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1. 发明申请

WO2008096622A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2008096622A1
公开(公告)日：2008-08-14
申请号：PCT/JP2008/051189
申请日：2008-01-28
申请人：エドワーズ株式会社 , 和田るみ子 , 樺澤剛志
发明人：和田るみ子 , 樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D25/0693
摘要：　ポンプ本体と制御装置を一体化した真空ポンプにおける、ポンプの分解時の作業性をより向上させることを目的とする。　ベース３には、ターボ分子ポンプ１の電気部品の接続配線などの内部配線を引き出し、制御装置３０に接続するためのコネクタ２３が設けられている。コネクタ２３は、修理や点検時などにターボ分子ポンプ１を分解する際の作業性を考慮して、ベース３の開口部よりも外側の領域、詳しくは、裏蓋２２の配設領域の外側に設けられている。このように、コネクタ２３が裏蓋２２に設けられないため、即ち、内部配線が裏蓋２２に接続されないため、裏蓋２２を外す作業を容易に行うことができる。また、パージガス流路２５の一部を、電気部品の接続配線の配設部と兼用させる。これにより、電気部品の接続配線を引き回すための穴の数を低減させることができ、穴を形成する工程の作業負荷を軽減することができる。
摘要翻译：一种真空泵，其具有集成在一起的泵体和控制装置，所述泵能够以更好的可操作性被拆卸。基座（3）设置有用于引导涡轮分子泵（1）的电气部件的内部布线（例如连接布线）的连接器（23），并将布线连接到控制装置（30）。考虑到拆卸涡轮分子泵（1）的可操作性，连接器（23）设置在基座（3）的开口的外侧的区域中，更具体地，设置在设置有后盖（22）。由于连接器（23）未设置在后盖（22）上，或者内部布线未连接到后盖（22），所以可以容易地去除后盖（22）。此外，使清扫气体通道（25）的一部分作为安装电气部件的连接布线的位置加倍。结果，用于布线电气部件的连接布线的孔的数量减少，以减少用于形成孔的工艺的工作量。

2. 发明申请

WO2005116448A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2005116448A1
公开(公告)日：2005-12-08
申请号：PCT/JP2005/009148
申请日：2005-05-19
申请人： BOCエドワーズ株式会社 , 樺澤剛志 , 野中学
发明人：樺澤剛志 , 野中学
IPC分类号： F04B37/16
CPC分类号： F04D29/5853 , F04D19/042 , F04D29/701
摘要：　真空装置側へ伝播する真空ポンプの放射熱を簡単な構成で効率的に低減させることを目的とする。　ターボ分子ポンプ１の気体移送機構の上流に、真空室３０が受ける放射熱の影響を低減させるための放射熱低減構造を設ける。放射熱低減構造は、遮熱機構と冷却機構から構成されている。遮熱機構は、遮熱プレート１８、支持部１９および最上段スペーサ１７ａから構成されている。遮熱プレート１８の下流側の面には、放射率が０．８以上である表面処理が施され、一方、上流側の面には、放射率が０．１以下である表面処理が施されている。これにより、遮熱プレート１８においてより多くの熱を吸収させることができるだけでなく、真空室３０側へ放射される熱の量を低減させることができる。
摘要翻译：通过简单的结构有效地减少了传播到真空装置侧的真空泵的辐射热。在涡轮分子泵（1）的气体传递机构的上游设置有辐射热减少结构，并且该结构减少了对真空室（30）的辐射热的影响。辐射减热结构由隔热机构和冷却机构构成。隔热板机构由隔热板（18），支撑部（19）和最上层隔板（17a）构成。提供0.8以上的发射率的表面处理被施加到隔热板（18）的下游侧的表面。另一方面，向上游侧的表面施加提供0.1以下的发射率的表面处理。通过上述结构，隔热板（18）能够吸收更多的热量，另外，隔热板（18）能够减少向真空室（30）侧散发的热量。

3. 发明申请

WO2008065798A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2008065798A1
公开(公告)日：2008-06-05
申请号：PCT/JP2007/068070
申请日：2007-09-18
申请人：エドワーズ株式会社 , 樺澤剛志 , 坂口祐幸
发明人：樺澤剛志 , 坂口祐幸
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/164 , F04D29/324 , F04D29/384 , F04D29/524 , F05D2240/303
摘要：　排気性能の著しい低下を伴うことなく、吸気口の上流領域へのパーティクルの逆流を適切に防止することを目的とする。　ターボ分子ポンプの回転ブレード２８には、吸気口５から排気口６まで移送される気体の上流方向を向いた面２８ｂと、気体の下流方向を向いた面２８ｃとのなす隅角部に、面取り加工を施すことによって、面取り面２８ａが形成されている。面取り面２８ａは、シャフト７の軸線方向に平行に形成されている。また、ターボ分子ポンプ１では、隣接する回転ブレード２８の間隔、回転ブレード２８の移動速度、パーティクルの移動速度などによって特定されるパーティクルの衝突可能領域Ｌに基づいて、回転ブレード２８の面取り面２８ａの形成領域が設定されている。即ち、衝突可能領域Ｌに基づいて、回転ブレード２８の面２８ｂと面２８ｃとのなす隅角部の面取り加工における削り量が設定されている。
摘要翻译：适当地防止颗粒进入入口开口的上游区域，而不会显着降低气体排放性能。在涡轮分子泵的旋转叶片（28）上通过倒角由与从入口（5）转移的气体的上游方向相对的表面（28b）形成的角部，形成倒角面（28a）到排出口（6）和面向气体的下游方向的表面（28c）。倒角面（28a）与轴（7）的轴向平行地形成。在涡轮分子泵（1）中，基于相邻的旋转叶片（28）的间隔，旋转叶片（28）的移动速度来确定形成旋转叶片（28）的倒角面（28a）的区域，，以及粒子可以与其碰撞的区域L，并且由粒子的移动速度等指定。换句话说，由面（28b）和旋转叶片（28）的面（28c）形成的角部的倒角加工的切削量基于可以将粒子的区域L 碰撞。

4. 发明申请

WO2008062598A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2008062598A1
公开(公告)日：2008-05-29
申请号：PCT/JP2007/068069
申请日：2007-09-18
申请人：エドワーズ株式会社 , 樺澤剛志
发明人：樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04 , F04B39/00 , F04D29/00
CPC分类号： F04D19/042 , F04D25/068 , F04D29/5813
摘要：　ポンプ本体と制御装置とを一体化した真空ポンプにおける制御装置内部の冷却を適切に図ることを目的とする。　発熱量が多い素子が搭載された、隔壁板と接触している制御基板では、搭載されている素子から発生した熱は、制御基板から直接隔壁板へ伝わり、そして隔壁板から側壁を介して冷却ジャケットへ伝わる。一方、隔壁板と接触していない制御基板では、搭載されている素子から発生した熱は、制御基板から、積層された制御基板の間を通過する空気に伝わる。これにより、積層された制御基板の間を通過する空気は熱せられる。熱せられた空気は、冷却ジャケットの冷却作用により冷却されている熱交換フィンを通過する際に、熱が熱交換フィンへ伝わり冷却され、冷却された空気が再び制御基板へ送られる。このように制御基板で発生した熱は、隔壁板だけでなく、制御装置内を循環する空気を介して外部へ放出される。
摘要翻译：一种具有泵体和集成在一起的控制器的真空泵，其中控制器的内部被适当地冷却。在其上安装有产生大量热量且与隔板接触的元件的控制板中，所产生的热量直接从控制板传递到隔板，然后通过侧壁传递到冷却套。另一方面，在不与分隔板接触的控制板中，由安装在控制板上的元件产生的热量从控制板传递到通过堆叠的控制板之间的空气。因此，在层叠的控制板之间通过的空气被加热。当加热的空气通过由冷却套的冷却效果冷却的热交换翅片时，热量传递到热交换翅片，并且冷却的空气再次被馈送到控制板。因此，控制板产生的热量不仅通过隔板而且通过在控制器中循环的空气被排放到外部。

5. 发明申请

WO2008015849A1 軸受装置、及びターボ分子ポンプ审中-公开
标题翻译：轴承装置和涡轮分子泵
公开(公告)号：WO2008015849A1
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：PCT/JP2007/062236
申请日：2007-06-18
申请人： BOCエドワーズ株式会社 , 樺澤剛志 , 奥寺智
发明人：樺澤剛志 , 奥寺智
IPC分类号： F16C32/04 , F04D19/04 , F04D29/05 , F04D29/056 , F16C17/20 , F16C33/32
CPC分类号： F16C32/0442 , F04D19/048 , F04D29/0566 , F04D29/057 , F04D29/058 , F04D29/059 , F16C19/06 , F16C32/0459 , F16C32/0489 , F16C39/02 , F16C2360/45
摘要：　非磁性体からなる転動体を備えた保護ベアリングにおいて、磁化された内輪の連れ回りを抑制することを目的とする。　内輪及び外輪は、磁性体の部材により形成され、転動体は、非磁性体により形成されている。磁気誘導体は、磁性材により形成された部材であり、磁化された内輪の磁気を、内輪と外輪を通る閉磁路へ誘導する磁気誘導機能を備える。磁気誘導部は、軸受固定部の内周縁部から、軸受固定部の延長方向及び軸方向に張り出した部位から構成され、より磁気抵抗が小さくなるように外輪と接触されている。保護ベアリングの内輪と磁気誘導部との隙間の間隔βは、内輪の内周面とシャフトの外周壁面との隙間の間隔αと比較して十分に小さくなるように構成されている。このように、間隔β＜間隔αとなるように磁気誘導体を設けることにより、より多くの磁束を拾い、内輪と外輪を通る閉磁路へ誘導することができる。
摘要翻译：配备有非磁性体的滚动元件的保护轴承，其中抑制了磁化内圈的相互作用。内圈和外圈分别由磁体构成，滚动体由非磁性体形成。磁感应器是由磁性材料形成的部件，具有将磁化内圈的磁力引导到通过内圈和外圈的闭合磁路的功能。磁感应部由从轴承固定部的内周缘延伸方向和轴向的部分构成，并与外圈接触以减小磁阻。保护轴承的内圈与磁感应部之间的间隙的间隔β被设定为比内圈的内周面与轴的外周壁面之间的间隙的间隔a小。由于设置磁感应器使得间隔ß变得小于间隔a，所以可以拾取更多的磁通量并将其引导通过内圈和外圈的闭合磁路。

6. 发明专利

JP6850846B2 真空ポンプ、および複合型真空ポンプ有权
公开(公告)号：JP6850846B2
公开(公告)日：2021-03-31
申请号：JP2019160681
申请日：2019-09-03
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：野中学 , 樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04

7. 发明专利

JP2021042722A 真空ポンプ、及び、真空ポンプシステム审中-公开
公开(公告)号：JP2021042722A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：JP2019165839
申请日：2019-09-12
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：市原孝一 , 樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】オーバーホールせずに副反応生成物を除去することが可能な真空ポンプを提供する。【解決手段】ロータ28を回転させるためのモータ16と、温度上昇が可能なヒータ48と、ヒータ48を保持するベーススペーサ42と、ヒータ48を、通常動作モードとクリーニング動作モードとの間で動作モードの切替えを行って制御することが可能なコントローラと、ヒータ48に係る設定温度の情報を記憶する記憶部と、を備え、記憶部には、少なくとも、通常動作モードのための第1温度情報、具体的にはポンプが不具合なく使用できる設定温度情報と、クリーニング動作モードのための第2温度情報、具体的には通常動作モード中に発生した副反応生成物を、再びガス化することが可能な設定温度情報とが記憶され、第2温度情報により表される温度が、第1温度情報により表される温度より高い。【選択図】図1

8. 发明专利

JP2018159632A 真空ポンプ、主センサ、及び、ネジ溝ステータ审中-公开
公开(公告)号：JP2018159632A
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：JP2017057192
申请日：2017-03-23
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04 , G01B7/06
摘要：【課題】流路内の析出物の化学組成を特定でない場合であっても、流路内に析出物が所定の厚さまで堆積したことを検知することができるセンサを備えた真空ポンプを提供する。【解決手段】真空ポンプ1は、間に内部流路が形成された回転部及び固定部と、ガスを吸入口から内部流路を通じて排気口に向けて送る排気機構と、内部流路の検出対象位置において堆積物が所定の厚さに達したことを検出するための主センサ42と、を有する真空ポンプ1であって、主センサ42は、所定の厚さに対応する間隔で内部流路に配置された少なくとも一対の電極54、56と、一対の電極54、56に接続され、一対の電極54、56間の静電容量を検出する静電容量検出回路46と、を有し、静電容量検出回路46は、静電容量の増加率が低下したことに基づき、内部流路内の堆積物が所定の厚さに達したと判定する。【選択図】図2

9. 发明专利

JP2018053752A 真空ポンプ、および真空ポンプに備わる固定円板审中-公开
公开(公告)号：JP2018053752A
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：JP2016188362
申请日：2016-09-27
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/04 , F04D25/06 , F04D29/541 , F05B2240/12 , F05B2250/19
摘要：【課題】真空ポンプのらせん状板が局所的に高圧になるのを緩和することを目的とする。【解決手段】本発明の実施形態に係わる真空ポンプでは、固定円板に穴部を形成し、さらに、固定円板における先端(外周側/外周部)の穴部の比率を局所的に大きくする。より詳しくは、(1)略同じ大きさの穴部を、固定円板の内周側から外周側へ並列配設し、最も外側の列に配設される穴部の数を、内側の列よりも多くする。(2)略同じ大きさの穴部を、固定円板の内周側から外周側へ並列配設し、最も外側の列に配設される穴部のいくつかを統合して一つの穴部とする。(3)固定円板にT字型の穴部を配設する。(4)固定円板にL字型の穴部を配設する。これらの構成により、らせん状板の先端付近に高圧となる部分が生じ難くなるので、液化または固化したガスによる反応生成物が堆積するのを低減することができる。【選択図】図2

10. 发明专利

JP2015124656A 真空排気機構、複合型真空ポンプ、および回転体部品有权
标题翻译：真空排气机构，复合真空泵和转子部件
公开(公告)号：JP2015124656A
公开(公告)日：2015-07-06
申请号：JP2013268615
申请日：2013-12-26
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：野中学 , 樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D25/16 , F04D17/168 , F04D19/042 , F04D19/046 , F04D29/053 , F04D29/28 , F04D29/384 , F04D29/4206
摘要：【課題】配設される真空ポンプにおいて、排気作用のある管路と管路を効果的に繋ぐ真空排気機構、複合型真空ポンプ、および回転体部品を提供する。【解決手段】真空ポンプは、配設される固定円板50または配設される回転円板9の少なくともいずれか一方に、山部と谷部を有するスパイラル状溝が刻設されるシーグバーン型分子ポンプ部を有し、外周の折り返し流路900においてコンダクタンスを大きくとるための構造を備える。この構造は、回転円板9に形成される連通部900、あるいは、固定円板50に配設される斜板と回転円板9に形成される連通部とによって、真空ポンプ内部に形成される。「連通部」や「溝部」、「スリット」は、「凹」状の形態であり、回転円板9において、外径部から内径方向へ向かって溝900を刻設することで凹部が設けられる。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种真空排气机构，用于将具有排气作用的管道，复合真空泵和转子部件有效地连接在要布置的真空泵中。解决方案：本发明的真空泵具有至少任何一种布置的固定盘50和布置的旋转盘9中的一个具有包括具有波峰部分和槽部的螺旋槽的锡格巴恩型分子泵，外周部的折叠流路900显示高电导。该结构通过形成在旋转盘9上的连通部（折叠流路）900或形成在设置在固定板50上的倾斜板上的连通部（折叠流路）形成在真空泵内，旋转盘9.“通信部”，“槽”和“狭缝”形成为“凹”形，并且这些凹形通过从外径部向内径部形成凹槽而布置。

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