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1. 发明申请

WO2012091406A3 배기 유체 처리 장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2012091406A3
公开(公告)日：2012-07-05
申请号：PCT/KR2011/010150
申请日：2011-12-27
申请人： (주)엘오티베큠 , 이상윤 , 노명근 , 오흥식
发明人： 이상윤 , 노명근 , 오흥식
IPC分类号： B01D53/32 , H05H1/24 , H01L21/02
摘要： 본 발명은 반도체, 디스플레이 패널 및 태양광 전지 제조 장치의 공정 챔버에서 발생한 유체를 외부로 배기하는 배기 유체 처리 장치에 관한 것으로서, 상기 배기 유체 처리 장치는 상기 공정 챔버에 연결되어 상기 공정 챔버의 내부를 진공화하고, 상기 공정 챔버 내에서 발생한 유체를 외부로 배기하는 진공 펌프 및 플라즈마가 형성되어 상기 공정 챔버 내에서 발생한 유체의 분해 반응이 일어나는 플라즈마 반응기를 포함하며, 상기 플라즈마 반응기는 상기 공정 챔버와 상기 진공 펌프 사이에 마련되며, 상기 유체의 분해 반응이 일어나는 공간을 제공하는 절연성의 도관과, 상기 도관의 외주면에 마련되며, 플라즈마가 형성되도록 전압을 인가받는 적어도 하나 이상의 전극부와, 전기 전도성의 탄성체로 형성되고, 상기 도관 및 상기 전극부의 밀착시키도록 상기 내관과 상기 전극부 사이에 개재되는 완충부를 포함하여 구성된다.

2. 发明专利

KR20210026183A KR20210026183A - Cyclodextrin-based branch type polymer and biodegradable resin composition comprising the same 审中-公开
公开(公告)号：KR20210026183A
公开(公告)日：2021-03-10
申请号：KR1020190106624A
申请日：2019-08-29
申请人： 수원대학교산학협력단 , (주)엘오티베큠
发明人： 유종훈 , 임교빈 , 홍진희 , 이상윤 , 오흥식
IPC分类号： C08B37/16 , C08K5/00 , C08L5/02 , C08L67/02
CPC分类号： C08B37/0012 , C08K5/0016 , C08L5/02 , C08L67/02 , C08L2201/06
摘要： 본 발명은 고분자 및 이를 포함하는 생분해성 수지 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 사이클로덱스트린계 분지형 고분자를 포함하는 생분해성 수지 조성물은 종래 생분해성 수지 조성물 대비 동등 수준 이상의 열적, 기계적 물성을 유지하면서도 연신율이 향상되어 고내구성이 요구되는 산업 분야에 광범위하게 사용될 수 있다.

3. 发明授权

KR101301503B1 트랩 장치 有权
标题翻译：陷阱设备
公开(公告)号：KR101301503B1
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：KR1020110101697
申请日：2011-10-06
申请人： (주)엘오티베큠
发明人： 고경오 , 심재업 , 이상윤 , 노명근 , 오흥식
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 트랩 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일측면은 저압 공정을 수행하는 프로세스 챔버 및 건식 진공 펌프 사이에 연결되어 상기 공정의 부산물을 포집하는 트랩 장치에 있어서, 상기 진공 펌프에 의하여 야기된 저압 상태를 유지하는 하우징; 상기 하우징의 내부에 상기 부산물이 통과하는 경로에 위치하며, 상기 부산물을 포집하는 포집부; 및 상기 하우징의 내부에 위치하며, 상기 포집부에 포집된 부산물을 상기 포집부로부터 떼어내는 클리닝부를 구비하는 트랩 장치를 제공하는 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种收集装置。本发明的一个方面是连接在所述处理室和该干式真空泵在捕集装置的壳体进行低压工艺的副产物的过程中捕集，保持所造成的真空泵低压之间; 收集单元，位于所述副产品通过所述壳体的路径中，所述收集单元收集所述副产品; 并且清洁单元位于壳体内并将收集单元中收集的副产品与收集单元分离。

4. 发明授权

KR101184298B1 플라즈마 반응기 有权
标题翻译：等离子体反应器
公开(公告)号：KR101184298B1
公开(公告)日：2012-09-21
申请号：KR1020100140505
申请日：2010-12-31
申请人： (주)엘오티베큠
发明人： 이상윤 , 노명근 , 오흥식
IPC分类号： H05H1/24 , H01L21/3065 , H01L21/205
摘要： 본 발명은 플라즈마 반응기로서, 상기 플라즈마 반응기는 플라즈마가 형성되어 유체의 분해 반응이 일어나는 플라즈마 챔버, 상기 유체가 상기 플라즈마 챔버로 유입되도록 상기 플라즈마 챔버의 일단에 마련되는 유입관, 상기 유체가 상기 플라즈마 챔버로부터 유출되도록 상기 플라즈마 챔버의 타단에 마련되는 유출관 및 상기 유체가 상기 플라즈마 챔버를 우회하도록 상기 유입관 및 상기 유출관을 서로 연통시키는 바이패스관을 포함하는 플라즈마 반응기.

5. 发明公开

KR1020080030333A 진공펌프용 모터 无效
标题翻译：真空泵电机
公开(公告)号：KR1020080030333A
公开(公告)日：2008-04-04
申请号：KR1020060096281
申请日：2006-09-29
申请人： (주)엘오티베큠
发明人： 황태경 , 노명근 , 오흥식
IPC分类号： H02K5/10
摘要： A motor for a vacuum pump is provided to improve efficiency of the motor by filling a stator with filling material to isolate a stator coil from by-products introduced from the pump. A motor for a vacuum pump includes a stator(12) and a rotor(13). The stator is installed inside a case(11) to be wound by a coil(12a). The rotor is rotatably connected inside the stator by a shaft(14). The stator is filled with a filling material(20) to protect the coil from various by-products introduced from the vacuum pump. The filling material is epoxy resin. The motor further includes a bearing installed on one inner side surface of the case. The shaft extended from the rotor is installed in the bearing.
摘要翻译：提供一种用于真空泵的马达，以通过用定子填充材料填充定子线圈以将定子线圈与从泵引入的副产物隔离来提高马达的效率。用于真空泵的电动机包括定子（12）和转子（13）。定子安装在壳体（11）的内部以由线圈（12a）卷绕。转子通过轴（14）可旋转地连接在定子内。定子填充有填充材料（20），以保护线圈免受从真空泵引入的各种副产物。填充材料是环氧树脂。电动机还包括安装在壳体的一个内侧表面上的轴承。从转子延伸的轴安装在轴承中。

6. 发明公开

KR1020080044470A 루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프 有权
标题翻译：具有屋顶和螺丝转子的复合干燥真空泵
公开(公告)号：KR1020080044470A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：KR1020060113370
申请日：2006-11-16
申请人： (주)엘오티베큠
发明人： 황태경 , 노명근 , 오흥식
IPC分类号： F04C25/02 , F04C18/16
摘要： A composite dry vacuum pump having roots and screw rotors is provided to keep high gas compression and transfer efficiency at the time of discharging process byproducts outside, and to prevent vibration and noise generated from a vacuum pump. A composite dry vacuum pump having roots and screw rotors comprises a housing(10), first and second roots rotors(31,32), first and second screw rotors(41,42), first and second driving shafts(21,22), first and second gears(24,26), and a motor(50). The housing has inner containing space, one part equipped with a suction hole and the other part equipped with a discharge hole. The first and second roots rotors are contained in the inner containing space of the housing, and installed so as to be engaged with each other. The first and second screw rotors are contained in the inner containing space of the housing, and installed so as to be adjacent to the first and second roots rotors, and engaged with each other. The first and second driving shafts are installed so as to be penetrated into the center of the first and second roots rotors, and the first and second screw rotors. The first and second gears are coupled so as to be engaged with the first and second driving shafts. The motor includes a stator(54) wound with a wire(54a) and equipped inside a case(52), and a rotor(56) connected to the first driving shaft so as to be rotated inside the stator.
摘要翻译：提供具有根和螺杆转子的复合干式真空泵，以在外部副产物排出时保持高的气体压缩和转移效率，并防止真空泵产生的振动和噪音。具有根部和螺杆转子的复合干式真空泵包括壳体（10），第一和第二根转子（31,32），第一和第二螺杆转子（41,42），第一和第二驱动轴（21,22）第一和第二齿轮（24,26）和马达（50）。外壳有内部容纳空间，一部分装有抽吸孔，另一部分装有排放孔。第一和第二根转子被容纳在壳体的内部容纳空间中，并且被安装成彼此接合。第一和第二螺杆转子容纳在壳体的内部容纳空间中，并且安装成与第一和第二根转子相邻并彼此接合。第一和第二驱动轴被安装成穿透第一和第二根转子的中心，以及第一和第二螺杆转子。第一和第二齿轮联接以便与第一和第二驱动轴接合。电动机包括缠绕有线（54a）并且装在壳体（52）内的定子（54）和连接到第一驱动轴以便在定子内转动的转子（56）。

7. 发明授权

KR100750807B1 Ａｌ₂Ｏ₃ ＡＬＤ 공정 시스템의 배기 경로에서의공정부산물을 포집할 수 있는 트랩장치 有权
标题翻译： Al 2 O 3 ALD机制系统在工业中的应用在工业中的应用
公开(公告)号：KR100750807B1
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：KR1020070007783
申请日：2007-01-25
申请人： (주)엘오티베큠
发明人： 정순희 , 임병일 , 노명근 , 오흥식
IPC分类号： C23C16/00
摘要： A trap apparatus enabling process by-products to be collected from an exhaust path of an Al2O3 atomic layer deposition process system is provided to increase the production capability of the process system and the production yield of a semiconductor process by considerably reducing possibility that aluminum oxide(Al2O3) that has not been deposited on the surface of a semiconductor substrate in a process chamber are deposited on a fore line, an inner part of a vacuum pump, and an exhaust path. As an apparatus capable of preventing powder from being produced in an exhaust path by collecting non-reacted process by-products including an Al precursor generated in a process chamber(112) by an atomic layer deposition process, the apparatus comprises: a first trap(114) which is connected to the process chamber, and has a heating means(118), the heating unit receiving a non-reacted process product of the process chamber therein to grow an aluminum metal film; a second trap(120) which is integrally connected to the first trap, and has a cooling means(122) for simultaneously cooling the high temperature gas before gas of a high temperature passing through the first trap flows into the pump, and collecting aluminum oxide formed after the high temperature gas passes through the first trap; and a pump(116) which is connected to the second trap and prevents powder from being produced when a non-reacted process product of the second trap passes through the pump.
摘要翻译：提供了一种能够从Al2O3原子层沉积工艺系统的排气路径收集工艺副产物的捕集装置，以通过显着降低氧化铝（Al2O3）沉积工艺系统的可能性来提高工艺系统的生产能力和半导体工艺的生产产量 Al 2 O 3）沉积在前线，真空泵的内部以及排气路径上，所述沉积物未沉积在处理室中的半导体衬底的表面上。作为能够通过原子层沉积工艺收集包括在处理室（112）中产生的Al前体的未反应的处理副产物来防止在排气路径中产生粉末的设备，该设备包括：第一捕集器（ 114），其连接到所述处理室并且具有加热装置（118），所述加热单元在其中接收所述处理室的未反应的处理产物以生长铝金属膜; 与第一捕集器一体连接的第二捕集器（120），并具有冷却装置（122），用于在通过第一捕集器的高温气体流入泵之前同时冷却高温气体，并收集氧化铝在高温气体通过第一捕集器后形成; 以及连接到第二捕集器并防止当第二捕集器的未反应的处理产物通过泵时产生粉末的泵（116）。

8. 发明授权

KR101267949B1 트랩 장치 有权
标题翻译： TRAP APPARATUS
公开(公告)号：KR101267949B1
公开(公告)日：2013-05-27
申请号：KR1020110101696
申请日：2011-10-06
申请人： (주)엘오티베큠
发明人： 고경오 , 심재업 , 이상윤 , 노명근 , 오흥식
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본발명은저압공정을수행하는프로세스챔버및 건식진공펌프사이에연결되어상기공정의부산물을포집하는트랩장치에관한것이다. 진공펌프에의하여야기된저압상태를유지하는하우징; 상기하우징의내부에상기부산물이통과하는경로에위치하며, 상기부산물을포집하는복수의포집관들; 및상기하우징의외부에위치하며, 전도, 대류및 복사중 적어도어느하나의방식에의하여상기포집관들에간접적으로열을제공하는히터를구비하는트랩장치를제공한다.

9. 发明公开

KR1020130037340A 트랩 장치 有权
标题翻译： TRAP APPARATUS
公开(公告)号：KR1020130037340A
公开(公告)日：2013-04-16
申请号：KR1020110101696
申请日：2011-10-06
申请人： (주)엘오티베큠
发明人： 고경오 , 심재업 , 이상윤 , 노명근 , 오흥식
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B01D51/02 , H01L21/67034 , H01L21/67098
摘要： PURPOSE: A trap device is provided to improve semiconductor manufacturing efficiency and to reduce semiconductor manufacturing costs by replacing or repairing a heater mounted on the outside of a housing without stopping main equipment. CONSTITUTION: A housing(211) maintains a low pressure state by a vacuum pump. A plurality of collecting pipes(213) are located in a byproduct path of the housing and collect byproducts. The collecting pipe includes a heat pipe(214), an inner layer(215), and an outer layer(216). A heat assembly(220) includes a heater(221), a first shield(222), a second shield(223), and a heater housing(224). The heater is located outside the housing. The heater provides heat to the plurality of collecting tubes by conduction, convection, or radiation methods.
摘要翻译：目的：提供一种陷阱装置，通过更换或修理安装在外壳外部的加热器而不停止主设备来提高半导体制造效率并降低半导体制造成本。构成：外壳（211）通过真空泵保持低压状态。多个收集管（213）位于壳体的副产品路径中并收集副产物。收集管包括热管（214），内层（215）和外层（216）。热组件（220）包括加热器（221），第一屏蔽件（222），第二屏蔽件（223）和加热器壳体（224）。加热器位于外壳外部。加热器通过传导，对流或辐射方法向多个收集管提供热量。

10. 发明公开

KR1020120073482A 배기 유체 처리 장치 有权
标题翻译：用于排放流体的处理装置
公开(公告)号：KR1020120073482A
公开(公告)日：2012-07-05
申请号：KR1020100135260
申请日：2010-12-27
申请人： (주)엘오티베큠
发明人： 이상윤 , 노명근 , 오흥식
IPC分类号： B01D53/32 , H05H1/24 , H01L21/02
CPC分类号： F01N3/0892 , B01D53/32 , B01D2257/2025 , B01D2257/2027 , B01D2257/2047 , B01D2258/0216 , B01D2259/818 , H01L21/67017 , H05H1/2406 , H05H2001/2456 , H05H2245/1215
摘要： PURPOSE: An exhaust fluid treating apparatus is provided to improve the treating efficiency of operational byproducts and to improve the stability of operational processes by including a plasma reactor at the front side of a vacuum pump. CONSTITUTION: An exhaust fluid treating apparatus includes a vacuum pump(100) and a plasma reactor(200). The vacuum pump is in connection with an operational chamber and generates vacuum in the operational chamber. Fluid generated from the operational chamber is exhausted by the vacuum pump. The plasma reactor decomposes the fluid from the operational chamber. The plasma reactor includes an insulating pipe, one or more electrode parts, and buffer parts. The pipe is arranged between the operational chamber and the vacuum pump and secures the decomposition space of the fluid. The electrode parts are arranged at the outer circumference of the pipe. The buffer parts are based on electric conductive elastomer and are interposed between the pipe and the electrode parts.
摘要翻译：目的：提供排气流体处理装置，以提高操作副产物的处理效率，并通过在真空泵的前侧包括等离子体反应器来提高操作过程的稳定性。构成：废气处理装置包括真空泵（100）和等离子体反应器（200）。真空泵与操作室连接并在操作室中产生真空。从操作室产生的流体由真空泵排出。等离子体反应器从操作室分解流体。等离子体反应器包括绝缘管，一个或多个电极部分和缓冲部分。管道布置在操作室和真空泵之间，并确保流体的分解空间。电极部分配置在管的外周。缓冲部分基于导电弹性体，并且介于管和电极部分之间。

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