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1. 发明专利

JP2018523271A マイクロ波プラズマ生成用チャンバ审中-公开
公开(公告)号：JP2018523271A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：JP2018502377
申请日：2016-07-20
申请人：アジレント・テクノロジーズ・インク , AGILENT TECHNOLOGIES, INC.
发明人：ハマー,マイク
IPC分类号： H05H1/00 , H05H1/46
CPC分类号： H05H1/30 , G01J3/443 , H01J49/105 , H05H1/46 , H05H2001/4622
摘要：プラズマ生成用のマイクロ波チャンバ。マイクロ波チャンバは、マイクロ波エネルギーを生成するマイクロ波源を収容する、マイクロ波チャンバの第1の端部における発射構造体と、マイクロ波チャンバの第1の端部と反対側の第2の端部における終端セクションとを備える。終端セクションは、チャンバの第2の端部からのマイクロ波エネルギーの伝播を実質的に阻止するように構成される。マイクロ波チャンバは、第1の端部においてマイクロ波チャンバ内に受け取られるマイクロ波エネルギーを第2の端部に向かって誘導する内壁構造体を更に備え、空洞を画定する。内壁構造体は、第1の端部及び第2の端部の中間のインピーダンス整合セクションと、インピーダンス整合セクション及び第2の端部の中間の容量性負荷セクションとを備え、容量性負荷セクションは、チャンバの縦軸に沿って延在する少なくとも1つの隆起部を備える。マイクロ波チャンバは、容量性負荷セクションの第1の壁を通って延在する第1の開口部と、容量性負荷セクションの第2の壁を通って延在する第2の開口部とを画定する。第2の壁は該第1の壁と対向する。第1の開口部及び第2の開口部は、互いに協働して、第1の開口部及び第2の開口部を通って延在しかつチャンバの縦軸に対して実質的に垂直な軸に沿って、容量性負荷セクション内にプラズマトーチを受け入れるように構成される。【選択図】図3a

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