专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2012011627A1 프로브 카드 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：探针卡及其制造方法
公开(公告)号：WO2012011627A1
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：PCT/KR2010/005900
申请日：2010-09-01
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호 , 이은제 , 임형준
发明人： 조병호 , 조용호 , 이은제 , 임형준
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R3/00 , G01R1/06727 , G01R1/07342
摘要： 본 발명은 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되는 도전성 금속 재질의 컨택이 내부에 형성되고, 상기 컨택에 통전하는 다수의 패드가 상면에 형성되는 공간 변환기를 제조하는 공정; LTCC 또는 HTCC 재질로 이루어지는 베이스 기판을 일정 크기의 프로브 모듈로 구분하는 단계, 상기 베이스 기판 내부에 도전성 금속 재질의 베이스 컨택을 다수 형성하는 단계, 베이스 기판의 상면에 상기 베이스 컨택에 통전하는 다수의 프로브를 형성하는 단계, 베이스 기판의 저면에 베이스 컨택에 통전하는 다수의 도전성 솔더를 형성하는 단계, 베이스 기판에서 프로브 모듈을 분리하는 단계를 포함하여 구성되는 프로브 모듈의 제조 공정; 각 도전성 솔더를 패드에 열적 융합시킴으로써, 프로브 모듈을 공간 변환기의 상면에 통전 가능하게 접합시키는 공정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
摘要翻译：探针卡及其制造方法技术领域本发明涉及一种探针卡及其制造方法，其特征在于，包括：制造空间变压器的工序，所述空间变压器内设有与印刷电路板电连接的导电金属接点，其上表面具有允许电流流向触点的多个焊盘; 一种探针模块制造方法，包括以下步骤：将由LTCC或HTCC材料制成的基底基板分成具有预定尺寸的探针模块，在基底衬底的内部形成多个导电金属基底触点，形成多个探针这允许电流流到基底衬底的上表面上的基底触点，形成多个导电焊料，其允许电流流到基底衬底的下表面上的基底触点，并分离探头模块从基底; 以及结合探针模块以使电流能够通过将每个导电焊料热焊接到焊盘而在空间变压器的上表面上流动的过程。

2. 发明申请

WO2012011629A1 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：探针卡的多通道光束结构及其制造方法
公开(公告)号：WO2012011629A1
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：PCT/KR2010/005906
申请日：2010-09-01
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호 , 조우진 , 이은제
发明人： 조병호 , 조용호 , 조우진 , 이은제
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/06727 , G01R3/00
摘要： 본 발명은 프로브 카드의 기판부재 위에 형성되는 기단부; 일측 단부가 상기 기단부의 상면에 고정되고, 측 방향으로 연장되는 하부 빔; 하부 빔의 양측 단부 위에 각각 형성되는 지지부; 양측 단부가 각 지지부의 상면에 고정되고, 하부 빔과 상하로 일정 간격을 두고 평행한 구조로 이루어지는 상부 빔; 상부 빔의 타측 단부에서 수직하게 돌출 형성되어 반도체 웨이퍼에 전기 접속하는 프로브 팁;을 포함하여 구성되고, 상기 기단부와, 하부 빔, 지지부, 상부 빔 및 프로브 팁은 공간 변환기 위에서 MEMS 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 이러한 제조방법에 의하면, 다중 캔틸레버 빔이 공간 변환기 위에서 MEMS 방식을 통해 3차원적으로 형성됨으로써, 프로브 팁 사이의 간격은 좁아지면서도 빔 사이의 간격은 넓어지도록 2단 빔의 각도를 조절할 수 있게 된다.
摘要翻译：本发明涉及一种多悬臂梁结构及其制造方法，所述多悬臂梁结构包括：形成在探针卡的基板构件上的立体部分;下梁，其一端固定在上立体声部分的表面并沿横向方向延伸; 支撑部分形成在下梁的两端; 支撑部分形成在下梁的两端; 分别具有固定在所述支撑部上的两端的上梁，并且被构造成在上下方向上以规则的间隔具有与所述下梁平行的结构; 以及探针尖端，其形成为从所述上梁的另一端垂直突出以与半导体晶片电连接，其中所述立体声部分，下梁，支撑部分，上梁和探针尖端形成在空间变压器上一个MEMS方案。根据该制造方法，通过MEMS方式在空间变换器上三维地形成多个悬臂梁，这使得可以控制两段梁的角度，使得梁之间的距离变宽，而间隙探针尖端之间变窄。

3. 发明授权

KR101040733B1 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법 有权
标题翻译：探针卡片的多重卡口结构及其制造方法
公开(公告)号：KR101040733B1
公开(公告)日：2011-06-10
申请号：KR1020100069726
申请日：2010-07-19
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호
发明人： 조병호 , 조용호 , 조우진 , 이은제
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/06727 , G01R3/00 , G01R1/07307
摘要： PURPOSE: A multi cantilever beam structure and a manufacturing method thereof are provided to control the angle of a cantilever at various angles by three dimensionally forming the multi cantilever beam on a space transformer with an MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) method. CONSTITUTION: A stereobate(10) is formed on the substrate member of a probe card. A lower beam(20) includes a fixing unit and an extension unit formed on the upper side of the stereobate. A support unit(32,34) is formed on both ends of the lower beam. An upper beam(40) is parallel in the lower beam with a preset space. A probe tip(50) is vertically protruded from the other end of the upper beam.
摘要翻译：目的：提供一种多悬臂梁结构及其制造方法，通过利用MEMS（微机电系统）方法在空间变压器上三维地形成多悬臂梁，以各种角度控制悬臂的角度。构成：在探针卡的基板构件上形成立体线（10）。下梁（20）包括固定单元和形成在立体声的上侧的延伸单元。支撑单元（32,34）形成在下梁的两端。上梁（40）在下梁中平行，具有预设空间。探针尖端（50）从上梁的另一端垂直地突出。

4. 发明授权

KR100549551B1 탐침 카드의 조립 구조 有权
标题翻译：探针卡的装配结构
公开(公告)号：KR100549551B1
公开(公告)日：2006-02-03
申请号：KR1020050079327
申请日：2005-08-29
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조용호
发明人： 이은제 , 조용호 , 이성웅
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은 탐침 카드의 조립구조에 관한 것으로서, 인쇄회로기판 상에 탐침판을 고정시키도록 배치된 탐침판 고정 브래킷과, 탐침판의 일정 영역의 평탄도를 조절하는 평탄화 브래킷과, 인쇄회로기판의 전기커넥터를 탄성적으로 지지하는 탄성패드를 설치하고, 평탄화 브래킷과 탐침판 고정 브래킷을 나사로 조여서 탐침판의 일정 영역을 조절하여 탐침판을 평탄화하는 구조에 의해 탐침 카드의 조립이 간단해진다. 또한, 탐침 카드의 인쇄회로기판과 평판화 브래킷 사이에 탄성재질의 O-링을 장착하여 3차원 공간상의 탐침 평탄도를 조절 가능한 스프링 기능을 할 수 있다. 이에 의하여, 웨이퍼를 검사하기 위한 탐침 카드에서 탐침판의 평탄도를 단계적으로 조절하는 구조에 의해 탐침판의 평탄도를 간단하고 용이하게 조정할 수 있게 된다.
프로브 카드, 탐침 카드, O-링
摘要翻译：平坦化支架和一个印刷电路板的本发明，控制布置在探头板固定到所述印刷电路板，与探针卡的安装结构的探针片的特定区域的探针板保持托架的平坦度安装弹性垫弹性地支撑的电连接器，并通过拧紧螺钉的调平支架和探针板保持托架调整探头板的恒定区变平探针板对简化结构中的探针卡的装配。此外，通过安装在探针卡的印刷电路板和所述平面支架之间的弹性材料的O形环可以是3维空间的探针平坦性调节的弹簧功能。因此，通过逐步调整用于检查晶片的探针卡中的探针板的平坦度的结构，可以容易且容易地调整探针板的平坦度。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式