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    • 6. 发明专利
    • 電磁波発振装置
    • JPWO2017217438A1
    • 2019-11-21
    • JP2017021887
    • 2017-06-14
    • イマジニアリング株式会社
    • 池田 裕二神原 誠士
    • H05B6/74H05B6/68
    • 【課題】単に反射波が増大した場合に電磁波発振器を停止するのではなく装置全体の効率を低下させることなく反射波によるデバイスの損傷を抑制することができる電磁波発振装置を提供すること。 【解決手段】電源Pからの電圧を直流電圧に変換するコンバータ2と、コンバータ2から印加される直流電圧によって電磁波をパルス発振する電磁波発振器3と、電磁波発振器3からの電磁波エネルギの供給を受けるキャビティCと電磁波発振器3との間で電磁波発振器3から発振される電磁波の進行波及び反射波を検出する検出器8と、検出器8からの検出信号が印加されるとともに電磁波発振器3を制御する制御装置5とを備え、制御装置5は、検出器8が検出する電圧定在波比が所定値以上となった場合、発振する電磁波の周波数を変動させて発振するように制御するようにしている。 【選択図】図1