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1. 发明专利

JP5729893B2 中性粒子ビームを用いた発光素子の製造方法及び装置有权
标题翻译：用于使用中性束制造的发光元件的方法和装置
公开(公告)号：JP5729893B2
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：JP2014500976
申请日：2011-05-30
申请人：コリアベーシックサイエンスインスティテュート , KOREA BASIC SCIENCE INSTITUTE
发明人：ユ、ソクジェ , キム、ソンボン
IPC分类号： H01L33/32 , H01L21/205 , H01L21/203
CPC分类号： H01L21/0257 , C30B25/02 , C30B25/105 , C30B29/406 , H01L21/02458 , H01L21/0254 , H01L21/02576 , H01L21/02579 , H01L21/0262 , H01L21/02631 , H01L21/02656 , H01L21/67161 , H01L21/67207 , H01L33/0066

2. 发明专利

JP2015133321A ベルト型磁石を含む中性粒子ビーム発生源有权
标题翻译：中性粒子生成源包括皮带型磁体
公开(公告)号：JP2015133321A
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：JP2014259691
申请日：2014-12-24
申请人：コリアベーシックサイエンスインスティテュート
发明人：ユ、ソクジェ , キム、ソンボン
IPC分类号： C23C14/35 , H05H3/02 , H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32669 , C23C14/354 , C23C14/357 , C23C14/54 , H01J37/32192 , H01J37/3266 , H01J37/34 , H05H2001/4607
摘要：【課題】高真空度において均一な高密度プラズマを発生させる中性粒子ビーム発生源を提供する。【解決手段】プラズマ放電空間を提供するプラズマチャンバ100、プラズマイオンを、衝突によって中性粒子に変換させるために、プラズマチャンバ100内部に設置された中和プレート300、中性粒子以外のプラズマイオンと電子を上記プラズマ放電空間に制限するよう、上記プラズマ放電空間の下端に設置されているリミッタ500、プラズマチャンバ100に装着され、プラズマチャンバ100内にマイクロ波を出射するマイクロ波照射装置200、プラズマチャンバ100の周囲を囲む一組のベルト型磁石400を含み、の一組のベルト型磁石400のそれぞれは、ベルトの内部と外部が相補的な磁力極性を示し、プラズマチャンバ100の周囲に上下平行に配列される2つのベルト型磁石400の磁力の極性も、上下の位置において互いに補うよう構成する。【選択図】図8
摘要翻译：要解决的问题：提供一种在高真空度下产生均匀的高密度等离子体的中性粒子束产生源。解决方案：中性粒子束产生源包括：提供等离子体放电空间的等离子体室100; 安装在等离子体室100中的中和反射板300，通过碰撞将等离子体离子变成中性粒子; 限制器500安装在等离子体放电空间的下端，以将等离子体离子和除了中性粒子之外的电子限制到等离子体放电空间; 安装在等离子体室100上以将微波发射到等离子体室100中的微波照射装置200; 以及围绕等离子体室100的周围的一对带状磁体400。一对带式磁体400中的每一个在带的内部和外部之间显示出互补的磁性极性，并且垂直布置的两个带式磁体400的磁性极性在等离子体室100周围并联构成，使得它们在上部和下部位置彼此互补。

3. 发明专利

JP5774778B2 プラズマ発生源、スパッタリング装置、中性粒子ビーム発生源及び薄膜蒸着システム有权
标题翻译：等离子体源，溅射装置，中性粒子束发生源和成膜装置
公开(公告)号：JP5774778B2
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：JP2014513443
申请日：2012-06-01
申请人：コリアベーシックサイエンスインスティテュート
发明人：ユ、ソクジェ , キム、ソンボン
IPC分类号： C23C14/35 , H05H3/02 , H01L21/285 , H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32669 , C23C14/354 , C23C14/357 , C23C14/54 , H01J37/32192 , H01J37/3266 , H01J37/34 , H05H2001/4607

4. 发明专利

JP6006286B2 ベルト型磁石を含む中性粒子ビーム発生源有权
标题翻译：中性束源包括一个带式磁铁
公开(公告)号：JP6006286B2
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：JP2014259691
申请日：2014-12-24
申请人：コリアベーシックサイエンスインスティテュート
发明人：ユ、ソクジェ , キム、ソンボン
IPC分类号： H05H3/02 , H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32669 , C23C14/354 , C23C14/357 , C23C14/54 , H01J37/32192 , H01J37/3266 , H01J37/34 , H05H2001/4607

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