処理の結果を表示する表示装置とを有する。情報記録部は、ダイボンダの部品交換又は調整の順序に関する情報と、部品交換又は調整に関する情報と、を有する。表示装置は、情報記録部の有する情報に基づき、部品交換又は調整の順序に関する情報と、所定の場合に部品交換又は調整に関して入力を要求する情報と、を表示する。情報処理部が、所定の場合にダイボンダの部品交換又は調整に関する入力を受け取った入力装置に従いダイボンダの部品交換又は調整を実施する。【選択図】図7
摘要翻译：要解决的问题：提供一种在晶片，芯片和基板等材料的类型在管芯接合器中变化的情况下，无需负担地进行管芯接合器的部件的更换或调整的装置和方法。：芯片接合器包括：信息处理部分，具有用于执行芯片焊接机的部件更换或调整的信息处理的信息记录部件; 信息处理部分的输入装置; 以及用于显示信息处理结果的显示装置。信息记录部分具有与组件更换或管芯粘合器的调整顺序有关的信息以及与部件更换或调整相关的信息。显示装置基于信息记录部分中的信息显示与部件更换或调整的顺序有关的信息以及用于需要与预定情况相关的部件更换或调整的输入的信息。信息处理部根据在预定情况下接收与部件更换相关的输入或管芯接合器的调整的输入装置执行部件移动或芯片接合器的调整。

5. 发明专利

JP6685126B2 半導体製造装置および半導体装置の製造方法有权
公开(公告)号：JP6685126B2
公开(公告)日：2020-04-22
申请号：JP2015251207
申请日：2015-12-24
申请人：ファスフォードテクノロジ株式会社
发明人：小橋英晴 , 依田光央 , 大森僚
IPC分类号： H01L21/52

6. 发明专利

JP2017147258A ダイボンダおよび半導体装置の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017147258A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：JP2016025812
申请日：2016-02-15
申请人：ファスフォードテクノロジ株式会社
发明人：小橋英晴 , 依田光央
IPC分类号： H01L21/52
摘要：【課題】照明出力の機差補正が容易で、高精度なダイ位置決めが可能なダイボンダを提供する。【解決手段】出力値に比例した光量を発光可能な照明システムと、光量に比例した入力レベルを測定可能なカメラと、前記照明システムの出力制御および前記カメラで撮像した画像の画像処理を行う制御部と、を備えるダイボンダであって、前記照明システムは、各々独立して出力制御が可能な複数チャネルを有する複合照明システムからなり、前記複数チャネルの各々の照明システムから同時に光を照射して撮像した画像の前記複数チャネル数と同一数の領域の明度と、前記各々の照明システム単独で光を照射した際の当該各々の照明システムの出力値および前記カメラで撮像した画像の受光レベルの相関関係から、前記各々の照明システムの出力値を決定することを特徴とする。【選択図】図12B

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