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    • 1. 发明申请
    • 유리 기판의 불균일도 측정 시스템 및 방법
    • 用于测量玻璃基板不正常的系统和方法
    • WO2012070723A1
    • 2012-05-31
    • PCT/KR2011/001340
    • 2011-02-25
    • (주)쎄미시스코이순종우봉주박병찬최성진정재훈
    • 이순종우봉주박병찬최성진정재훈
    • G01N21/958G01B11/30
    • G01B11/30G01N21/958
    • 측정 시간 및 비용을 감소시키도록 유리 기판으로부터 반사된 반사광들 중 상면으로부터 반사된 광만을 이용하여 상기 유리 기판의 불균일도를 측정하는 시스템 및 방법이 개시된다. 상기 유리 기판의 불균일도 측정 시스템은 제 1 광을 상기 유리 기판으로 조사하는 광원부 및 스크린을 포함한다. 여기서, 상기 광원부로부터 조사된 제 1 광은 상기 유리 기판의 상면 및 하면에서 반사되고, 상기 유리 기판의 상면에 의해 반사된 제 1 반사광이 상기 스크린에 입사되어 제 1 띠를 형성하며, 상기 유리 기판의 하면에 의해 반사되어 상기 상면을 통하여 출력된 제 2 반사광이 상기 스크린에 입사되어 제 2 띠를 형성하고, 상기 제 1 띠와 상기 제 2 띠가 분리되어 형성되도록 상기 광원부 및 상기 스크린이 상기 유리 기판을 기준으로 하여 배열된다.
    • 公开了通过仅使用从玻璃基板反射的反射光中的从上侧反射的光来测量玻璃基板的不规则性的系统和方法,以减少测量时间和成本。 用于测量玻璃基板的不规则性的系统包括:照射玻璃基板上的第一光的光源单元和屏幕。 这里,从光源单元照射的第一光在玻璃基板的上侧和下侧被反射,被玻璃基板的上侧反射的第一反射光入射到 形成第一带的屏幕和由玻璃基板的下侧反射并通过上侧输出的第二反射光入射到屏幕上以形成第二带,然后光源单元 并且相对于玻璃基板布置屏幕,使得第一带和第二带可分离地形成。